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题名基于软刻蚀技术的微三维结构加工方法研究
被引量：1
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作者
卢文娟
张玉林
孔祥东
郝惠娟
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机构
山东大学控制学院电子束研究所
东营职业学院
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出处
《微纳电子技术》
CAS
2007年第10期957-959,963,共4页
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基金
山东省自然科学基金资助项目(Y2003G03)
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文摘
软刻蚀是通过表面带有图案的弹性模板来实现图案转移的图形复制技术,弹性印章是软刻蚀技术的核心。简单介绍了软刻蚀技术,使用SDS-3型电子束曝光机,采用重复增量扫描方式进行曝光,生成弹性印章的母版,将其硅烷化后用以制作弹性印章,再利用软刻蚀技术可进行微图形的复制,得到微三维结构。显影后得到轮廓清晰的三维结构,证明将电子束重复增量扫描曝光方式与软刻蚀技术相结合可为制作微三维结构提供一种简单、有效的低成本途径。
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关键词
软刻蚀技术
弹性印章
重复增量扫描方式
电子束光刻
微三维加工
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Keywords
soft lithography
elastic stamp
overlapped increment scanning manner
electron-beam lithography
3D micromachining
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分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
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