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金属离子注入纳米结构和特性 被引量:9
1
作者 张通和 吴瑜光 +1 位作者 刘安东 张旭 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期620-623,共4页
材料中纳米弥散相的形成对材料强化有着非常重要的作用 ,离子注入技术在材料表面容易形成这种结构 .透射电子显微镜观察表明 ,经过 Ti注入的钢 ,表面形成了直径为 10~ 30 nm丝状的 Fe Ti和 Fe Ti2 相 ,其长度为 15 0~ 32 0 nm ,当束... 材料中纳米弥散相的形成对材料强化有着非常重要的作用 ,离子注入技术在材料表面容易形成这种结构 .透射电子显微镜观察表明 ,经过 Ti注入的钢 ,表面形成了直径为 10~ 30 nm丝状的 Fe Ti和 Fe Ti2 相 ,其长度为 15 0~ 32 0 nm ,当束流密度分别为 2 5~ 5 0μA.cm-2 时 ,弥散相的密度分别为 1.2× 10 11和 6 .5× 10 10 cm-2 ,其平均直径则分别为 10和 18nm.扫描电子显微镜观察C+ Ti样品表明 ,注入后表面形成的抗腐蚀钝化层也为丝状纳米结构 ,细丝直径 2 5~ 6 0 nm,长度10 0~ 2 0 0 nm,密度约 2 .2× 10 9cm-2 .这种致密的结构具有很强的抗磨损特性和抗腐蚀特性 .抗磨损特性提高了 8倍 .电化学测量结果表明 ,随注量的增加 ,腐蚀电流密度 Jp 明显下降 ,用 3× 10 17cm-2 注量的 Ti注入 H13钢 Jp 比未经注入之值降低到 0 .12 5 %~ 0 .0 5 0 % ;W注入聚脂膜 (PET)形成了 10~ 2 0 nm W的析出相 ,这种相的析出使 PET表面硬度增加 ,抗磨损和抗腐蚀特性增强 。 展开更多
关键词 金属离子注入 H13钢 聚脂膜 抗腐蚀 抗磨损 纳米相 金属表面改性 纳米结构
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金属离子注入聚合物光电特性研究 被引量:2
2
作者 吴瑜光 张通和 +1 位作者 谢孟峡 周固 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期96-97,100,共3页
采用MEVVA离子注入机引出的Cu 和Ni离子注入聚酯薄膜,注入后的聚酯膜极大降低了聚酯膜的电阻率。注入表面紫外线和红外线吸收特性明显地增强。用透射电子显微镜观察注入聚酯膜的横截面,TEM观察表明,在注入层中形成了纳... 采用MEVVA离子注入机引出的Cu 和Ni离子注入聚酯薄膜,注入后的聚酯膜极大降低了聚酯膜的电阻率。注入表面紫外线和红外线吸收特性明显地增强。用透射电子显微镜观察注入聚酯膜的横截面,TEM观察表明,在注入层中形成了纳米金属颗粒和富集的碳颗粒。注入层的结构的变化和新相的形成引起了聚合物表面物理和化学特性的改变,进而讨论了金属离子注入聚酯膜的改性机理。 展开更多
关键词 金属离子注入 电阻率 纳米颗粒 导电机理 光电特性 功能材料 聚酯膜
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MEVVA源金属离子注入和金属等离子体浸没注入 被引量:6
3
作者 张涛 侯君达 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 2000年第3期8-12,共5页
MEVVA源金属离子注入技术和金属等离子体浸没注入技术MePIII的共同特性是强流金属离子注入。它们各具长处,相互补充,共同发展。前者因无鞘层重叠问题和其方向强的特点,特别适用于小件、简单件的大批量金属离子注入处理,能保证处理... MEVVA源金属离子注入技术和金属等离子体浸没注入技术MePIII的共同特性是强流金属离子注入。它们各具长处,相互补充,共同发展。前者因无鞘层重叠问题和其方向强的特点,特别适用于小件、简单件的大批量金属离子注入处理,能保证处理的均匀性和高效率。后者因无视线加工限制并克服了保持剂量问题,特别适用于处理体积较大、形状复杂的工件,能保证工件所有暴露表面的加工均匀性,调整工作参数,还能进行金属膜沉积和各种沉积/注入比例的动态增强沉积金属、合金及化合物膜制备。综述上述二者的开发、工作原理、材料表面改性研究和工业应用新进展。 展开更多
关键词 金属离子注入 MEVVA源 PIll技术
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氮、氧及金属离子注入铝合金表面改性层摩擦磨损性能研究 被引量:9
4
作者 汤宝寅 张更伟 +4 位作者 王小峰 王浪平 李焕然 王松雁 彭湃 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期287-291,共5页
