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题名金刚石衬底的V_2O_5薄膜激光损伤阈值研究
被引量：2
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作者
张盛
张圣斌
刘巍
庞婧
卢文壮
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机构
南京航空航天大学
青岛大学
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出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第5期147-152,共6页
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基金
国家自然科学基金项目(51562027)
航空基金(2016ZE52046)~~
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文摘
目的探究V_2O_5薄膜厚度对其抗激光损伤性能的影响。方法通过射频反应磁控溅射法在光学级单晶金刚石衬底表面制备了不同膜厚的V_2O_5薄膜。采用脉宽为10 ns、波长为1064 nm的脉冲激光器对薄膜样品进行光学响应曲线测试,测得薄膜相变前后透过率变化情况及相变开关时间,以判断薄膜是否发生损伤,并根据损伤几率得到激光损伤阈值。结果实验制备的薄膜为组分单一的多晶V_2O_5,在(001)面具有明显择优取向。同一膜厚下(350 nm),随着激光能量密度的增加,薄膜的相变关闭时间由1.48 ms单调减小至0.64 ms,相变回复时间则由11.6 ms单调增加至20.4 ms,相变后的透过率由19%单调减小至8%,回复后的透过率由77%单调减小至51%。薄膜膜厚在150～550 nm的范围内,其激光损伤阈值随着膜厚的增加呈现出先增后减的趋势;当膜厚等于250 nm时,激光损伤阈值达到最大值,为260 mJ/cm^2;膜厚为550 nm时,激光损伤阈值最小,仅为209 mJ/cm^2。结论 V_2O_5薄膜厚度对其抗激光损伤性能具有较大的影响,合理地控制膜厚,能够有效提高激光损伤阈值,从而提高基于金刚石衬底的V_2O_5薄膜的抗激光损伤能力。
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关键词
激光致盲
V2O5薄膜
膜厚
损伤阈值
金刚石衬底
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Keywords
laser blinding
V2O5 films
film thickness
damage threshold
diamond substrate
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分类号
TG174.4
[金属学及工艺—金属表面处理]
O484.4
[理学—固体物理]
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题名射频微系统冷却技术综述
被引量：10
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作者
胡长明
魏涛
钱吉裕
王锐
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机构
南京电子技术研究所
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出处
《现代雷达》
CSCD
北大核心
2020年第3期1-11,共11页
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文摘
雷达、电子战等射频电子装备向高集成度和大功率方向发展,有力牵引了射频微系统技术的进步,同时给冷却设计带来三大挑战:高面热流度、热堆叠和高体热流密度。冷却技术成为制约射频微系统应用的关键瓶颈之一。文中综述了国内外当前射频微系统冷却技术的发展现状,传统的远程散热架构因界面多与传热路径远已难以为继,高集成度的近结冷却技术显著提升芯片散热能力;以有源相控阵雷达为例,提出了射频微系统冷却的三代技术路线,指出了射频微系统热设计的主要发展方向。
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关键词
射频微系统
冷却技术
金刚石衬底
蒸发微流体
硅基微流道
硅通孔
热-电薄膜制冷
热-电协同设计
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Keywords
RF microsystem
cooling technology
diamond substrate
evaporating microfluid
silicon-based micro-fluidic channel
through silicon via
thin-film thermo electrics
thermal co-design
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分类号
TN305.94
[电子电信—物理电子学]
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