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采用磁过滤MEVVA源制备DLC膜的研究
被引量：
4
1
作者
张旭
张通和
+2 位作者
易仲珍
张荟星
王广甫
《北京师范大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第4期478-481,共4页
采用磁过滤MEVVA沉积技术以石墨为阴极在几种衬底表面 (单晶硅、不锈钢和工具钢等 )上制备高质量类金刚石 (DLC)薄膜。实验结果表明 ,沉积能量对薄膜的sp3键含量的影响为先随能量的增加而增加 ,达到最大值后 ,再增加沉积能量含量反而下...
采用磁过滤MEVVA沉积技术以石墨为阴极在几种衬底表面 (单晶硅、不锈钢和工具钢等 )上制备高质量类金刚石 (DLC)薄膜。实验结果表明 ,沉积能量对薄膜的sp3键含量的影响为先随能量的增加而增加 ,达到最大值后 ,再增加沉积能量含量反而下降。硬度测试结果表明 ,非晶金刚石薄膜具有极高的硬度 ,为 70～ 78GPa ,远远高于衬底材料的硬度值 .对非晶金刚石薄膜的摩擦性能试验结果表明 ,非晶金刚石薄膜的摩擦因数为 0 .16～ 0 .2 ,大大低于衬底材料 .
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关键词
磁过滤
MEVVA源
制备
DLC膜
类金刚石膜
金属蒸汽真空弧沉积
非晶金刚石薄膜
耐磨损性能
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职称材料
题名
采用磁过滤MEVVA源制备DLC膜的研究
被引量：
4
1
作者
张旭
张通和
易仲珍
张荟星
王广甫
机构
北京师范大学射线束技术与材料改性教育部重点实验室
北京师范大学分析测试中心
出处
《北京师范大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第4期478-481,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目 (50 1 4 1 0 2 2 )
国家"八六三"计划资助项目
+1 种基金
北京市优秀人才资助项目
北京师范大学青年科学基金资助项目
文摘
采用磁过滤MEVVA沉积技术以石墨为阴极在几种衬底表面 (单晶硅、不锈钢和工具钢等 )上制备高质量类金刚石 (DLC)薄膜。实验结果表明 ,沉积能量对薄膜的sp3键含量的影响为先随能量的增加而增加 ,达到最大值后 ,再增加沉积能量含量反而下降。硬度测试结果表明 ,非晶金刚石薄膜具有极高的硬度 ,为 70～ 78GPa ,远远高于衬底材料的硬度值 .对非晶金刚石薄膜的摩擦性能试验结果表明 ,非晶金刚石薄膜的摩擦因数为 0 .16～ 0 .2 ,大大低于衬底材料 .
关键词
磁过滤
MEVVA源
制备
DLC膜
类金刚石膜
金属蒸汽真空弧沉积
非晶金刚石薄膜
耐磨损性能
Keywords
filtered arc
DLC
MEVVA
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
采用磁过滤MEVVA源制备DLC膜的研究
张旭
张通和
易仲珍
张荟星
王广甫
《北京师范大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2002
4
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