在不同温度下对6061铝合金分别进行了氮、氧等离子体浸没离子注入处理,氮与氢混合气体等离子体浸没离子注入处理,以及在氮气氛中的钛或铝等离子体浸没离子注入与沉积处理;采用X射线光电子能谱仪分析了注入改性层的相组成、高温下氧离子... 在不同温度下对6061铝合金分别进行了氮、氧等离子体浸没离子注入处理,氮与氢混合气体等离子体浸没离子注入处理,以及在氮气氛中的钛或铝等离子体浸没离子注入与沉积处理;采用X射线光电子能谱仪分析了注入改性层的相组成、高温下氧离子注入层的成分及注入离子浓度的深度分布;同时测定了注入改性层的显微硬度及摩擦磨损性能.结果表明:经300℃下氧离子注入处理后铝合金表面形成了较厚的硬质Al2O3层,从而使铝合金表面的耐磨寿命显著延长;经氮/氢混合注入以及氮气氛中金属离子注入和沉积处理后的铝合金表面的抗磨性能显著改善;同单一氮离子注入相比,氮/氢混合注入能更有效地改善铝合金的性能. 展开更多
关键词 铝合金 离子体浸没离子注入 金属离子体浸没离子注入和沉积 摩擦磨损性能
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金属等离子体浸没Ta^+和Ti^+离子注入
5
作者 张涛 侯君达 +4 位作者 张孝吉 张荟星 朱剑豪 曾照明 田修波 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2000年第2期181-183,共3页
采用由阴极真空弧等离子体源、负脉冲高压靶台和磁过滤系统组成的金属等离子体浸没注入系统 ,实现Ta+ 和Ti+ 浸没注入 ,并对离子注入层予以表征 .结果表明 ,等离子体浸没离子注入钽和钛的RBS分析射程 ,低于按设定加速电压的注入能量计算... 采用由阴极真空弧等离子体源、负脉冲高压靶台和磁过滤系统组成的金属等离子体浸没注入系统 ,实现Ta+ 和Ti+ 浸没注入 ,并对离子注入层予以表征 .结果表明 ,等离子体浸没离子注入钽和钛的RBS分析射程 ,低于按设定加速电压的注入能量计算的TRIM射程 . 展开更多
关键词 金属离子注入 金属离子体浸没 表面改性
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钛离子注入类金刚石碳膜的结构与性能的研究 被引量:12
6
作者 柳翠 苟伟 +1 位作者 牟宗信 李国卿 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期301-303,共3页
使用金属离子注入的方法制备了 Ti掺杂的DLC膜。采用原子力显微镜观察了薄膜的表面形貌,Ti掺杂后 DLC 膜的表面粗糙度明显减小,表面光洁度增加,颗粒细化。拉曼光谱分析表明实验获得的薄膜是典型的DLC膜,掺杂Ti后的 DLC膜的拉曼光谱存在... 使用金属离子注入的方法制备了 Ti掺杂的DLC膜。采用原子力显微镜观察了薄膜的表面形貌,Ti掺杂后 DLC 膜的表面粗糙度明显减小,表面光洁度增加,颗粒细化。拉曼光谱分析表明实验获得的薄膜是典型的DLC膜,掺杂Ti后的 DLC膜的拉曼光谱存在明显的肩峰,DLC膜化学结构中的sp2 组分增加,sp3 组分减少。透射电子显微镜分析表明Ti注入后有TiC纳米晶形成。掺入Ti的 DLC膜的硬度从 14GPa增加到 20GPa。Ti 掺杂后的 DLC 膜的摩擦系数(0.15)明显低于未掺杂的DLC膜的摩擦系数(0.21),Ti离子注入有助于提高薄膜的抗磨损性。 展开更多
关键词 无机非金属材料 类金刚石碳膜 金属离子注入 钛掺杂
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Ti离子注入聚合物纳米结构分析 被引量:5
7
作者 周固 吴瑜光 +1 位作者 张通和 赵新荣 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期183-186,共4页
采用MEVVA源引出的Ti等离子注入聚酯 (PET)薄膜 ,注量在 1× 10 172× 10 17cm- 2 范围 .用透射电子显微镜分析了金属离子注入PET纳米结构随注量增加的变化 .结果表明 ,注入的Ti原子在PET中形成了密集的纳米相 ,这些纳米相均匀... 采用MEVVA源引出的Ti等离子注入聚酯 (PET)薄膜 ,注量在 1× 10 172× 10 17cm- 2 范围 .用透射电子显微镜分析了金属离子注入PET纳米结构随注量增加的变化 .结果表明 ,注入的Ti原子在PET中形成了密集的纳米相 ,这些纳米相均匀地弥散分布在注入层中 .用透射电子显微镜 (TEM )观察横截面表明 ,注入层为 3层结构 .可见Ti的注入已经在注入层中形成了金属化表面 .表面硬度、抗磨损特性和电导率明显地增加 .最后分析了金属离子注入对聚合物特性的改善机理 . 展开更多
关键词 透射电子显微镜分析 金属离子注入 聚合物 纳米结构 PET
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C和金属(Mo,Ti)离子双注入H13钢抗腐蚀纳米丝状结构的形成 被引量:6
8
作者 张通和 吴瑜光 易仲珍 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2001年第3期348-351,共4页
