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酞菁铜薄膜气敏光谱性能的研究
1
作者
于继荣
黄光周
+1 位作者
杨英杰
梁迪众
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2002年第3期50-51,54,共3页
用真空升华方法制备酞菁铜 (CuPc)薄膜 ,并测量了薄膜在不同浓度的NH3 和乙醇气体中的透射光谱。实验发现CuPc薄膜对NH3 浓度的变化有很好的响应 ,但对乙醇浓度的变化不够敏感 ,特别是在高浓度时 ;退火处理不能改善膜片对乙醇的敏感性...
用真空升华方法制备酞菁铜 (CuPc)薄膜 ,并测量了薄膜在不同浓度的NH3 和乙醇气体中的透射光谱。实验发现CuPc薄膜对NH3 浓度的变化有很好的响应 ,但对乙醇浓度的变化不够敏感 ,特别是在高浓度时 ;退火处理不能改善膜片对乙醇的敏感性能 ,而使膜片对NH3 的响应变差。
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关键词
酞菁铜薄膜
气敏
透射光谱
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职称材料
酞菁铜蒸发镀膜工艺中膜厚控制参数的确定
被引量:
1
2
作者
张松
席曦
+4 位作者
李文佳
吴甲奇
顾晓峰
季静佳
李果华
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第11期1075-1077,1125,共4页
基于目前采用的膜厚仪中缺少必要的有机材料的参数(密度和声阻抗),采用真空蒸镀法,在抛光硅片上蒸镀不同显示值厚度下的酞菁铜薄膜,利用椭偏仪测量其真实膜厚,并使用数学软件MATLAB,结合膜厚仪实时监控原理进行理论计算,拟合得到酞菁铜...
基于目前采用的膜厚仪中缺少必要的有机材料的参数(密度和声阻抗),采用真空蒸镀法,在抛光硅片上蒸镀不同显示值厚度下的酞菁铜薄膜,利用椭偏仪测量其真实膜厚,并使用数学软件MATLAB,结合膜厚仪实时监控原理进行理论计算,拟合得到酞菁铜薄膜的参数——声阻抗Zf=0.01 g/cm3.s,薄膜密度Df=6.68 g/cm3。验证实验结果表明,此参数输入膜厚仪中可以比较精确地控制薄膜厚度,显示值和实际测量值的差距约为3 nm。
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关键词
真空蒸镀
膜厚
声阻抗
薄膜
密度
酞菁铜薄膜
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职称材料
层层自组装制备PANI/CuTsPc复合薄膜及其性能研究
被引量:
2
3
作者
李晶
郑敏刚
+2 位作者
陈昶
隆泉
郑保忠
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第7期1115-1118,共4页
运用层层自组装技术制备了聚苯胺/磺化酞菁铜(PANI/CuTsPc)超分子复合薄膜,并通过紫外-可见-近红外吸收光谱、红外光谱、电导率测试仪与热分析仪对复合薄膜进行了分析表征以及导电性、光吸收与热稳定性能的研究。紫外-可见-近红外光谱表...
