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测量计算金属-半导体接触电阻率的方法 被引量:13
1
作者 李鸿渐 石瑛 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第2期155-159,共5页
如何测量、计算得到精确接触电阻值已凸显重要。介绍了多种测量计算金属-半导体欧姆接触电阻率的模型和方法,如矩形传输线模型、圆点传输线模型、多圆环传输线模型等,对各方法的利弊进行了讨论,并结合最新的研究进展进行了评述和归纳。... 如何测量、计算得到精确接触电阻值已凸显重要。介绍了多种测量计算金属-半导体欧姆接触电阻率的模型和方法,如矩形传输线模型、圆点传输线模型、多圆环传输线模型等,对各方法的利弊进行了讨论,并结合最新的研究进展进行了评述和归纳。综合多种因素考虑,认为圆点传输线模型是一种较好的测量金属半导体接触电阻率的方法。 展开更多
关键词 金属-半导体接触 接触电阻率 传输线模型
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金属-半导体金刚石薄膜的接触性质研究
2
作者 刘兴钊 杨邦朝 +1 位作者 李言荣 贾宇明 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第6期127-127,共1页
金属-半导体金刚石薄膜的接触性质研究刘兴钊,杨邦朝,李言荣,贾宇明(电子科技大学.成都610054)一、引言金刚石薄膜由于具有载流子饱和速率大、击穿电压高、介电常数低、热导率高等优异性能,被认为是大功率、高瞻及恶劣环... 金属-半导体金刚石薄膜的接触性质研究刘兴钊,杨邦朝,李言荣,贾宇明(电子科技大学.成都610054)一、引言金刚石薄膜由于具有载流子饱和速率大、击穿电压高、介电常数低、热导率高等优异性能,被认为是大功率、高瞻及恶劣环境下使用的电子元件的理想材料.在金... 展开更多
关键词 半导体 金刚石薄膜 金属-半导体 接触
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金属In与掺Nb的SrTiO_3金属半导体接触研究
3
作者 王世奇 马玉彬 《北京大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期19-22,共4页
研究了金属In与掺不同Nb浓度的SrTiO3(Nb-STO)衬底之间构成的金属半导体结(金-半结)。测量了不同温度下的I-V曲线。在掺杂浓度为0.05wt.%衬底构成的金-半结I-V曲线中,反向电压部分得到的有效因子n在1.05~1.10之间,且随温度变化很小,而... 研究了金属In与掺不同Nb浓度的SrTiO3(Nb-STO)衬底之间构成的金属半导体结(金-半结)。测量了不同温度下的I-V曲线。在掺杂浓度为0.05wt.%衬底构成的金-半结I-V曲线中,反向电压部分得到的有效因子n在1.05~1.10之间,且随温度变化很小,而正向的n很大,表明出势垒随着偏压的变化改变很大。金属In与Nb-STO衬底之间构成的金-半结在浓度为0.05wt.%和0.7wt.%的掺杂情况下,结点都表现出非线性的I-V关系,均不能视为欧姆接触。 展开更多
关键词 Nb掺杂SrTiO3 金属-半导体接触
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SnO_2半导体陶瓷酒敏元件选择性和欧姆接触研究 被引量:1
4
作者 徐毓龙 阎西林 +3 位作者 周晓华 曹全喜 李萍 高锦秀 《传感技术学报》 CAS CSCD 1989年第4期1-8,共8页
在SnO_2主体材料中添加某种硝酸盐溶液浸泡过的α-Al_2O_3,可制成对乙醇蒸汽灵敏度高,对H_2,CO,CH_4和汽油蒸汽灵敏度很低,即选择性好的酒敏元件。采用金属-n^+-n半导体结构来实现金属电极和SnO_2半导体陶瓷之间的欧姆接触,能有效地抑... 在SnO_2主体材料中添加某种硝酸盐溶液浸泡过的α-Al_2O_3,可制成对乙醇蒸汽灵敏度高,对H_2,CO,CH_4和汽油蒸汽灵敏度很低,即选择性好的酒敏元件。采用金属-n^+-n半导体结构来实现金属电极和SnO_2半导体陶瓷之间的欧姆接触,能有效地抑制元件的金-半接触所引起的不良影响,对于提高元件性能的一致性和成品率有重要作用。本文研究了硝酸盐溶液浓度和元件灵敏度、选择性、最佳工作温度的关系。研究了不同结构的金属电极-SnO_2半导体陶瓷接触对元件性能的影响。 展开更多
