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题名量热型探测器响应不均匀性快速测量研究
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作者
王鲁新
李超辰
蔡晋辉
方波
邓玉强
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机构
中国计量大学计量测试工程学院
中国计量科学研究院
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出处
《计量学报》
北大核心
2025年第3期316-322,共7页
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基金
国家自然科学基金(11874333)
河北省重点研发计划(22342001D)
中国计量科学研究院探索性创新项目(AKYCX2308-23)。
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文摘
量热型光功率探测器面响应不均匀性是影响探测器性能的关键参数。受限于热平衡过程,量热型探测器的响应时间较长。为提高量热型光功率探测器不均匀性的测量效率,搭建激光束二维扫描测量系统,通过调整扫描间隔时间的方式进行不均匀性扫描测量实验。对得到的二维原始数据,采用基于图像相似度对比及点阵数据方差计算等方法,对不同扫描间隔时间下得到的不均匀性特征进行统计评估。结果表明,当扫描间隔时间不少于完全响应时间的45%时,快速扫描结果相对于完全响应扫描结果绝对偏差未超过0.2%,随着扫描间隔时间的进一步缩短,快速测量与完全响应测量的差异逐渐增加,当扫描间隔时间减少至完全响应时间的20%以下时,两者间的不等效性扩展至20%。通过实验方法论证了在探测器不完全响应状态下,快速扫描测量不均匀性的可行性,在保证测量结果可靠的基础上,提升了不均匀性测量速度。
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关键词
光学计量
激光功率
量热探测器
均匀性
扫描
快速测量
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Keywords
optical metrology
laser power
calorimetric detector
homogeneity
scanning
rapid measurement
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分类号
TB96
[机械工程—光学工程]
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