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X射线在重金属-硅界面的剂量增强系数的计算 被引量:1
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作者 牟维兵 陈盘训 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第3期208-210,共3页
当 X射线射入不同材料组成的界面时 ,在低 Z材料的一侧将产生剂量增强。介绍了界面剂量增强效应的基本原理 ,并用 MCNP Monte- Carlo程序计算了钨 -硅、钽
关键词 X射线 界面 辐射损伤 剂量增强系数 重金属-硅 大规模集成电路 CMOS MCNP Monte-Carlo程序
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