关键词 SnO2气敏元件 半导体陶瓷气敏传感器 酒敏元件 金属-半导件欧姆接触
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界面层对金属与n型Ge接触的影响
5
作者 周志文 叶剑锋 李世国 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期192-197,共6页
通过理论计算,对比分析了不同界面层对金属与n型锗(Ge)接触的影响。结果表明,界面层有利于降低费米能级钉扎效应,使金属与n型Ge接触的电子势垒高度降低。然而,由于界面层与Ge的导带之间存在带阶,界面层额外增加了不利的隧穿电阻。优化... 通过理论计算,对比分析了不同界面层对金属与n型锗(Ge)接触的影响。结果表明,界面层有利于降低费米能级钉扎效应,使金属与n型Ge接触的电子势垒高度降低。然而,由于界面层与Ge的导带之间存在带阶,界面层额外增加了不利的隧穿电阻。优化选择合适的界面层材料,降低电子势垒高度的同时减小隧穿电阻,有利于减小比接触电阻率。采用厚度为1.5 nm的Zn O作界面层,电子势垒高度为0.075 e V,比接触电阻率为2×10-8Ω·cm2,比无界面层的0.26Ω·cm2降低了7个数量级。 展开更多
关键词 界面(IL) 金属-接触 肖特基势垒高度 接触电阻率
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一种测量金属固-固相界面自由能的新方法
6
作者 安兵 张同俊 +1 位作者 袁超 崔崑 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第5期644-646,共3页
采用零蠕变法测量Si(111)单晶片上沉积的TiAl Al多层膜界面自由能。其实验方法为 :采用基片曲率法测量TiAl Al多层膜升温退火过程中的应力变化 ,分别在 35 0℃、4 0 0℃、4 5 0℃和 5 0 0℃保温 ,发现 5 0 0℃时多层膜达到平衡状态 ,最... 采用零蠕变法测量Si(111)单晶片上沉积的TiAl Al多层膜界面自由能。其实验方法为 :采用基片曲率法测量TiAl Al多层膜升温退火过程中的应力变化 ,分别在 35 0℃、4 0 0℃、4 5 0℃和 5 0 0℃保温 ,发现 5 0 0℃时多层膜达到平衡状态 ,最终的平衡应力为 0 5 7MPa ,计算TiAl Al的界面自由能γint为 0 19J m2 。 展开更多
关键词 测量 零蠕变法 -固相 界面自由能 金属 TiAl/Al多 力学性质 沉积 曲率
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铜基金属纳米多层膜界面介导的损伤及断裂行为原位研究进展
7
作者 祁志旭 岳鹏飞 +1 位作者 李习耀 王江伟 《精密成形工程》 北大核心 2024年第9期13-21,共9页
作为一种典型异质结构材料,纳米金属多层膜的力学响应通常表现出界面介导的损伤及断裂行为。而基于电镜发展的原位力学测试方法,可实现多层膜变形过程中力学行为的精确刻画,从而有助于揭示其界面损伤及断裂的潜在物理机制。当前围绕纳... 作为一种典型异质结构材料,纳米金属多层膜的力学响应通常表现出界面介导的损伤及断裂行为。而基于电镜发展的原位力学测试方法,可实现多层膜变形过程中力学行为的精确刻画,从而有助于揭示其界面损伤及断裂的潜在物理机制。当前围绕纳米多层膜的原位研究已有诸多进展。以铜基金属纳米多层膜为例,从缺陷-界面交互行为出发,基于组元层厚对位错运动的影响,详细讨论了位错塞积、约束层滑移和位错穿越3种位错-界面交互机制导致界面损伤的原位研究进展;阐述了孪晶-界面交互行为对界面损伤的影响,进一步分析了因孪生导致的界面损伤行为。在此基础上,讨论了多层膜变形过程中界面介导的裂纹萌生和扩展行为;基于界面类型、载荷加载形式和裂纹偏转等因素,详细分析了多层膜界面介导的断裂机制。最后对材料损伤断裂行为的原位研究进行了展望。 展开更多
关键词 纳米金属 界面损伤及断裂 位错-界面交互 孪晶-界面交互 原位研究
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基于应变锗的金属—半导体—金属光电探测器 被引量:1
8
