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题名金刚石膜/硅复合基片的制备工艺研究
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作者
王志娜
李国华
王朝阳
姜龙
张瑞芹
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机构
河北省激光研究所
河北普莱斯曼金刚石科技有限公司
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出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2011年第6期67-70,共4页
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文摘
通过等离子体喷射法硅衬底制备金刚石的试验,研究了硅片规格、硅片前期预处理、金刚石膜沉积以及后期热处理等对制备复合基片性质和裂纹产生的影响,对各个工序进行优化和改进,确定了制备金刚石膜/硅复合基片最佳的工艺流程。实验结果表明:在硅基片制备的金刚石膜厚度大于20μm,抛光后金刚石膜表面粗糙度Ra达到5.2 nm,剩余金刚石膜厚度大于10μm,平面度小于30μm,复合基片各项指标均达到电子器件制作的技术要求。
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关键词
等离子体喷射法
金刚石膜/硅复合基片
裂纹
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Keywords
plasma jet
diamond film/Si composite substrates
crack
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分类号
TQ164
[化学工程—高温制品工业]
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题名电化学法预处理硅基片提高金刚石成核密度的研究
被引量：1
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作者
沈明荣
汪浩
宁兆元
叶超
甘肇强
任兆杏
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机构
苏州大学物理系
中科院等离子体所
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出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第5期555-556,共2页
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文摘
通过用电化学法预先沉积一层碳膜的方法，利用热丝化学汽相沉积法使金刚石在光滑硅片上的成核密度达到１０７ｃｍ－２左右，与未镀碳膜相比提高了近３个数量级。文中还分析了可能的原因。
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关键词
金刚石膜
碳膜
电化学法
成核密度
硅基片
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Keywords
diamond film, carbon film, electrolysis technique, nucleation density
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分类号
TN304.18
[电子电信—物理电子学]
TN304.055
[电子电信—物理电子学]
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题名微条气体室(MSGC)基板材料的研究
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作者
杨莹
夏义本
王林军
张明龙
汪琳
苏青峰
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机构
上海大学材料科学与工程学院
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出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第3期360-362,共3页
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基金
国家自然科学基金资助项目(60072033)
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文摘
根据微条气体室(MSGC)探测器的工作原理,分析了MSGC基板的选择依据,同时首次提出采用金刚石膜/硅复合材料作为MSGC基板的可行性。采用热丝辅助化学气相沉积(HFCVD)技术和相关退火工艺获得了金刚石膜/硅复合材料,并采用SEM、Raman光谱仪、微电流仪对复合材料的表面状况、结构、I V和C F特性进行了表征。结果表明,该复合材料经抛光后表面平整,退火后电阻率达约2.9×1010Ω·cm,电容值小且随频率变化稳定,均满足MSGC对基板材料的要求。
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关键词
微条气体室(MSGC)
探测器
基板
金刚石膜/硅复合材料
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Keywords
Annealing
Chemical vapor deposition
Composite materials
Diamond films
Mechanical properties
Silicates
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分类号
TN304.18
[电子电信—物理电子学]
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题名最新电化学技术应用文献摘引
被引量：1
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作者
周剑章
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出处
《电化学》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第2期232-235,共4页
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关键词
电显色
RU
电氧化
电化学反应
碳纳米管
质子交换膜燃料电池
纳米结构
甲醇燃料电池
化学合成
多孔硅
复合物
电沉积铜
电化学氧化
复合膜
硼掺杂金刚石电极
宝石
金刚石
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分类号
TM911.4
[电气工程—电力电子与电力传动]
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