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金属氧化物气敏传感器的研究现状及其发展趋势 被引量:7
1
作者 章天金 周东祥 +2 位作者 付明 龚树萍 姜胜林 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第6期38-40,44,共4页
综述了国内外金属氧化物气敏传感器的生产和应用概况,分析了国内外目前的生产技术水平与现状,展望了金属氧化物气敏传感器的发展前景。
关键词 金属氧化物 传感器 器件 现状 发展
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金属氧化物气敏传感器(Ⅱ) 被引量:25
2
作者 徐毓龙 G.Heiland 《传感技术学报》 CAS CSCD 1996年第1期63-67,共5页
金属氧化物气敏传感器是金属氧化物与被测气体发生作用后,改变了它的电性质,从而把气体成份、浓度等化学信息转换成电的信息的一种元器件.
关键词 传感器 金属氧化物 传感器
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金属氧化物气敏传感器(V) 被引量:7
3
作者 徐毓龙 G.Heiland 《传感技术学报》 CAS CSCD 1996年第4期93-99,共7页
本书系西安电子科技大学徐毓龙教授与亚琛工大(德)D.Kohl和G.Heiland两教授合作,执笔写成的Metal oxide Gas Sensors专著,经对方授意,由徐编译成的连续性中文稿.计六章:(1)导论;(2)金属氧化物点缺陷理论;(3)重要金属氧化物的性质;(4)金... 本书系西安电子科技大学徐毓龙教授与亚琛工大(德)D.Kohl和G.Heiland两教授合作,执笔写成的Metal oxide Gas Sensors专著,经对方授意,由徐编译成的连续性中文稿.计六章:(1)导论;(2)金属氧化物点缺陷理论;(3)重要金属氧化物的性质;(4)金属氧化物的表面性质和表面过程;(5)金属氧化物气敏传感器举例;(6)结论和展望,拟分6期刊完.今在该书出版之前,作先导刊出,以飨读者. 展开更多
关键词 金属氧化物 氧化物半导体 传感器
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金属氧化物气敏传感器(Ⅵ) 被引量:5
4
作者 徐毓龙 G.Heiland 《传感技术学报》 CAS CSCD 1997年第1期79-82,共4页
6结论与展望 6.1气敏传感器近年来的研究开发成果 以二氧化锡可燃性气体传感器为代表的金属氧化物半导体气敏传感器和以二氧化锆浓差电池氧气传感器为代表的金属氧化物固体电解质气敏传感器实用化以来的短短几十年,金属氧化物气敏传感... 6结论与展望 6.1气敏传感器近年来的研究开发成果 以二氧化锡可燃性气体传感器为代表的金属氧化物半导体气敏传感器和以二氧化锆浓差电池氧气传感器为代表的金属氧化物固体电解质气敏传感器实用化以来的短短几十年,金属氧化物气敏传感器事业得到很大的发展,特别是近20年来。 展开更多
关键词 金属氧化物 传感器 半导体
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金属氧化物气敏传感器(Ⅳ) 被引量:1
5
作者 徐毓龙 G.Heiland 《传感技术学报》 CAS CSCD 1996年第3期72-78,共7页
绝大多数金属氧化物气敏传感器的工作原理是基于待测气体的吸附和紧随着的表面反应过程所引起的电导变化.本章简要介绍金属氧化物的表面性质和表面反应过程,作为深入了解其气敏作用机理和改善气敏传感器性能的基础.
关键词 传感器 金属氧化物 传感器
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金属氧化物气敏传感器(Ⅲ)
6
作者 徐毓龙 G.Heiland 《传感技术学报》 CAS CSCD 1996年第2期56-61,共6页
由于在太阳能电池、透明电极、催化剂,特别是气敏传感器领域的重要应用,金属氧化物材料日益受到重视.现已有不少文献资料介绍金属氧化物的单晶。
关键词 金属氧化物 传感器 传感器
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金属氧化物半导体电阻型气敏传感器作用机理 被引量:10
7
作者 徐毓龙 曹全喜 周晓华 《传感技术学报》 CAS CSCD 1992年第2期53-64,共12页
根据实验所得规律,知金属氧化物表面发生的气—固、气—气反应及其相关的电子过程是气敏作用机理的基础.添加剂、表面处理、温度控制等都能够影响这些反应过程,可用来改善传感器的灵敏度和选择性.
