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基于ZnO/金刚石/Si结构的瑞利波频散特性计算
被引量：
1
1
作者
董加和
杨成韬
+2 位作者
郑泽渔
李健雄
张树人
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第5期952-954,968,共4页
结合声表面波的基本理论和递归刚度矩阵法,通过将瑞利波从声表面波中分离,推导出基于ZNO/金刚石/Si结构的有效介电常数数学模型。根据所建立的数学模型,采用Matlab编制出相应程序,计算得到瑞利波的相速度和机电耦合系数频散曲线。该频...
结合声表面波的基本理论和递归刚度矩阵法,通过将瑞利波从声表面波中分离,推导出基于ZNO/金刚石/Si结构的有效介电常数数学模型。根据所建立的数学模型,采用Matlab编制出相应程序,计算得到瑞利波的相速度和机电耦合系数频散曲线。该频散曲线具有较高的精确性,能很好地反映出瑞利波的频散特性。本文从解基本的波动方程理论出发,得到了三层结构的有效介电常数数学模型,并且将其程序化,最终得到了声表面波器件设计中的两个重要参数,为多层薄膜器件的设计奠定了一定的基础。
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关键词
频散特性
有效介电常数
瑞利波
递归刚度矩阵法
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职称材料
题名
基于ZnO/金刚石/Si结构的瑞利波频散特性计算
被引量：
1
1
作者
董加和
杨成韬
郑泽渔
李健雄
张树人
机构
电子科技大学微电子与固体电子学院
出处
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第5期952-954,968,共4页
基金
国防科研基金资助项目
文摘
结合声表面波的基本理论和递归刚度矩阵法,通过将瑞利波从声表面波中分离,推导出基于ZNO/金刚石/Si结构的有效介电常数数学模型。根据所建立的数学模型,采用Matlab编制出相应程序,计算得到瑞利波的相速度和机电耦合系数频散曲线。该频散曲线具有较高的精确性,能很好地反映出瑞利波的频散特性。本文从解基本的波动方程理论出发,得到了三层结构的有效介电常数数学模型,并且将其程序化,最终得到了声表面波器件设计中的两个重要参数,为多层薄膜器件的设计奠定了一定的基础。
关键词
频散特性
有效介电常数
瑞利波
递归刚度矩阵法
Keywords
dispersion properties
effective permittitivity
rayleigh wave
recursive stiffness matrix method
分类号
O423 [理学—声学]
O347.4 [理学—固体力学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于ZnO/金刚石/Si结构的瑞利波频散特性计算
董加和
杨成韬
郑泽渔
李健雄
张树人
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
1
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