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低能离子束诱导Ag表面纳米金字塔微结构
被引量:
3
1
作者
陈智利
刘卫国
+1 位作者
张锦
王蒙皎
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第1期82-86,共5页
利用离子柬溅射诱导实验方法,在单晶Si(100)基底上辅助沉积银膜,研究了低能Ar+离子束30。入射时,不同离子束能量和束流密度以及基底温度对Ag纳米结构的影响.结果表明:在较低基底温度下(32~100℃)辅助沉积银膜,膜层表面会呈...
利用离子柬溅射诱导实验方法,在单晶Si(100)基底上辅助沉积银膜,研究了低能Ar+离子束30。入射时,不同离子束能量和束流密度以及基底温度对Ag纳米结构的影响.结果表明:在较低基底温度下(32~100℃)辅助沉积银膜,膜层表面会呈现排列紧密、晶粒尺寸一致的金字塔状纳米结构.当温度升高时(32~200℃),纳米微结构横向尺寸λ2迅速增加,而粗糙度先减小(32~100℃)后迅速增大(100~200℃);当离子束能量1400eV、束流密度15~45uA/cm2时,在相同温度下,随着离子束束流密度的增大,纳米晶粒横向尺寸基本不变,粗糙度略有增加;当离子柬流密度为15μA/cm2、能量1000~1800eV时,在相同温度下,随着离子束能量的增加,银纳米结构尺寸增加,而表面粗糙度先增加,然后缓慢减小.自组织纳米结构的转变是溅射粗糙化和表面驰豫机制相互作用的结果.
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关键词
微纳米制造技术
低能离子束刻蚀
自组装纳米
结构
离子束辅助
银
金字塔微结构
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职称材料
复合材料柔软性对倒金字塔微结构阵列传感器性能的影响
被引量:
5
2
作者
赵凌云
黄汉雄
+1 位作者
罗杜宇
苏逢春
《高等学校化学学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第9期2953-2960,共8页
采用模压成型方法制备了2种柔软性不同的热塑性聚氨酯/短切碳纤维/碳纳米管(TPU/SCF-CNT)复合材料复制物,其表面上具有倒金字塔微结构阵列,内部有SCF与CNT共同构成的导电通路.将复合材料复制物和相应的复合材料平整片封装成柔性传感器....
采用模压成型方法制备了2种柔软性不同的热塑性聚氨酯/短切碳纤维/碳纳米管(TPU/SCF-CNT)复合材料复制物,其表面上具有倒金字塔微结构阵列,内部有SCF与CNT共同构成的导电通路.将复合材料复制物和相应的复合材料平整片封装成柔性传感器.结果表明,压力作用下传感器内复制物和平整片之间的接触电阻因倒金字塔底棱的形变而显著降低.对使用柔软性较高的复合材料封装的传感器,虽然其相对迟滞稍大,但压力作用下倒金字塔底棱形变量较大,且复制物和平整片内导电通路增加量较大,因此其在0~2.5 kPa的线性区内具有较高的灵敏度(0.32 kPa^(‒1)).制备的2种传感器均具有快速响应特性,且能在500 s(约1580次)的循环压缩/释放测试(峰值压力约3 kPa)中保持较稳定的电阻响应.研究表明,利用模压成型的表面倒金字塔结构复合材料复制物封装成的柔性压力传感器具有良好的传感性能.
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关键词
聚氨酯/短切碳纤维/碳纳米管复合材料
模压成型
倒
金字塔微结构
阵列
柔性传感器
灵敏度
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职称材料
扩散板表面微结构对均匀度与透光率的影响
被引量:
8
3
作者
何晓祥
吴大鸣
郑秀婷
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第2期153-157,共5页
基于Light Tools光学分析软件分析了光在球形微结构扩散板和圆锥及金字塔两种非球形微结构扩散板内的传输过程,比较了球形微结构扩散板和非球形微结构扩散板的均匀度和透光率;进一步分析了金字塔非球形微结构的顶角γ和切削量H对扩散板...
