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具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构
被引量：
8
1
作者
赵磊
彭海峰
+1 位作者
于新峰
东立剑
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第10期43-48,共6页
光刻投影物镜中透镜的面形精度是影响光学系统成像质量的关键因素之一。为满足透镜面形精度RMS值优于1~2 nm的指标要求,本文提出了一种具有整体径向挠性的透镜多点均匀支撑结构,基于自重变形和热变形对支撑块尺寸进行了优化设计,分析了...
光刻投影物镜中透镜的面形精度是影响光学系统成像质量的关键因素之一。为满足透镜面形精度RMS值优于1~2 nm的指标要求,本文提出了一种具有整体径向挠性的透镜多点均匀支撑结构,基于自重变形和热变形对支撑块尺寸进行了优化设计,分析了透镜在优化后的支撑结构下由自重和热载荷引入的面形变化情况,结果表明：自重引起的透镜上表面面形去除power项后RMS为0.429 nm,下表面面形去除power项后RMS为0.294 nm;热载荷引起的透镜上表面面形RMS为0.409 nm,下表面面形RMS为0.063 nm,能够满足光刻投影物镜中透镜的高精度面形要求。
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关键词
光刻投影物镜
透镜支撑结构
自重变形
热变形
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职称材料
题名
具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构
被引量：
8
1
作者
赵磊
彭海峰
于新峰
东立剑
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第10期43-48,共6页
基金
国家重大专项基金资助项目(2009ZX02205)
文摘
光刻投影物镜中透镜的面形精度是影响光学系统成像质量的关键因素之一。为满足透镜面形精度RMS值优于1~2 nm的指标要求,本文提出了一种具有整体径向挠性的透镜多点均匀支撑结构,基于自重变形和热变形对支撑块尺寸进行了优化设计,分析了透镜在优化后的支撑结构下由自重和热载荷引入的面形变化情况,结果表明：自重引起的透镜上表面面形去除power项后RMS为0.429 nm,下表面面形去除power项后RMS为0.294 nm;热载荷引起的透镜上表面面形RMS为0.409 nm,下表面面形RMS为0.063 nm,能够满足光刻投影物镜中透镜的高精度面形要求。
关键词
光刻投影物镜
透镜支撑结构
自重变形
热变形
Keywords
lithography objective lens
lens support structure
gravity deformation
thermal deformation
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构
赵磊
彭海峰
于新峰
东立剑
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2015
8
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