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题名高精度干涉仪针孔空间滤波器研制
被引量：4
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作者
张春雷
向阳
于长淞
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机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
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出处
《中国光学》
EI
CAS
2013年第6期952-957,共6页
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基金
国家重大科技专项(02专项)基金资助项目(No.2009ZX02202-005)
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文摘
应用于高重复频率、高功率193 nm准分子激光器会聚光路中的针孔空间滤波器,除了需要考虑它的材料加工难易、厚度、针孔尺寸等因素外,还需考虑材料抗激光损伤特性。本文利用激光损伤理论中一维热流模型对无限厚和有限厚不同金属样品在高峰值功率193 nm准分子激光器照射下的损伤阈值进行了分析。结果表明:铝材料在厚度为1.2μm处比其它金属的损伤阈值高,可达1.16×1010W/cm2,且材料易于加工。利用聚焦离子束技术加工了航空铝材料样品,得到了厚度为1.2和1.5μm的针孔空间滤波器样品。扫描电镜观察其具有较好圆度和内壁粗糙度,基本满足剪切干涉仪对针孔空间滤波器的需求。
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关键词
干涉仪
针孔空间滤波器
热流模型
离子束聚焦
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Keywords
interferometer
pinhole filter
thermal conduction mathematic model
ion beam machining
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分类号
TH744.3
[机械工程—光学工程]
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题名新型机器人视觉系统准直相干光束的获取
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作者
戴士杰
崔庆华
岳宏
蔡鹤皋
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机构
哈尔滨工业大学
河北工业大学机器人及自动化研究所
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2002年第5期437-440,共4页
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基金
天津市重点自然基金资助 (99380 1 4 1 1 )
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文摘
论述了一种新型的机器人视觉系统所用激光准直光束的获取方法 ,分析了半导体激光束的像散椭圆高斯光束特性 ,设计了光束准直系统的光学结构 ,利用光斑法对准直度进行了检验 ,实验证明利用这种方法获取的准直光束符合该视觉系统的要求。
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关键词
机器人
视觉系统
准直相干光束
半导体激光器
扩束镜
针孔滤波器
准直镜
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Keywords
Robotic vision
Semiconductor laser
Expending lens
Pinhole filter
Collimation lens
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分类号
TP242.6
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名一种记录非可见光波段全息透镜的技术
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作者
徐昆贤
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机构
上海激光技术研究所
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出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
1983年第3期4-7,共4页
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文摘
本文提出了一种用可见光激光波长和染料敏化重铬酸盐明胶记录介质记录非可见光(红外或紫外)波段全息透镜的技术途径。
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关键词
全息透镜
可见光波段
全息图
全息光学元件
重铬酸盐
衍射级
针孔滤波器
衍射效率
衍射波
象差
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分类号
TB877
[一般工业技术—摄影技术]
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