用多次扫描电位法研究了金属Mo和Ti与C离子双注入和 2种元素注入的顺序对抗腐蚀特性的影响 ,研究了抗腐蚀纳米相生成的条件 ,首次观察到细丝状纳米碳化物镶嵌相的形成 ,以及这些相对抗腐蚀特性的作用 ,并对其改性机理进行了讨论 .扫描... 用多次扫描电位法研究了金属Mo和Ti与C离子双注入和 2种元素注入的顺序对抗腐蚀特性的影响 ,研究了抗腐蚀纳米相生成的条件 ,首次观察到细丝状纳米碳化物镶嵌相的形成 ,以及这些相对抗腐蚀特性的作用 ,并对其改性机理进行了讨论 .扫描电子显微镜观察表明 ,抗腐蚀的细丝状纳米碳化物镶嵌相与双注入的注入次序有密切的关系 ,这种相仅出现在碳为最后的双注入中 .特别可贵的是这种细丝状纳米碳化物镶嵌相也能有效地提高抗点蚀特性 . 展开更多
关键词 金属离子注入 抗腐蚀特性 H13钢 改性机理 表面处理 离子注入 抗腐蚀纳米丝状结构
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单晶硅非平衡磁控溅射等离子体基离子注入钼的XPS研究 被引量:1
9
作者 夏立芳 于伟东 孙跃 《真空科学与技术》 EI CSCD 北大核心 2001年第3期190-193,202,共5页
采用非平衡磁控溅射及射频激励产生金属等离子体 ,在单晶基体Si上等离子体基离子注入钼。选择不同的靶基距 ,即不同的Mo沉积速率 ,研究了沉积速率对Si中Mo注入层的影响 ,用X光电子能谱 (XPS)对注入层中Mo的深度分布和化学态进行了分析... 采用非平衡磁控溅射及射频激励产生金属等离子体 ,在单晶基体Si上等离子体基离子注入钼。选择不同的靶基距 ,即不同的Mo沉积速率 ,研究了沉积速率对Si中Mo注入层的影响 ,用X光电子能谱 (XPS)对注入层中Mo的深度分布和化学态进行了分析。结果表明 :注入过程由两部分组成 ,即反冲注入 (包括级联碰撞引起注入原子的位移 )和金属的纯注入。随靶基距增大 ,沉积速率减小 ,样品表面沉积层厚度减小 ,注入层增厚。靶基距为 30 0mm时 ,纯注入层厚度与理论计算值接近。XPS多道分析判断有MoSi2 展开更多
关键词 金属离子体基离子注入 单晶硅 X射线光电子能谱 非平衡磁控溅射
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Ag、Cu离子先后注入SiO_2玻璃后形成纳米颗粒的光学性质研究 被引量:2
10
作者 陈海波 蒋昌忠 +1 位作者 石瑛 付强 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期714-715,718,共3页
 采用由金属蒸汽真空弧离子源(MEVVA)引出的强束流脉冲Ag、Cu离子,先后注入到SiO2玻璃。注入的剂量均为5×1016ions/cm2,Ag的加速电压为43kV,Cu的加速电压为30kV。光学吸收谱显示吸收峰的位置在442nm,可以推测Ag、Cu在SiO2玻璃表...  采用由金属蒸汽真空弧离子源(MEVVA)引出的强束流脉冲Ag、Cu离子,先后注入到SiO2玻璃。注入的剂量均为5×1016ions/cm2,Ag的加速电压为43kV,Cu的加速电压为30kV。光学吸收谱显示吸收峰的位置在442nm,可以推测Ag、Cu在SiO2玻璃表层形成了纳米合金。借助X射线光电子能谱仪(XPS)考察注入样品的价态分布,观察到Ag、Cu仍大多以金属态形式存在。对样品进行退火后,发现光学透射率发生了明显的变化。 展开更多
关键词 金属离子注入 光学透射率 纳米颗粒 表面等离子 光学性质 SIO2玻璃 XPS 光开关
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先进离子束注入技术的工业应用 被引量:3
11
作者 张荟星 《材料导报》 EI CAS CSCD 2001年第2期4-4,共1页
本课题组从1988年以来,一直承担国家“863”新材料领域下达的以研制Mevva离子源为主的金属离子注入材料表面改性的任务。12年来已成功地研制了Mevva Ⅰ型、Ⅱ型ⅡA型、ⅡA-H型、ⅡB型和50型离子源。其中Mevva Ⅱ A-H型已广泛推广应用。... 本课题组从1988年以来,一直承担国家“863”新材料领域下达的以研制Mevva离子源为主的金属离子注入材料表面改性的任务。12年来已成功地研制了Mevva Ⅰ型、Ⅱ型ⅡA型、ⅡA-H型、ⅡB型和50型离子源。其中Mevva Ⅱ A-H型已广泛推广应用。到目前为止,已制造了约20台Mevva Ⅱ A-H型离子源,并推广到台湾、香港和大陆的大学、研究所以及工厂企业,为这些地区和单位发展金属离子注入材料表面改性的基础研究和工业应用研究做出了重要贡献。Mevva 展开更多
关键词 高子束注入技术 金属离子注入 金属材料 表面改性
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离子束医用生物聚合物材料改性研究 被引量:5
12
作者 吴瑜光 张通和 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2002年第1期41-44,共4页