作者 李鸿翔 张倩 +1 位作者 刘冠宇 薛忠营 《半导体技术》 CAS 北大核心 2023年第9期747-754,共8页
通过对锗(Ge)半导体材料进行拉伸应变和n型掺杂,可以提高其电子迁移率和发光性能。将薄膜卷曲技术与微电子加工技术相结合,制备出悬浮的Ge微米带结构,实现了单轴和双轴2种不同的应变状态,并且可以通过调整光刻图案来控制Ge的应变状态和... 通过对锗(Ge)半导体材料进行拉伸应变和n型掺杂,可以提高其电子迁移率和发光性能。将薄膜卷曲技术与微电子加工技术相结合,制备出悬浮的Ge微米带结构,实现了单轴和双轴2种不同的应变状态,并且可以通过调整光刻图案来控制Ge的应变状态和大小。利用这一方法,制备出了高性能双轴应变Ge对称型肖特基接触金属-半导体-金属(MSM)光电探测器。经测试,在1 V偏压和入射功率为1 000 nW的863 nm激光下,该探测器具有低至nA量级的暗电流和高达713的电流开/关比。该性能的实现主要是依赖于双轴应变和掺杂对Ge能带的修饰。研究结果展示了应变Ge在光电探测领域的优势,也证明了其在Si兼容光学通信设备中的应用潜力。 展开更多
关键词 绝缘体上锗(GOI) 应变锗(Ge) 肖特基接触 光电探测器 金属-半导体-金属(MSM)
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Ⅲ—V族化合物半导体欧姆接触研究的进展
9
作者 孙序文 《光通信研究》 1987年第2期45-49,共5页
本文介绍一种解释欧姆接触的比接触电阻ρ_c的新模型。并从理论上分析了利用RF溅射清洗半导体表面可使ρ_c降低的机理。
关键词 欧姆接触 半导体表面 接触电阻 溅射清洗 肖特基势垒 金属-半导体接触 化合物半导体
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绝缘层LiF/Al电极对提高P-PPV发光器件发光性能的研究 被引量:2
10
作者 林海波 徐晓轩 +3 位作者 吴宏滨 王斌 俞钢 张存洲 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期469-472,共4页
为了提高聚合物电致发光器件中Ba(Ca)/A l阴极的稳定性,在该阴极与聚合物发光材料poly(2-(4-ethylexyl)phenyl-1,4-phenylene vinylene)(P-PPV)层之间插入一层7 nm的L iF绝缘层,发光器件的发光性能在多项参数(发光器件的电压-电流特性... 为了提高聚合物电致发光器件中Ba(Ca)/A l阴极的稳定性,在该阴极与聚合物发光材料poly(2-(4-ethylexyl)phenyl-1,4-phenylene vinylene)(P-PPV)层之间插入一层7 nm的L iF绝缘层,发光器件的发光性能在多项参数(发光器件的电压-电流特性、发光强度及外量子效率,以及电流效率等发光性能指标)上能够与工作性能优良但稳定性较差的Ba(Ca)/A l电极结构PLED s器件的发光特性具有可比性。这对于研制高效率、高稳定的聚合物电致发光器件并最终将其用于商业目的,具有重大现实意义。 展开更多
关键词 聚合物发光二极管 P-PPV LIF 金属-半导体界面
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零蠕变法测量固-固相界面能研究 被引量:2
11
作者 安兵 张同俊 崔崑 《材料导报》 EI CAS CSCD 2002年第4期19-21,共3页
金属多层膜在高温低应力条件下发生弹性蠕变时,由于膜的塑性流动,使得测量金属固固相界面能成为可能。介绍了一种测量金属固-固相界面能的方法——零蠕变法,并着重阐述双向零蠕变法的原理和设备。
关键词 测量 -固相界面 界面 零蠕变法 金属 激光曲率法 界面张力 弹性为
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MS界面输运特性对碲镉汞光伏器件I-V特性的影响 被引量:2
12
作者 胡晓宁 李言谨 方家熊 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期165-168,共4页
根据金属 -碲镉汞接触的基本电流 -电压关系 ,深入讨论了金属 -半导体 (MS)接触界面输运特性对碲镉汞光伏器件 I- V特性的影响 ,并对实际器件的测量数据进行了分析比较 .
