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题名中波红外亚波长单层增透膜金属线栅偏振器件设计
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作者
王佩瑶
刘洹庚
任立勇
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机构
陕西师范大学物理学与信息技术学院
西安市光信息调控与增强技术重点实验室
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出处
《应用光学》
北大核心
2025年第1期186-193,共8页
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基金
陕西省技术创新引导专项秦创原“科学家+工程师”队伍建设项目(2024QCY-KXJ-179)
陕西省重点研发计划关键核心技术攻关项目(2024QY2-GJHX-45)。
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文摘
针对3μm~5μm中波红外波段,设计了一种硅(Si)基底上的金(Au)金属线栅偏振器件,提出了在Au线栅和Si基底间引入MgF_(2)介质层,以提高金属线栅的TM波透过率和偏振消光比ER。利用COMSOL仿真软件模拟优化Si基底上的Au金属线栅的相关结构参数,计算结果表明,TM波平均透过率为93%、平均偏振消光比为39.3 dB。同时,还提出了采用金属钨(W)作为新的金属材料来提高线栅偏振器偏振性能的方法,仿真结果表明,TM波平均透过率为92.7%、平均偏振消光比为64.4 dB。然而,金属钨的硬度较高,对蚀刻工艺要求更高,我们期待通过工艺和技术手段的进步,制作出性能优越的中波红外金属线栅偏振器件。
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关键词
金属线栅偏振器
Si基底
金(Au)线栅
钨(W)线栅
偏振消光比
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Keywords
metal wire-grid polarizer
Si substrate
Au wire grid
W wire grid
polarization extinction ratio
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分类号
O43
[机械工程—光学工程]
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