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用扫描电子显微镜透视半导体和集成电路
1
作者
梁竹关
李亚文
+6 位作者
肖玲
王建
周开邻
李萍
徐晓华
Pay Э И
胡问国
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第4期404-405,共2页
关键词
扫描电镜
半导体材料
集成电路
微
结构分析
透
视
缺陷
透表显微内窥法
在线阅读
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职称材料
题名
用扫描电子显微镜透视半导体和集成电路
1
作者
梁竹关
李亚文
肖玲
王建
周开邻
李萍
徐晓华
Pay Э И
胡问国
机构
云南大学物理系
昆明物理研究所
俄罗斯
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第4期404-405,共2页
基金
国家科学技术部资助项目
国家自然科学基金委资助项目
关键词
扫描电镜
半导体材料
集成电路
微
结构分析
透
视
缺陷
透表显微内窥法
分类号
TN306 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
用扫描电子显微镜透视半导体和集成电路
梁竹关
李亚文
肖玲
王建
周开邻
李萍
徐晓华
Pay Э И
胡问国
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2001
0
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职称材料
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