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金属杂质粒子诱导薄膜的损伤机理研究
1
作者
张秋慧
冯国英
+1 位作者
李娜
韩敬华
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第1期159-162,共4页
薄膜内的杂质粒子极易诱导薄膜损伤,研究了金属粒子诱导HfO2薄膜损伤的特征,并基于金属粒子的热力学过程进行了分析。金属粒子对激光的强烈吸收将引起薄膜的熔化、气化以及电离,从而引起薄膜的剥离和脱落,形成圆状坑点;金属粒子对激光...
薄膜内的杂质粒子极易诱导薄膜损伤,研究了金属粒子诱导HfO2薄膜损伤的特征,并基于金属粒子的热力学过程进行了分析。金属粒子对激光的强烈吸收将引起薄膜的熔化、气化以及电离,从而引起薄膜的剥离和脱落,形成圆状坑点;金属粒子对激光的吸收、热扩散以及热膨胀效应与其尺寸等密切相关;从温升规律分析,在相同激光能量辐照下,粒子大小引起的温升不同,从而形成大小不一的点坑状破坏点,且存在一个温升效应最强的粒径,最易引起薄膜的损伤;从金属粒子激光等离子体的辐射效应分析,金属粒子的辐射谱主要集中在紫外部分,辐射光子能量比入射激光光子能量强,具有更强的电离能力,从而加剧了薄膜的去除。
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关键词
激光诱导损伤
金属粒子
热力学效应
金属粒子等离子体
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职称材料
题名
金属杂质粒子诱导薄膜的损伤机理研究
1
作者
张秋慧
冯国英
李娜
韩敬华
机构
河南工程学院电气信息工程系
四川大学电子信息学院
出处
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第1期159-162,共4页
基金
国家自然科学基金重大项目(60890203)
国家自然科学基金面上项目(10976017)资助
文摘
薄膜内的杂质粒子极易诱导薄膜损伤,研究了金属粒子诱导HfO2薄膜损伤的特征,并基于金属粒子的热力学过程进行了分析。金属粒子对激光的强烈吸收将引起薄膜的熔化、气化以及电离,从而引起薄膜的剥离和脱落,形成圆状坑点;金属粒子对激光的吸收、热扩散以及热膨胀效应与其尺寸等密切相关;从温升规律分析,在相同激光能量辐照下,粒子大小引起的温升不同,从而形成大小不一的点坑状破坏点,且存在一个温升效应最强的粒径,最易引起薄膜的损伤;从金属粒子激光等离子体的辐射效应分析,金属粒子的辐射谱主要集中在紫外部分,辐射光子能量比入射激光光子能量强,具有更强的电离能力,从而加剧了薄膜的去除。
关键词
激光诱导损伤
金属粒子
热力学效应
金属粒子等离子体
Keywords
Laser induced damage
Metal particle
Thermodynamic effects
Laser plasma of metal particles
分类号
O539 [理学—等离子体物理]
TN244 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
金属杂质粒子诱导薄膜的损伤机理研究
张秋慧
冯国英
李娜
韩敬华
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
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