关键词 传感器 金属氧化物 半导体
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金属氧化物半导体气敏传感器稳定性研究进展 被引量:10
8
作者 周志刚 胡木林 李鄂胜 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期52-56,共5页
金属氧化物半导体(MOS)气敏传感器的稳定性是气敏器件实用化进程中最具有挑战性的因素。影响器件稳定性的主要因素包括颗粒尺寸、颈部宽度、微裂纹、电极、湿度和温度的变化。颗粒的长大和颗粒间颈部尺寸的变化降低了耗尽层对总电阻变... 金属氧化物半导体(MOS)气敏传感器的稳定性是气敏器件实用化进程中最具有挑战性的因素。影响器件稳定性的主要因素包括颗粒尺寸、颈部宽度、微裂纹、电极、湿度和温度的变化。颗粒的长大和颗粒间颈部尺寸的变化降低了耗尽层对总电阻变化的贡献;微裂纹的加剧使器件的电阻发生漂移,并且为水蒸气、氧气和待测气体扩散到敏感膜内部提供便捷的通道;电极的退化影响电极与气敏材料之间的接触电阻Rc;温度和湿度的改变使气体的吸附、脱附、反应活性和电子迁移率等都发生变化,因而器件的稳定性得不到保证。在机理分析的基础上,分别介绍了提高器件稳定性的方法。 展开更多
关键词 传感器 金属氧化物半导体 稳定性
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金属氧化物半导体SnO_2气敏传感器 被引量:8
9
作者 田敬民 《传感技术学报》 CAS CSCD 1996年第2期50-55,共6页
SnO_2具有金红石型的晶体结构,禁带宽度约为 3.6 eV.由于Sn的电子亲合力不太强,晶态SnO_2都具有氧空位,故属于N型金属氧化物半导体.作为施主的氧空位。
关键词 金属氧化物 氧化 传感器 传感器
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不同金属掺杂的SnO_(2)基气体传感器对挥发性有机物的检测性能及机制
10
作者 程静雯 陈庆彩 +4 位作者 于博 刘欢 徐腾飞 呼宇坤 刘思彤 《化工进展》 北大核心 2025年第9期5140-5149,共10页
我国近地面臭氧(O_(3))污染日益严重,“十四五”生态环境规划把O_(3)列为控制重点,因此,作为O_(3)前驱物质的挥发性有机物(VOCs)测量成为了一个焦点。本研究以VOCs的便携监测为需求,制备基于SnO_(2)的气体传感器,并分别用Sb、Co、Zn掺... 我国近地面臭氧(O_(3))污染日益严重,“十四五”生态环境规划把O_(3)列为控制重点,因此,作为O_(3)前驱物质的挥发性有机物(VOCs)测量成为了一个焦点。本研究以VOCs的便携监测为需求,制备基于SnO_(2)的气体传感器,并分别用Sb、Co、Zn掺杂改善SnO_(2)的气敏性能。利用SEM和XRD表征材料,纯SnO_(2)材料为球状颗粒;Sb-SnO_(2)材料为碎屑状并聚集成团;Co-SnO_(2)材料似麦片状;Zn-SnO_(2)材料为规则的矩形薄片。对各传感器进行VOCs气敏测试,结果表明,SnO_(2)气体传感器对乙醇有最高的响应值;而Co-SnO_(2)气体传感器的目标气体变为丙酮;Sb-SnO_(2)与Zn-SnO_(2)气体传感器均对三乙胺有选择性。其中,Zn-SnO_(2)气体传感器对三乙胺响应速度快(6s)、选择性好、稳定性佳、检测下限低(<1μL/L)。Zn-SnO_(2)传感器在最适工作温度250℃下对50μL/L三乙胺的灵敏度为49.6,较SnO_(2)气体传感器的灵敏度提升了8.1倍。最后,简要分析了气体传感器的敏感机理,以期为痕量大气VOCs环境检测提供一定的技术支持。 展开更多
关键词 挥发性有机物 传感器 金属掺杂 氧化 性能
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珊瑚状镧铁金属氧化物复合材料的制备及其气敏性能研究
11
作者 马靖威 孙丽霞 +3 位作者 叶鑫玲 陈建瑶 廖丹葵 孙建华 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2024年第8期136-141,146,共7页
以硝酸镧、硝酸铁为原料,尿素为沉淀剂,十六烷基三甲基溴化铵为分散剂,采用微波-超声辅助法和煅烧工艺,制备珊瑚状镧铁金属氧化物复合材料用于三乙胺检测,考察不同镧铁摩尔比对材料结构和气敏性能的影响。结果表明:当原料中镧铁摩尔比为... 以硝酸镧、硝酸铁为原料,尿素为沉淀剂,十六烷基三甲基溴化铵为分散剂,采用微波-超声辅助法和煅烧工艺,制备珊瑚状镧铁金属氧化物复合材料用于三乙胺检测,考察不同镧铁摩尔比对材料结构和气敏性能的影响。结果表明:当原料中镧铁摩尔比为2∶1时,获得的珊瑚状镧铁金属氧化物复合材料LFO1在工作温度为250℃时对100×10^(-6)g/mL三乙胺气体的灵敏度响应值达到505,检测限为2.8×10^(-6)g/mL,并具有良好的选择性、稳定性以及快速响应特性。这种优异的气敏性能归因于珊瑚状结构所具有的大比表面积为LFO1提供了大量活性位点,从而增强其对三乙胺气体的吸附和扩散能力。 展开更多