关键词 I-V特性 金属-碲镉汞接触 碲镉汞光伏器件 红外焦平面器件 界面 输运特性
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带Nb膜中间层的Cu/α-Al_2O_3的扩散焊接 被引量:2
13
作者 刘伟平 ElssnerG 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期94-96,共3页
采用扫描和透射电镜、能谱分析、X射线衍射和 4点弯曲试验研究了Nb膜中间层对单晶Cu与单晶α -Al2 O3 的扩散焊接特性以及接头组织和性能的影响。结果表明 ,通过电子束蒸镀获得的多晶Nb膜中间层扩散焊后具有织构组织 ,其密排面 (110 )... 采用扫描和透射电镜、能谱分析、X射线衍射和 4点弯曲试验研究了Nb膜中间层对单晶Cu与单晶α -Al2 O3 的扩散焊接特性以及接头组织和性能的影响。结果表明 ,通过电子束蒸镀获得的多晶Nb膜中间层扩散焊后具有织构组织 ,其密排面 (110 )平行于Al2 O3 的 (0 0 0 1)基面。Nb膜中间层的加入显著提高了Cu/Al2 O3 扩散焊接头的断裂能量 ,而扩散焊接温度可以与无Nb膜中间层时保持不变。带Nb膜中间层的Cu/Al2 O3接头所具有的高断裂能量是由于Nb与Al2 O3 较强的键合以及断裂时金属侧较大的塑性变形功二者综合作用的结果。透射电镜观察表明 ,在Cu/Al2 O3 扩散焊接头的界面附近存在大量位错。 展开更多
关键词 陶瓷-金属连接 扩散焊 界面组织 铌膜中间
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单元素半导体量子点制备及其光致发光性能的研究进展
14
作者 刘俊朋 杜希文 +1 位作者 孙景 鲁颖炜 《材料导报》 EI CAS CSCD 2004年第F04期225-226,229,共3页
单元素半导体量子点的制备成功使光电集成成为可能。介绍了单元素半导体量子点的制备方法,包括射频磁控溅射技术、硅离子注入技术、化学气相沉积法、溶胶-凝胶法等;并且介绍了单元素半导体量子点的发光机理模型,包括量子限制效应模... 单元素半导体量子点的制备成功使光电集成成为可能。介绍了单元素半导体量子点的制备方法,包括射频磁控溅射技术、硅离子注入技术、化学气相沉积法、溶胶-凝胶法等;并且介绍了单元素半导体量子点的发光机理模型,包括量子限制效应模型、与氧有关的缺陷发光、量子限制效应-发光中心复合发光和界面层中的激子效应发光等;另外对单元素半导体量子点的发展前景进行了展望。 展开更多
关键词 半导体量子点 光致发光性能 元素 研究进展 射频磁控溅射技术 化学气相沉积法 离子注入技术 溶胶-凝胶法 量子限制效应 光电集成 制备方法 机理模型 效应模型 激子效应 复合发光 发光中心 发展前景 界面
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高阈值电压低界面态增强型Al_2O_3/GaN MIS-HEMT 被引量:3
15
作者 李茂林 陈万军 +6 位作者 王方洲 施宜军 崔兴涛 信亚杰 刘超 李肇基 张波 《半导体技术》 CAS 北大核心 2019年第4期265-269,290,共6页
采用高温热氧化栅极凹槽刻蚀工艺并结合高温氮气氛围退火技术,制备出了高阈值电压的硅基GaN增强型Al_2O_3/GaN金属-绝缘体-半导体高电子迁移率晶体管(MIS-HEMT)。采用高温热氧化栅极凹槽刻蚀工艺刻蚀AlGaN层,并在AlGaN/GaN界面处自动终... 采用高温热氧化栅极凹槽刻蚀工艺并结合高温氮气氛围退火技术,制备出了高阈值电压的硅基GaN增强型Al_2O_3/GaN金属-绝缘体-半导体高电子迁移率晶体管(MIS-HEMT)。采用高温热氧化栅极凹槽刻蚀工艺刻蚀AlGaN层,并在AlGaN/GaN界面处自动终止刻蚀,可有效控制刻蚀的精度并降低栅槽表面的粗糙度。同时,利用高温氮气退火技术能够修复Al_2O_3/GaN界面的界面陷阱,并降低Al_2O_3栅介质体缺陷,因此能够减少Al_2O_3/GaN界面的界面态密度并提升栅极击穿电压。采用这两项技术制备的硅基GaN增强型Al_2O_3/GaN MIS-HEMT具有较低的栅槽表面平均粗糙度(0.24 nm)、较高的阈值电压(4.9 V)和栅极击穿电压(14.5 V)以及较低的界面态密度(8.49×10^(11) cm^(-2))。 展开更多
