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酞菁铜薄膜气敏光谱性能的研究
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作者 于继荣 黄光周 +1 位作者 杨英杰 梁迪众 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2002年第3期50-51,54,共3页
用真空升华方法制备酞菁铜 (CuPc)薄膜 ,并测量了薄膜在不同浓度的NH3 和乙醇气体中的透射光谱。实验发现CuPc薄膜对NH3 浓度的变化有很好的响应 ,但对乙醇浓度的变化不够敏感 ,特别是在高浓度时 ;退火处理不能改善膜片对乙醇的敏感性... 用真空升华方法制备酞菁铜 (CuPc)薄膜 ,并测量了薄膜在不同浓度的NH3 和乙醇气体中的透射光谱。实验发现CuPc薄膜对NH3 浓度的变化有很好的响应 ,但对乙醇浓度的变化不够敏感 ,特别是在高浓度时 ;退火处理不能改善膜片对乙醇的敏感性能 ,而使膜片对NH3 的响应变差。 展开更多
关键词 酞菁铜薄膜 气敏 透射光谱
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酞菁铜蒸发镀膜工艺中膜厚控制参数的确定 被引量:1
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作者 张松 席曦 +4 位作者 李文佳 吴甲奇 顾晓峰 季静佳 李果华 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第11期1075-1077,1125,共4页
基于目前采用的膜厚仪中缺少必要的有机材料的参数(密度和声阻抗),采用真空蒸镀法,在抛光硅片上蒸镀不同显示值厚度下的酞菁铜薄膜,利用椭偏仪测量其真实膜厚,并使用数学软件MATLAB,结合膜厚仪实时监控原理进行理论计算,拟合得到酞菁铜... 基于目前采用的膜厚仪中缺少必要的有机材料的参数(密度和声阻抗),采用真空蒸镀法,在抛光硅片上蒸镀不同显示值厚度下的酞菁铜薄膜,利用椭偏仪测量其真实膜厚,并使用数学软件MATLAB,结合膜厚仪实时监控原理进行理论计算,拟合得到酞菁铜薄膜的参数——声阻抗Zf=0.01 g/cm3.s,薄膜密度Df=6.68 g/cm3。验证实验结果表明,此参数输入膜厚仪中可以比较精确地控制薄膜厚度,显示值和实际测量值的差距约为3 nm。 展开更多
关键词 真空蒸镀 膜厚 声阻抗 薄膜密度 酞菁铜薄膜
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层层自组装制备PANI/CuTsPc复合薄膜及其性能研究 被引量:2
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作者 李晶 郑敏刚 +2 位作者 陈昶 隆泉 郑保忠 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第7期1115-1118,共4页
运用层层自组装技术制备了聚苯胺/磺化酞菁铜(PANI/CuTsPc)超分子复合薄膜,并通过紫外-可见-近红外吸收光谱、红外光谱、电导率测试仪与热分析仪对复合薄膜进行了分析表征以及导电性、光吸收与热稳定性能的研究。紫外-可见-近红外光谱表... 运用层层自组装技术制备了聚苯胺/磺化酞菁铜(PANI/CuTsPc)超分子复合薄膜,并通过紫外-可见-近红外吸收光谱、红外光谱、电导率测试仪与热分析仪对复合薄膜进行了分析表征以及导电性、光吸收与热稳定性能的研究。紫外-可见-近红外光谱表明,PANI与CuTsPc具有良好的层层自组装特性,沉积过程具有均匀性与重复性,复合薄膜在可见光区和近红外区均具有平而且宽的强吸收谱带;红外光谱表明,PANI和CuTsPc通过静电力的作用成功组装成膜,复合薄膜的共轭体系得到加强;电导率测试结果表明复合薄膜具有较高的电导率,达到了0.3S/cm;热分析结果表明CuTsPc组分的加入使复合薄膜具有良好的热稳定性。 展开更多
关键词 层层自组装 聚苯胺/磺化酞菁复合薄膜 光吸收 电导率 热稳定性
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