关键词 微波-超声辅助法 镧铁金属氧化物 三乙胺 性能 机理
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碳纳米管及其掺杂氧化物半导体气敏传感器 被引量:12
12
作者 林毓韬 徐涛 柳清菊 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期1159-1162,共4页
碳纳米管气敏传感器以其工作温度低和最低检出限较低等优点而备受关注,而碳纳米管掺杂氧化物半导体气敏传感器兼备了氧化物半导体气敏传感器和碳纳米管气敏传感器二者的优点,具有灵敏度较高、最低检出限低和工作温度低等特性。综述了这... 碳纳米管气敏传感器以其工作温度低和最低检出限较低等优点而备受关注,而碳纳米管掺杂氧化物半导体气敏传感器兼备了氧化物半导体气敏传感器和碳纳米管气敏传感器二者的优点,具有灵敏度较高、最低检出限低和工作温度低等特性。综述了这两类传感器的研究进展,介绍了其气敏机理,并对相应存在的问题及今后的发展趋势进行了概述。 展开更多
关键词 碳纳米管 氧化物半导体 掺杂 传感器
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新型氧化物半导体气敏传感器的研究进展 被引量:6
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作者 林毓韬 徐涛 +1 位作者 程定峰 柳清菊 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第23期45-48,58,共5页
空气质量日益恶化问题引起了人们的重视。为了监控空气质量,研究者开发了很多种类的气敏传感器,其中氧化物半导体气敏传感器具有灵敏度高、制造成本低和信号测量手段简单等优点,成为了目前的主流产品。综述了该类型新型传感器的研究进展... 空气质量日益恶化问题引起了人们的重视。为了监控空气质量,研究者开发了很多种类的气敏传感器,其中氧化物半导体气敏传感器具有灵敏度高、制造成本低和信号测量手段简单等优点,成为了目前的主流产品。综述了该类型新型传感器的研究进展,介绍了其气敏机理、结构和制作方法,并概述了其存在的问题及今后的发展趋势。 展开更多
关键词 氧化物半导体 掺杂 传感器
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氧化物半导体气敏传感器的改性研究进展 被引量:11
14
作者 朱琴 张裕敏 +2 位作者 胡昌义 张瑾 柳清菊 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第17期17017-17021,共5页
氧化物半导体气敏传感器具有灵敏度高、制造成本低、信号测量手段简单、使用方便等优点,在有毒有害气体实时监测方面极具应用潜力。综述了新型氧化物半导体气敏感器改性的研究进展、存在的问题及发展趋势。
关键词 氧化物半导体 改性 传感器 研究进展
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金属氧化物气体传感器的非线性处理方法 被引量:3
15
作者 傅中君 周根元 陈鉴富 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第9期1188-1192,共5页
金属氧化物气体传感器的气敏特性为非线性,难以用于气体组分定量测量。本文在分析该类传感器气敏特性的基础上,提出了一种非线性处理方法。该方法先采用数据预处理技术来解决测量电路的非线性,然后根据其在双对数域中存在线性或近似线... 金属氧化物气体传感器的气敏特性为非线性,难以用于气体组分定量测量。本文在分析该类传感器气敏特性的基础上,提出了一种非线性处理方法。该方法先采用数据预处理技术来解决测量电路的非线性,然后根据其在双对数域中存在线性或近似线性关系的原理通过三点标定进行非线性修正。验证实验证明该方法可以解决该类传感器的非线性问题,获得较高精度的测量结果。 展开更多
关键词 传感器 金属氧化物 特性 非线性处理 标定
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金属氧化物半导体气敏传感器的温度补偿技术(英文) 被引量:2
16
作者 何永勃 张文杰 董玉珊 《机床与液压》 北大核心 2018年第6期43-46,共4页