基于Light Tools光学分析软件分析了光在球形微结构扩散板和圆锥及金字塔两种非球形微结构扩散板内的传输过程,比较了球形微结构扩散板和非球形微结构扩散板的均匀度和透光率;进一步分析了金字塔非球形微结构的顶角γ和切削量H对扩散板均匀度和透光率的影响。结果表明,金字塔非球形微结构扩散板的均匀度高于圆锥非球形微结构和球形微结构两种扩散板的均匀度,透光率介于圆锥非球形微结构扩散板和球形微结构扩散板之间。金字塔非球形微结构顶角γ越大,透光率越高,当γ=100°时,扩散板的综合光学性能最好,透光率达82.1%,均匀度达82.4%;切削量H越大,透光率越大,均匀度先增大后减小,当H=0.04mm,扩散板的综合光学性能最好,透光率为84.2%,均匀度为86.2%。
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关键词
球形
微结构
圆锥非球形
微结构
金字塔
非球形
微结构
透光率
均匀度
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职称材料
基于微金字塔结构全体多孔介电层的柔性电容式传感器
4
作者
卢永琪
倪帅
+4 位作者
张鹏飞
王孟琪
宗琨尧
王蕾
潘如如
《丝绸》
2025年第8期49-55,共7页
传感器作为关键的电子组件,在各种场景中发挥重要作用,但各种传感器结构仍不断创新,各种结构间存在性能差异。文章设计的电容传感器采用电极层-介电层-电极层结构,并在结构和性能上进行改进。电极层采用柔性导电织物,介电层采用柔性PDM...
传感器作为关键的电子组件,在各种场景中发挥重要作用,但各种传感器结构仍不断创新,各种结构间存在性能差异。文章设计的电容传感器采用电极层-介电层-电极层结构,并在结构和性能上进行改进。电极层采用柔性导电织物,介电层采用柔性PDMS材料制成,通过模型法和盐溶解法获得具有多孔微金字塔结构的介电层。为了隔离人体并满足使用要求,采用医用PU防水胶带进行封装。研究表明,通过材料改性和结构创新可以优化传感器的性能。文章设计的传感器表现出高灵敏度(S=0.190 kPa^(-1))、快速恢复(270 ms)、耐用性(2000次以上稳定)及在梯度压力测试灵敏度方面的高性能。此外,该传感器能够检测人体的生理信号。
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关键词
柔性电容式压力传感器
有限元模拟
金字塔微结构
多孔
结构
压力传感
脉搏检测
手指弯曲角度测试
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职称材料
题名
低能离子束诱导Ag表面纳米金字塔微结构
被引量:
3
1
作者
陈智利
刘卫国
张锦
王蒙皎
机构
西安电子科技大学微电子学院
西安工业大学光电工程学院
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第1期82-86,共5页
基金
欧盟第七科技框架玛丽居里计划项目(No.247644)
国防基础科研计划(No.A0920110016)
+1 种基金
陕西省教育厅科学研究项目(No.12JK0469)
西安工业大学校长基金(No.XAGDXJJ1002)资助
文摘
利用离子柬溅射诱导实验方法,在单晶Si(100)基底上辅助沉积银膜,研究了低能Ar+离子束30。入射时,不同离子束能量和束流密度以及基底温度对Ag纳米结构的影响.结果表明:在较低基底温度下(32~100℃)辅助沉积银膜,膜层表面会呈现排列紧密、晶粒尺寸一致的金字塔状纳米结构.当温度升高时(32~200℃),纳米微结构横向尺寸λ2迅速增加,而粗糙度先减小(32~100℃)后迅速增大(100~200℃);当离子束能量1400eV、束流密度15~45uA/cm2时,在相同温度下,随着离子束束流密度的增大,纳米晶粒横向尺寸基本不变,粗糙度略有增加;当离子柬流密度为15μA/cm2、能量1000~1800eV时,在相同温度下,随着离子束能量的增加,银纳米结构尺寸增加,而表面粗糙度先增加,然后缓慢减小.自组织纳米结构的转变是溅射粗糙化和表面驰豫机制相互作用的结果.
关键词
微纳米制造技术
低能离子束刻蚀
自组装纳米
结构
离子束辅助
银
金字塔微结构
Keywords
Micro and nano-fabrication technology
Low energy ion beam erosion
Self-organizednanostructure
Ion beam assisted deposition
Ag pyramid microstructure
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
复合材料柔软性对倒金字塔微结构阵列传感器性能的影响
被引量:
5
2
作者
赵凌云
黄汉雄
罗杜宇
苏逢春
机构
华南理工大学
出处
《高等学校化学学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第9期2953-2960,共8页
基金
国家自然科学基金(批准号:52073096)
广东省普通高校重点领域专项(批准号:2020ZDZX2069)资助.
文摘
采用模压成型方法制备了2种柔软性不同的热塑性聚氨酯/短切碳纤维/碳纳米管(TPU/SCF-CNT)复合材料复制物,其表面上具有倒金字塔微结构阵列,内部有SCF与CNT共同构成的导电通路.将复合材料复制物和相应的复合材料平整片封装成柔性传感器.结果表明,压力作用下传感器内复制物和平整片之间的接触电阻因倒金字塔底棱的形变而显著降低.对使用柔软性较高的复合材料封装的传感器,虽然其相对迟滞稍大,但压力作用下倒金字塔底棱形变量较大,且复制物和平整片内导电通路增加量较大,因此其在0~2.5 kPa的线性区内具有较高的灵敏度(0.32 kPa^(‒1)).制备的2种传感器均具有快速响应特性,且能在500 s(约1580次)的循环压缩/释放测试(峰值压力约3 kPa)中保持较稳定的电阻响应.研究表明,利用模压成型的表面倒金字塔结构复合材料复制物封装成的柔性压力传感器具有良好的传感性能.
