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大口径非球面Ronchi光栅测量方法
被引量：
7
1
作者
雷柏平
伍凡
陈强
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第4期140-144,共5页
在对非球面加工过程中常用检测方法的优缺点进行比较的基础上，介绍了Ronchi光栅法的系统组成、工作原理和数据处理方法，并进行了光栅频率和灵敏度分析．通过对Ronchi光栅的频率、灵敏度的分析比较，发现可以通过改变其频率来实现犬口...
在对非球面加工过程中常用检测方法的优缺点进行比较的基础上，介绍了Ronchi光栅法的系统组成、工作原理和数据处理方法，并进行了光栅频率和灵敏度分析．通过对Ronchi光栅的频率、灵敏度的分析比较，发现可以通过改变其频率来实现犬口径非球面不同加工阶段2～200μm范围内的误差检测。该方法制作简单，使用方便。它的深入研究，将为犬口径非球面精磨和初抛光阶段提供一种有效、可靠的定量检测手段。
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关键词
郎奇光栅
郎奇
条纹
补偿
光栅
大口径非球面
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职称材料
题名
大口径非球面Ronchi光栅测量方法
被引量：
7
1
作者
雷柏平
伍凡
陈强
机构
中国科学院光电技术研究所
出处
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第4期140-144,共5页
文摘
在对非球面加工过程中常用检测方法的优缺点进行比较的基础上，介绍了Ronchi光栅法的系统组成、工作原理和数据处理方法，并进行了光栅频率和灵敏度分析．通过对Ronchi光栅的频率、灵敏度的分析比较，发现可以通过改变其频率来实现犬口径非球面不同加工阶段2～200μm范围内的误差检测。该方法制作简单，使用方便。它的深入研究，将为犬口径非球面精磨和初抛光阶段提供一种有效、可靠的定量检测手段。
关键词
郎奇光栅
郎奇
条纹
补偿
光栅
大口径非球面
Keywords
Ronchi grating
Ronchi ruling
Null grating
Large-aperture aspheric surface
分类号
TN247 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
大口径非球面Ronchi光栅测量方法
雷柏平
伍凡
陈强
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
7
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