运用层层自组装技术制备了聚苯胺/磺化酞菁铜(PANI/CuTsPc)超分子复合薄膜,并通过紫外-可见-近红外吸收光谱、红外光谱、电导率测试仪与热分析仪对复合薄膜进行了分析表征以及导电性、光吸收与热稳定性能的研究。紫外-可见-近红外光谱表明,PANI与CuTsPc具有良好的层层自组装特性,沉积过程具有均匀性与重复性,复合薄膜在可见光区和近红外区均具有平而且宽的强吸收谱带;红外光谱表明,PANI和CuTsPc通过静电力的作用成功组装成膜,复合薄膜的共轭体系得到加强;电导率测试结果表明复合薄膜具有较高的电导率,达到了0.3S/cm;热分析结果表明CuTsPc组分的加入使复合薄膜具有良好的热稳定性。
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关键词
层层自组装
聚苯胺/磺化
酞菁
铜
复合
薄膜
光吸收
电导率
热稳定性
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职称材料
题名
酞菁铜薄膜气敏光谱性能的研究
1
作者
于继荣
黄光周
杨英杰
梁迪众
机构
华南理工大学电子与通信工程系
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2002年第3期50-51,54,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目
文摘
用真空升华方法制备酞菁铜 (CuPc)薄膜 ,并测量了薄膜在不同浓度的NH3 和乙醇气体中的透射光谱。实验发现CuPc薄膜对NH3 浓度的变化有很好的响应 ,但对乙醇浓度的变化不够敏感 ,特别是在高浓度时 ;退火处理不能改善膜片对乙醇的敏感性能 ,而使膜片对NH3 的响应变差。
关键词
酞菁铜薄膜
气敏
透射光谱
Keywords
Copper Phthalocyanine Thin Film
Gas Sensing
Transmissive Optical Spectrum
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
酞菁铜蒸发镀膜工艺中膜厚控制参数的确定
被引量:
1
2
作者
张松
席曦
李文佳
吴甲奇
顾晓峰
季静佳
李果华
机构
江南大学理学院
江南大学通信与控制工程学院
江苏省(尚德)光伏研究院
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第11期1075-1077,1125,共4页
基金
教育部留学回国人员科研启动基金教外司留([2008]890)
文摘
基于目前采用的膜厚仪中缺少必要的有机材料的参数(密度和声阻抗),采用真空蒸镀法,在抛光硅片上蒸镀不同显示值厚度下的酞菁铜薄膜,利用椭偏仪测量其真实膜厚,并使用数学软件MATLAB,结合膜厚仪实时监控原理进行理论计算,拟合得到酞菁铜薄膜的参数——声阻抗Zf=0.01 g/cm3.s,薄膜密度Df=6.68 g/cm3。验证实验结果表明,此参数输入膜厚仪中可以比较精确地控制薄膜厚度,显示值和实际测量值的差距约为3 nm。
关键词
真空蒸镀
膜厚
声阻抗
薄膜
密度
酞菁铜薄膜
Keywords
vacuum evaporation
film thickness
acoustic impedance
film density
CuPc thin film
分类号
TN305.8 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
层层自组装制备PANI/CuTsPc复合薄膜及其性能研究
被引量:
2
3
作者
李晶
郑敏刚
陈昶
隆泉
郑保忠
机构
云南大学材料科学与工程系
云南大学分析测试中心
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第7期1115-1118,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(20172044)
文摘
运用层层自组装技术制备了聚苯胺/磺化酞菁铜(PANI/CuTsPc)超分子复合薄膜,并通过紫外-可见-近红外吸收光谱、红外光谱、电导率测试仪与热分析仪对复合薄膜进行了分析表征以及导电性、光吸收与热稳定性能的研究。紫外-可见-近红外光谱表明,PANI与CuTsPc具有良好的层层自组装特性,沉积过程具有均匀性与重复性,复合薄膜在可见光区和近红外区均具有平而且宽的强吸收谱带;红外光谱表明,PANI和CuTsPc通过静电力的作用成功组装成膜,复合薄膜的共轭体系得到加强;电导率测试结果表明复合薄膜具有较高的电导率,达到了0.3S/cm;热分析结果表明CuTsPc组分的加入使复合薄膜具有良好的热稳定性。
关键词
层层自组装
聚苯胺/磺化
酞菁
铜
复合
薄膜
光吸收
电导率
热稳定性
Keywords
layer-by-layer self-assembly
PANI/CuTsPc composite thin film
light absorption
conductivity
thermostability
分类号
TQ050.4 [化学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
酞菁铜薄膜气敏光谱性能的研究
于继荣
黄光周
杨英杰
梁迪众
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2002
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
酞菁铜蒸发镀膜工艺中膜厚控制参数的确定
张松
席曦
李文佳
吴甲奇
顾晓峰
季静佳
李果华
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
层层自组装制备PANI/CuTsPc复合薄膜及其性能研究
李晶
郑敏刚
陈昶
隆泉
郑保忠
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
2
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职称材料
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