关键词
聚氨酯/短切碳纤维/碳纳米管复合材料
模压成型
倒
金字塔微结构
阵列
柔性传感器
灵敏度
Keywords
Polyurethane/short carbon fiber/carbon nanotube composite
Compression molding
Micro-structured inverted pyramid array
Flexible sensor
Sensitivity
分类号
TB332 [一般工业技术—材料科学与工程]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
扩散板表面微结构对均匀度与透光率的影响
被引量:
8
3
作者
何晓祥
吴大鸣
郑秀婷
机构
北京化工大学机电工程学院
有机-无机复合材料国家重点实验室
出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第2期153-157,共5页
基金
国家自然科学基金(No.51173015)
中央高校基本科研业务费专用资金(No.ZZ1221)
文摘
基于Light Tools光学分析软件分析了光在球形微结构扩散板和圆锥及金字塔两种非球形微结构扩散板内的传输过程,比较了球形微结构扩散板和非球形微结构扩散板的均匀度和透光率;进一步分析了金字塔非球形微结构的顶角γ和切削量H对扩散板均匀度和透光率的影响。结果表明,金字塔非球形微结构扩散板的均匀度高于圆锥非球形微结构和球形微结构两种扩散板的均匀度,透光率介于圆锥非球形微结构扩散板和球形微结构扩散板之间。金字塔非球形微结构顶角γ越大,透光率越高,当γ=100°时,扩散板的综合光学性能最好,透光率达82.1%,均匀度达82.4%;切削量H越大,透光率越大,均匀度先增大后减小,当H=0.04mm,扩散板的综合光学性能最好,透光率为84.2%,均匀度为86.2%。
关键词
球形
微结构
圆锥非球形
微结构
金字塔
非球形
微结构
透光率
均匀度
Keywords
micro-sphere
micro-cone structure
micro-pyramid structure
transmittance
uniformity
分类号
TM923.01 [电气工程—电力电子与电力传动]
TN27 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于微金字塔结构全体多孔介电层的柔性电容式传感器
4
作者
卢永琪
倪帅
张鹏飞
王孟琪
宗琨尧
王蕾
潘如如
机构
江南大学生态纺织教育部重点实验室
出处
《丝绸》
2025年第8期49-55,共7页
基金
“纺织之光”中国纺织工业联合会应用基础研究计划项目(J202109)
国家自然科学基金项目(61802152)
江南大学研究生科研与实践创新项目(KYCX-23-ZD01,KYCX-23-ZD02)。
文摘
传感器作为关键的电子组件,在各种场景中发挥重要作用,但各种传感器结构仍不断创新,各种结构间存在性能差异。文章设计的电容传感器采用电极层-介电层-电极层结构,并在结构和性能上进行改进。电极层采用柔性导电织物,介电层采用柔性PDMS材料制成,通过模型法和盐溶解法获得具有多孔微金字塔结构的介电层。为了隔离人体并满足使用要求,采用医用PU防水胶带进行封装。研究表明,通过材料改性和结构创新可以优化传感器的性能。文章设计的传感器表现出高灵敏度(S=0.190 kPa^(-1))、快速恢复(270 ms)、耐用性(2000次以上稳定)及在梯度压力测试灵敏度方面的高性能。此外,该传感器能够检测人体的生理信号。
关键词
柔性电容式压力传感器
有限元模拟
金字塔微结构
多孔
结构
压力传感
脉搏检测
手指弯曲角度测试
Keywords
flexible capacitive pressure sensor
finite element simulation
pyramid microstructure
porous structure
pressure sensing
pulse detection
finger bending angle test
分类号
TS103.7 [轻工技术与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
低能离子束诱导Ag表面纳米金字塔微结构
陈智利
刘卫国
张锦
王蒙皎
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
3
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职称材料
2
复合材料柔软性对倒金字塔微结构阵列传感器性能的影响
赵凌云
黄汉雄
罗杜宇
苏逢春
《高等学校化学学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021
5
在线阅读
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职称材料
3
扩散板表面微结构对均匀度与透光率的影响
何晓祥
吴大鸣
郑秀婷
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2012
8
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
基于微金字塔结构全体多孔介电层的柔性电容式传感器
卢永琪
倪帅
张鹏飞
王孟琪
宗琨尧
王蕾
潘如如
《丝绸》
2025
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职称材料
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