关键词 增强型Al2O3/GaN金属-绝缘体-半导体高电子迁移率晶体管(MIS-HEMT) 阈值电压 界面 热氧化 退火
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降低金属与n型Ge接触电阻方法的研究进展
16
作者 周志文 沈晓霞 李世国 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第1期10-15,31,共7页
Ge材料中n型杂质激活的电子浓度偏低,以及费米能级钉扎效应导致的金属与n型Ge接触电子势垒高度偏大,使金属与n型Ge接触电阻较大。基于Ge的材料特性,分析了缺陷对杂质浓度以及费米能级钉扎对电子势垒高度的影响;综述了提高Ge材料中n型掺... Ge材料中n型杂质激活的电子浓度偏低,以及费米能级钉扎效应导致的金属与n型Ge接触电子势垒高度偏大,使金属与n型Ge接触电阻较大。基于Ge的材料特性,分析了缺陷对杂质浓度以及费米能级钉扎对电子势垒高度的影响;综述了提高Ge材料中n型掺杂电子浓度的方法,如激光退火、磷和锑共掺、循环离子注入/退火、氟钝化等;讨论了降低金属与n型Ge接触电子势垒高度的途径,即插入薄的界面层形成金属-界面层-Ge接触。电子浓度的提高,以及电子势垒高度的降低,有效地减小了金属与n型Ge接触电阻。 展开更多
关键词 锗(Ge) N型掺杂 金属-界面层-半导体接触 金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET) 接触电阻
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用中间层为非活性金属FeNi/Cu的Si_3N_4陶瓷与Ni的扩散连接 被引量:13
17
作者 陈铮 顾晓波 +1 位作者 李国安 方芳 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期25-28,共4页
采用非活性金属中间层FeNi/Cu在高、低真空条件下进行了Si3 N4 陶瓷与Ni的扩散连接 ,然后对部分接头进行了热等静压 (HIP)后处理 ,测定了连接接头的四点弯曲强度 ,用扫描电镜 (SEM)、电子探针 (EPMA)和X射线衍射仪 (XRD)对连接界面区域... 采用非活性金属中间层FeNi/Cu在高、低真空条件下进行了Si3 N4 陶瓷与Ni的扩散连接 ,然后对部分接头进行了热等静压 (HIP)后处理 ,测定了连接接头的四点弯曲强度 ,用扫描电镜 (SEM)、电子探针 (EPMA)和X射线衍射仪 (XRD)对连接界面区域进行了分析。结果表明 ,采用非活性金属中间层扩散连接Si3 N4 陶瓷与Ni,在高真空和低真空条件下均能获得高强度连接 ,连接界面处没有形成Ni-Si化合物反应层 ,连接时间对接头强度的影响不明显。上述特征与用活性金属中间层连接时的情况截然不同。本文的连接方法有着重要的工程应用前景。 展开更多
关键词 陶瓷-金属连接 扩散连接 中间 界面反应 连接强度 热等静压
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压力条件下固-液复合法制备铜/锌复合材料的研究 被引量:3
18
作者 宋克兴 张亚 +2 位作者 张彦敏 赵培峰 王海燕 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期16-19,共4页
