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酸增殖剂研究进展 被引量:4
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作者 王文君 张改莲 +1 位作者 王力元 余尚先 《感光科学与光化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期296-302,共7页
本文综述了能有效提高化学增幅抗蚀剂体系感度的各种类型酸增殖剂及其酸增殖机理.对某些常用于光致抗蚀剂中的酸增殖剂的特性作了介绍.并对它们的应用前景、现存问题和改进方向进行了简单讨论和介绍.
关键词 化学增幅抗蚀 酸增殖剂 光致抗蚀 感度
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杯[4]间苯二酚芳烃类酸增殖剂的合成及性能表征
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作者 王文广 柳玲 蒲嘉陵 《北京印刷学院学报》 2010年第6期23-25,共3页
以间苯二酚为原料,分别与正十一醛和月桂醛,在盐酸、乙醇回流条件下进行缩合成环反应,得到中间体杯[4]间苯二酚芳烃衍生物;中间体再与对甲苯磺酰氯经过酯化反应制备了两种杯[4]间苯二酚芳烃衍生物类酸增殖剂,其结构经1HNMR、IR等分析确... 以间苯二酚为原料,分别与正十一醛和月桂醛,在盐酸、乙醇回流条件下进行缩合成环反应,得到中间体杯[4]间苯二酚芳烃衍生物;中间体再与对甲苯磺酰氯经过酯化反应制备了两种杯[4]间苯二酚芳烃衍生物类酸增殖剂,其结构经1HNMR、IR等分析确认,同时对其基本物性进行了研究。结果表明,两种酸增殖剂都有较高的热稳定性,在常用有机溶剂中都具有较好的溶解性。 展开更多
关键词 间苯二酚芳烃衍生物 酸增殖剂 对甲苯磺
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1-取代-顺式-1,2-环己二醇单磺酸酯类酸增殖剂的合成和性质研究
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作者 盛丽英 张颂培 王力元 《感光科学与光化学》 CSCD 2005年第5期389-393,共5页
用过氧化氢氧化烯烃得到顺式邻环己二醇,继而和对甲苯磺酰氯反应得到两种1-取代-顺式-1,2-环己二醇单磺酸酯.以溴酚兰作指示剂,用作者自己的方法定量测定了它们在聚乙二醇膜层中的酸解性能.结果表明,在光产酸剂所产酸作用下,在加热条件... 用过氧化氢氧化烯烃得到顺式邻环己二醇,继而和对甲苯磺酰氯反应得到两种1-取代-顺式-1,2-环己二醇单磺酸酯.以溴酚兰作指示剂,用作者自己的方法定量测定了它们在聚乙二醇膜层中的酸解性能.结果表明,在光产酸剂所产酸作用下,在加热条件下这些化合物发生分解并产酸.这两个磺酸酯的储存稳定性不是很好,在极性溶剂作用下易分解,限制了它们在化学增幅型成像材料中的应用. 展开更多
关键词 酸增殖剂 光产 光致抗蚀
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