采用MEVVA源引出的金属离子对聚酯(PET)薄膜进行了离子注入,根据医用生物材料的需要,研究了提高高分子生物材料耐磨性、抗腐蚀性的途径及改善生物相容性的方法,并讨论了改性机制.
关键词 金属离子注入 聚合物 抗腐蚀 抗磨损 生物相容性 医用生物材料 离子束改性 改性机制
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Zn纳米颗粒复合材料的太赫兹传输特性研究 被引量:1
13
作者 苏红 田静 +3 位作者 张吉成 王纯栋 郑丽杰 张传义 《深圳大学学报(理工版)》 EI CAS 北大核心 2013年第5期514-517,共4页
利用金属离子注入技术,将Zn离子注入到硅基上形成一种Zn原子纳米颗粒复合材料.基于太赫兹时域光谱系统,研究该纳米颗粒复合材料在太赫兹波段的传输特性.结果表明,与硅片相比,随着Zn离子注入剂量的增加,太赫兹时域光谱中峰值位置从8 ps... 利用金属离子注入技术,将Zn离子注入到硅基上形成一种Zn原子纳米颗粒复合材料.基于太赫兹时域光谱系统,研究该纳米颗粒复合材料在太赫兹波段的传输特性.结果表明,与硅片相比,随着Zn离子注入剂量的增加,太赫兹时域光谱中峰值位置从8 ps分别偏移至7.90、7.98与7.96 ps.通过傅里叶变换,表明Zn离子注入后某些频率处会出现透射增强. 展开更多
关键词 金属纳米颗粒 太赫兹波 功能器件 太赫兹增强效应 金属离子注入 多重散射
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Preparation and photocatalytic properties of Fe-doped TiO_2 nanoparticles 被引量:1
14
作者 陈晓青 杨娟玉 张俊山 《Journal of Central South University of Technology》 2004年第2期161-165,共5页
Nanocrystalline Fe-doped TiO2 with size of 6070 nm was prepared by a sol-gel technique, followed by freeze-drying treatment for 2 h. Thermogravimetric and differential thermal analyses, X-ray diffraction, scanning (e... Nanocrystalline Fe-doped TiO2 with size of 6070 nm was prepared by a sol-gel technique, followed by freeze-drying treatment for 2 h. Thermogravimetric and differential thermal analyses, X-ray diffraction, scanning (electron) microscope, laser diffraction particle size analyzer and UV-Vis spectrophotometer technologies were used to characterize the product. The photocatalytic activities of the samples were evaluated by the degradation of wastewater of paper-making. The effects of Fe ion implantation on the photocatalytic activity of TiO2 were also discussed. The results show that the iron content plays an essential role in affecting the photocatalytic activity of the Fe-doped TiO2 and the optimum content of Fe-doped is 0.05% (mass fraction). The photocatalytic activity of samples with lower content of Fe-doped is higher than that of pure TiO2 in the treatment of paper-making wastewater. The photo-degradation effect of paper-making effluent is the best by means of Fe-doped TiO2 with 0.05% Fe. 展开更多
关键词 nanometer titanium dioxide iron ion implantation photocatalytic activity paper-making wastewater
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