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负衬底偏压增强金刚石核化的机制研究
1
作者 王必本 王万录 +1 位作者 廖克俊 肖金龙 《广西师范大学学报（自然科学版）》 CAS 2000年第3期12-15,共4页
利用扫描电子显微镜研究了热灯丝 CVD系统负衬底偏压增强金刚石核化的过程 ,给出了实验结果 .着重分析了负衬底偏压增强金刚石核化的机制 .
关键词 热灯丝CVD 负衬底偏压 金刚石核化 金刚石膜
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负衬底偏压增强离子轰击对金刚石核化影响的理论分析
2
作者 王必本 王万录 +1 位作者 廖克俊 肖金龙 《河南师范大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 2000年第2期42-45,共4页
从理论上研究了负衬底偏压增强离子轰击对金刚石核化的影响 。
关键词 负衬底偏压 离子轰击 金刚石核化 金刚石膜
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