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阵列透镜测量仪的设计与应用分析
被引量：
1
1
作者
易亨瑜
叶一东
+2 位作者
向汝建
张家如
彭勇
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第6期589-592,共4页
为了解决500mm以上大口径光束波前的实时测量问题,设计了一种波前测量系统,即透镜阵列测量仪,其最大优点是避免了现有的H-S波前传感器所面临的大口径缩束器的加工难题。介绍了该测量系统的组成结构及其测量原理,分析了测量系统在设计中...
为了解决500mm以上大口径光束波前的实时测量问题,设计了一种波前测量系统,即透镜阵列测量仪,其最大优点是避免了现有的H-S波前传感器所面临的大口径缩束器的加工难题。介绍了该测量系统的组成结构及其测量原理,分析了测量系统在设计中的参数选择,并根据具体的系统参数讨论了测量系统的检测性能。在此基础上,利用数值模拟对1200mm口径光束进行了波前测量的仿真实验研究,分析了测量过程中系统标定对透镜阵列测量仪的作用。仿真实验表明,透镜阵列测量仪能够实现大口径光束的波前探测。
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关键词
仪
器
测量
与计量
透镜阵列测量仪
实验仿真
光束波面
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职称材料
题名
阵列透镜测量仪的设计与应用分析
被引量：
1
1
作者
易亨瑜
叶一东
向汝建
张家如
彭勇
机构
中国工程物理研究院应用电子学研究所
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第6期589-592,共4页
基金
国家八六三计划资助项目(2005AA861014)
文摘
为了解决500mm以上大口径光束波前的实时测量问题,设计了一种波前测量系统,即透镜阵列测量仪,其最大优点是避免了现有的H-S波前传感器所面临的大口径缩束器的加工难题。介绍了该测量系统的组成结构及其测量原理,分析了测量系统在设计中的参数选择,并根据具体的系统参数讨论了测量系统的检测性能。在此基础上,利用数值模拟对1200mm口径光束进行了波前测量的仿真实验研究,分析了测量过程中系统标定对透镜阵列测量仪的作用。仿真实验表明,透镜阵列测量仪能够实现大口径光束的波前探测。
关键词
仪
器
测量
与计量
透镜阵列测量仪
实验仿真
光束波面
Keywords
instrumentation measurement and metrology
lens-array measurement appearance
experimental simulation
beam wave-front
分类号
TH741 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
阵列透镜测量仪的设计与应用分析
易亨瑜
叶一东
向汝建
张家如
彭勇
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006
1
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