采用压力条件下固-液复合法,在不同的锌液浇注温度下制备了铜/锌复合材料,并对其界面结合质量、组织成分和硬度等进行分析研究。结果表明:在铜板预热温度440℃,锌液浇注温度420℃时,可以获得厚度约为8μm、冶金结合良好的复合界面,此时... 采用压力条件下固-液复合法,在不同的锌液浇注温度下制备了铜/锌复合材料,并对其界面结合质量、组织成分和硬度等进行分析研究。结果表明:在铜板预热温度440℃,锌液浇注温度420℃时,可以获得厚度约为8μm、冶金结合良好的复合界面,此时界面层抗拉强度大于40.86MPa,超过铸态锌基体的抗拉强度;随着锌液浇注温度的升高,界面层厚度增加,抗拉强度降低,界面层生成的金属间化合物(CuZn)增多;界面层硬度显著高于基体硬度。 展开更多
关键词 锌复合材料 -液复合法 界面 金属间化合物
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子宫腺肌病EMI处MMP-7和E-Cadherin的表达及意义 被引量:4
19
作者 廖瑜 陈宇毅 +1 位作者 张哲珺 徐建平 《暨南大学学报(自然科学与医学版)》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期216-222,共7页
目的:检测基质金属蛋白酶-7(MMP-7)及上皮钙黏素-E(E-cadherin)在子宫腺肌病病灶与内膜-肌层界面(EMI)处在位内膜的表达情况,了解MMP-7及E-cadherin在子宫腺肌病发病中的作用.方法:选取因子宫腺肌病行全子宫切除或次全子宫切除的子宫标... 目的:检测基质金属蛋白酶-7(MMP-7)及上皮钙黏素-E(E-cadherin)在子宫腺肌病病灶与内膜-肌层界面(EMI)处在位内膜的表达情况,了解MMP-7及E-cadherin在子宫腺肌病发病中的作用.方法:选取因子宫腺肌病行全子宫切除或次全子宫切除的子宫标本40例,同时以子宫良性病变(如子宫肌瘤)行全子宫切除或次全子宫切除的子宫标本30例作为对照.采用免疫组化方法检测MMP-7及E-cadherin在子宫腺肌病病灶、子宫内膜-肌层界面处组织中的表达水平,测定这两种蛋白分子表达的阳性单位(PU值).结果:在子宫腺肌病组中病灶和内膜-肌层交界处内膜MMP-7较对照组表达水平上调;E-cadherin的表达下调;两者在子宫腺肌病子宫内膜-肌层交界处的内膜表达水平呈负相关.结论:子宫EMI处子宫内膜腺体细胞MMP-7表达增高,降解了子宫肌层的细胞外基质,其屏障作用减弱,基底层子宫内膜细胞容易侵入子宫肌层生长并形成异位病灶;EMI处腺体细胞E-cadherin表达下调,直接导致细胞黏附能力下降,细胞解聚,子宫内膜细胞之间以及子宫内膜细胞与基质之间的黏附作用降低,从而变得易从在位部位解离,侵入和种植在肌层中. 展开更多
关键词 子宫腺肌病 基质金属蛋白酶-7 上皮型钙黏素 子宫内膜——肌界面
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胶体金量子点浮置栅MOS结构的制备及其C-V特性
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作者 李卫 《南京邮电大学学报(自然科学版)》 2010年第5期55-58,共4页
通过单相相转移法合成了胶体金纳米粒子,利用异种电荷之间的静电相互吸引作用,采用自组装技术制备了二维有序纳米金阵列。在此基础上,制备了在氧化层中内嵌纳米金颗粒的金属-氧化层-半导体(MOS)结构,并研究了其C-V特性。扫描电镜显示... 通过单相相转移法合成了胶体金纳米粒子,利用异种电荷之间的静电相互吸引作用,采用自组装技术制备了二维有序纳米金阵列。在此基础上,制备了在氧化层中内嵌纳米金颗粒的金属-氧化层-半导体(MOS)结构,并研究了其C-V特性。扫描电镜显示金粒子的直径在6~7 nm左右,C-V测量结果显示胶体金量子点浮置栅MOS结构存在3V左右的平带电压偏移。通过这种方法制备的胶体金量子点浮置栅MOS结构可以在非挥发性存储器研究方面展现巨大的应用前景。 展开更多
关键词 金属-氧化-半导体(MOS)结构 电容-电压(C-V) 纳米金颗粒 自组装
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