为了解决金属氧化物半导体气敏传感器易受外界环境温度影响而产生输出漂移的问题,提出了一种基于温度负反馈的补偿方法。通过构造适当的热敏电阻,设计了可调式开关稳压电路,为传感器提供加热电压,保证敏感材料较稳定的工作条件。通过TGS... 为了解决金属氧化物半导体气敏传感器易受外界环境温度影响而产生输出漂移的问题,提出了一种基于温度负反馈的补偿方法。通过构造适当的热敏电阻,设计了可调式开关稳压电路,为传感器提供加热电压,保证敏感材料较稳定的工作条件。通过TGS2610气敏传感器的对比实验,探测误差可由原来的-40%,+70%降低到±10。 展开更多
关键词 传感器 金属氧化物半导体 温度负反馈 温度补偿 电阻 可调开关稳压电路
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高温金属氧化物陶瓷湿敏传感器研究 被引量:1
17
作者 沈君权 任雅姗 +4 位作者 王瑞莉 唐竹兴 蔡威龙 李从勤 潘缉涵 《陶瓷学报》 CAS 1997年第1期1-5,共5页
本文论述了采用湿法合成可在高温(150℃)下应用的改性羟基磷灰石(HAP)感湿粉料工艺及有关性能,系统研究了应用上述改性HHP感湿粉料,采用厚膜丝网印工艺技术制成的湿敏元件和传感器的各项湿敏性能,探讨了有关工艺参数对元件性能... 本文论述了采用湿法合成可在高温(150℃)下应用的改性羟基磷灰石(HAP)感湿粉料工艺及有关性能,系统研究了应用上述改性HHP感湿粉料,采用厚膜丝网印工艺技术制成的湿敏元件和传感器的各项湿敏性能,探讨了有关工艺参数对元件性能的影响,通过中国建筑科学研究院空气调节研究所近两年的系统测试,首次给出了高温(150℃)下的湿度-电阻特性曲线。 展开更多
关键词 高温 金属氧化物 陶瓷 湿元件 传感器
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氧化物半导体丙酮气敏传感器材料研究与应用 被引量:2
18
作者 古彦飞 季惠明 张颖 《材料导报》 EI CAS CSCD 2004年第8期11-14,共4页
低浓度丙酮气体的检测在监测工业生产、食品质量、畜牧业和疾病等中有重要的作用。综述了近年来氧化物半导体丙酮气敏传感器材料的研究进展,并对传感器材料的形态、制备方法、敏感机理及存在的问题进行了分析,指出了发展方向。
关键词 氧化物半导体 丙酮 传感器 体检测
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基于金属氧化物半导体的瓦斯气体传感器研究现状及进展 被引量:3
19
作者 陈享享 刘天豪 +5 位作者 欧阳云飞 黄世毅 张朝阳 罗盛葳 陈润萱 林修合 《金属矿山》 CAS 北大核心 2023年第11期34-44,共11页
瓦斯是我国煤矿以及相关金属矿山安全事故发生的主要诱因。甲烷是瓦斯的主要成分,利用高性能气体传感器对甲烷进行及时的监测预警,可有效保障矿山井下作业的安全。金属氧化物半导体型传感器相比电化学式、气相色谱式、接触燃烧式、光学... 瓦斯是我国煤矿以及相关金属矿山安全事故发生的主要诱因。甲烷是瓦斯的主要成分,利用高性能气体传感器对甲烷进行及时的监测预警,可有效保障矿山井下作业的安全。金属氧化物半导体型传感器相比电化学式、气相色谱式、接触燃烧式、光学式等气体传感器,具有成本低、体积小、稳定性好和响应快等优点,因此应用前景广泛。介绍了几种常见的金属氧化物半导体甲烷气敏材料,分析其用于甲烷气体传感的基本原理和优势,总结得出提升金属氧化物半导体材料气敏性能的3个主要方向为形貌调控、贵金属掺杂和构建异质结。目前需要进一步围绕表面电阻控制、化学敏化和电子敏化等3种气敏提升机制进行优化制备。总体而言,金属氧化物半导体气敏材料的研究为开发高性能瓦斯传感器奠定了基础,并将有助于矿山的安全和可持续生产。 展开更多
关键词 甲烷检测 金属氧化物半导体 传感器 材料 煤矿安全
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半导体氧化物气体传感器测试新原理与方法 被引量:32
20
作者 张正勇 张耀华 +3 位作者 焦正 李民强 张蓉 刘锦淮 《传感技术学报》 CAS CSCD 2000年第2期106-110,共5页
本文基于半导体氧化物的气体敏感机理,提出对其测试的新原理和方法,通过试验发现,这种动态测试方法不仅能提高半导体氧化物的选择性和稳定性,而且能从混合气体中分辨出特定的气体成分,判断出大致的逍度.用这种方法,同一种气体传... 本文基于半导体氧化物的气体敏感机理,提出对其测试的新原理和方法,通过试验发现,这种动态测试方法不仅能提高半导体氧化物的选择性和稳定性,而且能从混合气体中分辨出特定的气体成分,判断出大致的逍度.用这种方法,同一种气体传感器通过不同的测试手段可以检测不同的气体. 展开更多
关键词 半导体氧化物 特性 传感器
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