O484.1 2000064020负衬底偏压热灯丝CVD金刚石膜成核的研究=Nucleationof diamond by biased hot filamentchemical vapor deposition[刊,中]/王万录,廖克俊,方亮,王必本,冯斌（重庆大学应用物理系.重庆（400044））//人工晶体学报.—19...O484.1 2000064020负衬底偏压热灯丝CVD金刚石膜成核的研究=Nucleationof diamond by biased hot filamentchemical vapor deposition[刊,中]/王万录,廖克俊,方亮,王必本,冯斌（重庆大学应用物理系.重庆（400044））//人工晶体学报.—1999,28（1）.—65-68利用扫描电子显微镜和原子力显微镜研究了Si（100）衬底上热灯丝金刚石膜成核过程。在-240V和250 mA下,在镜面抛光的Si（100）衬底上金刚石最大成核密度超过了10<sup>10</sup> cm<sup>-2</sup>。研究表明,负衬底偏压增强成核主要是发射电子和离子轰击的结果。展开更多
O484.1 96063831微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜研究=Diamonddeposition using microwave plasmaassisted chemical vapor deposition[刊,中]/王建军,吕反修,于文秀,佟玉梅(北京科技大学.北京(100083)),邬钦崇,王守国(中科院等离...O484.1 96063831微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜研究=Diamonddeposition using microwave plasmaassisted chemical vapor deposition[刊,中]/王建军,吕反修,于文秀,佟玉梅(北京科技大学.北京(100083)),邬钦崇,王守国(中科院等离子体物理研究所.安徽,合肥(230031))//人工晶体学报.- 1996,25(2).-137-142研究了石英钟罩式微波等离子体辅助化学气相沉积装置对沉积金刚石薄膜的影响。与石英管式微波等离子体沉积装置相比,该装置能使用较高的沉积气压、较大的气体流量和较高的微波功率。研究了沉积气压、气体和流量甲烷浓度对金刚石薄膜形貌和生长速度的影响。发现生长速度随着沉积气压和甲烷浓度的增大而增大。展开更多
文摘O484.1 96063831微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜研究=Diamonddeposition using microwave plasmaassisted chemical vapor deposition[刊,中]/王建军,吕反修,于文秀,佟玉梅(北京科技大学.北京(100083)),邬钦崇,王守国(中科院等离子体物理研究所.安徽,合肥(230031))//人工晶体学报.- 1996,25(2).-137-142研究了石英钟罩式微波等离子体辅助化学气相沉积装置对沉积金刚石薄膜的影响。与石英管式微波等离子体沉积装置相比,该装置能使用较高的沉积气压、较大的气体流量和较高的微波功率。研究了沉积气压、气体和流量甲烷浓度对金刚石薄膜形貌和生长速度的影响。发现生长速度随着沉积气压和甲烷浓度的增大而增大。
