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题名金刚石线锯切割多晶硅片的气相刻蚀制绒研究（英文）
被引量：2
- 1
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作者
刘小梅
陈文浩
李妙
周浪
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机构
南昌大学太阳能光伏学院
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第1期149-154,共6页
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基金
The Photovoltaic Major Science and Technology Planned Subject in Jiangxi Province(No.2009AZD10301)
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文摘
采用气相刻蚀制绒法研究金刚石线锯切割多晶硅片制绒.加热体积比1:3、总体积400mL的HF-HNO3酸混合溶液到90℃,使酸混合溶液受热产生气相,利用气相对金刚石线锯切割多晶硅片表面进行制绒.结果表明,制绒15min之后,硅片表面的切割纹被完全去除;小腐蚀坑密布硅片表面,尺寸小于1μm,而传统湿法酸制绒所形成的腐蚀坑尺寸大于10μm.气相刻蚀后的金刚石线锯切割多晶硅片表面的微观粗糙度比传统酸混液制绒后的金刚石线锯切割多晶硅片表面的微观粗糙度高3倍多.气相制绒效果明显,并仅有12.11%的低反射率.
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关键词
多晶硅
气相刻蚀
金刚石线锯切割
切割纹
反射率
制绒
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Keywords
Multi-crystalline silicon
Vapor etching
Diamond wire saw
Saw marks
Reflectivity
Texturization
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分类号
TM914.4
[电气工程—电力电子与电力传动]
TN305.2
[电子电信—物理电子学]
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题名金刚石线锯切割多晶硅片的气相制绒研究
被引量：2
- 2
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作者
刘小梅
陈文浩
李妙
周浪
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机构
南昌大学太阳能光伏研究院
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第11期26-29,共4页
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基金
江西省光伏科技重大专项计划课题(No.2009AZD10301)资助
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文摘
采用气相制绒方法对金刚石切割多晶硅片进行表面制绒.2g硅加到HF-HNO3-H2O(400mL,体积比为6:3:1)的酸混合溶液中在室温下反应产生气相,利用气相对金刚石切割多晶硅片表面进行制绒研究.制绒4min时,硅片表面的切割纹被完全去除、大坑套小坑的蜂窝状蚀坑密布硅片表面,减反效果显著,反射率低至19.51%.气相制绒后的金刚石切割多晶硅片表面的微观粗糙度比传统酸混合溶液制绒后的高约20%.
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关键词
切割纹
反射率
气相制绒
多晶硅
金刚石线锯切割
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Keywords
Saw marks
Reflectivity
Vapor etching
Multicrystalline silicon
Diamond wire saw
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分类号
TM914.4
[电气工程—电力电子与电力传动]
TN305.2
[电子电信—物理电子学]
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题名金刚石线锯电火花复合切割硬脆半导体的研究进展
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作者
张乃军
高玉飞
郭志田
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机构
山东大学机械工程学院高效洁净机械制造教育部重点实验室
青特集团有限公司
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出处
《制造技术与机床》
北大核心
2024年第3期69-75,共7页
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基金
国家自然科学基金(51875322)
山东省自然科学基金项目(ZR2023ME145)。
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文摘
太阳能光伏产业和电子工业的迅速发展对使用的晶体硅等硬脆半导体材料的切割提出了更高的要求。为了进一步提高硬脆半导体的切割加工质量和生产效率、降低生产成本,金刚石线锯电火花复合切割技术开始被应用到硬脆半导体的切割中。文章从加工原理、工艺性能和影响因素等方面综述了金刚石线锯电火花复合切割硬脆半导体材料的研究现状,并对后续的发展和研究方向进行了展望。
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关键词
金刚石线锯电火花复合切割
硬脆半导体
加工机理
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Keywords
diamond wire electrical discharge composite cutting
hard-brittle semiconductors
machining mechanism
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分类号
TG661
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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题名金刚石线锯成形加工硬脆材料圆弧的正交试验研究
- 4
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作者
王亚帅
王燕青
杨胜强
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机构
太原理工大学机械与运载工程学院
太原理工大学
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出处
《人工晶体学报》
CAS
北大核心
2021年第5期900-907,共8页
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文摘
针对硬脆材料圆盘件的成形切割问题,提出一种基于电镀金刚石线锯的成形切割方法并进行切割试验,采用3因素4水平正交试验系统研究切割线速度V(A)、转台W轴转速n(B)和金刚石线锯的张紧力F(C)对圆弧面径向跳动、线弓角度、切割效率以及表面粗糙度的影响规律。结果表明:W轴转速对圆弧的径向跳动(即圆度)、切割效率以及表面粗糙度影响最大,张紧力的影响次之,线速度的影响最小;张紧力对线弓角度影响最大,线速度的影响次之,W轴转速影响最小;在本试验条件范围内,经过试验验证得出的最优工艺参数组合为A3B1C1,即金刚石线锯的线速度为8.96 m/s,转台转速为0.25 r/h,张紧力为12 N。且径向跳动、线弓角度、切割效率和表面粗糙度的极差分析结果与其方差结果一致。
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关键词
金刚石线锯切割
硬脆材料
圆形零件
成形加工
正交试验
圆度
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Keywords
diamond wire saw cutting
hard brittle material
round part
forming processing
orthogonal test
roundness
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分类号
TG58
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
TG669
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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