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题名半导体设备通讯标准GEM的应用
被引量：10
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作者
王戟
王兵
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机构
浙江工业大学信息学院
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出处
《机电工程》
CAS
2008年第7期34-36,54,共4页
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文摘
SECS/GEM标准用来统一各个生产设备之间以及生产设备和控制设备之间的通讯。介绍了SECS/GEM标准的构成,提出了使用SECS/GEM标准接口解决半导体设备自动化的问题。详细叙述了GEM的通信状态模型、控制状态模型和设备处理状态模型,以及GEM的程序设计。并给出了GEM中事件数据收集的设计的实例。实践表明,SECS/GEM标准设计严谨,适应面宽,在我国半导体芯片工业中应用前景广阔。
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关键词
半导体设备
半导体设备通讯标准
通用设备模型
自动化
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Keywords
semiconductor equipment
semiconductor equipment communication standard （SECS）
generic equipment model（GEM）
automation
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分类号
TP29
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名分布式监控应用平台的设备集成
被引量：1
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作者
林颖
余贵
陈忠
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机构
华南理工大学机械工程学院
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出处
《现代制造工程》
CSCD
2005年第1期110-112,共3页
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文摘
随着嵌入式CPU的出现,在监控系统中集成各种不同类型的专有设备和现场总线已经成为可能。提出通用设备 模型(CommonDeviceModel)作为设备和现场总线的统一模型,以实现分布式监控应用平台的设备集成。
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关键词
分布式监控应用平台
设备集成
通用设备模型
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Keywords
Distributed monitoring application platform Device integrating Common device model
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分类号
TH16
[机械工程—机械制造及自动化]
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