期刊文献+
共找到232篇文章
< 1 2 12 >
每页显示 20 50 100
ZnO基透明导电薄膜
1
作者 史钧达 杨汝琪 +3 位作者 胡杜楠 刘如敏 余涛 吕建国 《发光学报》 北大核心 2025年第4期597-614,共18页
ZnO是一种典型的第三代半导体材料,宽禁宽度3.37 eV。本征ZnO是一种n型半导体,采用施主元素掺杂技术可以显著提升其n型导电特性。ZnO基透明导电薄膜具有原料来源丰富、制备方法多样、可室温生长等优势,可应用于光电、传感、光热等诸多... ZnO是一种典型的第三代半导体材料,宽禁宽度3.37 eV。本征ZnO是一种n型半导体,采用施主元素掺杂技术可以显著提升其n型导电特性。ZnO基透明导电薄膜具有原料来源丰富、制备方法多样、可室温生长等优势,可应用于光电、传感、光热等诸多领域。其中,Al掺杂ZnO(AZO)是一种典型的透明导电氧化物(TCO),备受关注。本文以AZO薄膜为主要代表,综述了ZnO基透明导电薄膜的最新研究进展,包括掺杂ZnO单层薄膜、ZnO基多层薄膜、柔性ZnO基薄膜等不同类型透明导电薄膜的物理化学性质;重点探讨了ZnO基透明导电薄膜的迁移率、禁带宽度、透射率/吸收率/反射率等光电特性及其内在关系;详细介绍了ZnO基透明导电薄膜在发光二极管、太阳能电池、传感器、半导体加热等领域的应用情况;最后对存在的挑战和未来发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 氧化锌 透明导电薄膜 施主掺杂 AZO 光电特性
在线阅读 下载PDF
银纳米线透明导电薄膜仿真研究现状 被引量:3
2
作者 张墅野 邵建航 何鹏 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第10期118-127,共10页
银纳米线薄膜作为新型柔性透明导电薄膜,具有导电性能好、透光率高、成本低和柔性良好等优点。本文从电学、力学和光学三个方面介绍了银纳米线薄膜的仿真原理、仿真工具及发展现状。目前,银纳米线薄膜的电学性能仿真已研究得比较完善,... 银纳米线薄膜作为新型柔性透明导电薄膜,具有导电性能好、透光率高、成本低和柔性良好等优点。本文从电学、力学和光学三个方面介绍了银纳米线薄膜的仿真原理、仿真工具及发展现状。目前,银纳米线薄膜的电学性能仿真已研究得比较完善,能够从微观到宏观尺度建立精确的模型,常用的节点主导假设(JDA)模型、多节点表示(MNR)模型能够较好地模拟、预测银纳米线薄膜的方阻。银纳米线薄膜力学仿真尚未能建立起完美的宏观模型,只能通过分子动力学方法等对单根或多根银纳米线之间的力学性能进行仿真模拟。银纳米线薄膜的光学性能的仿真主要依靠时域有限差分方法来模拟光与材料的相互作用,依靠该方法能够模拟少量银纳米线的光学性能,并且目前已有建立大型复杂银纳米线薄膜光学模型的尝试。此外,多物理场耦合且能够反映整个银纳米线薄膜的光-电-热-力综合性能的仿真模型仍未建立,未来研究者们还需于此继续深耕。 展开更多
关键词 银纳米线 仿真模拟 柔性器件 透明导电薄膜
在线阅读 下载PDF
《柔性透明薄膜电子器件印制过程控制要求》标准解读(一)
3
《丝网印刷》 2025年第3期148-150,共3页
1范围本文件规定了使用网版印刷工艺生产制造柔性透明薄膜电子器件过程中的技术要求。本文件适用于柔性透明薄膜电子器件网版印刷生产的过程控制。【理解要点】本标准中提到的柔性透明薄膜电子器件(下称电子器件),是指通过使用网版印刷... 1范围本文件规定了使用网版印刷工艺生产制造柔性透明薄膜电子器件过程中的技术要求。本文件适用于柔性透明薄膜电子器件网版印刷生产的过程控制。【理解要点】本标准中提到的柔性透明薄膜电子器件(下称电子器件),是指通过使用网版印刷工艺,在塑料薄膜上印制导电油墨制作而成的,具有柔性透明导电特性的电子器件,与其他电子器件相比有着成本优势。电子器件由基材、导电层、绝缘层、保护层组成。本标准对电子器件从术语和定义、印制过程控制要求及检验方法,三方面进行规范。 展开更多
关键词 网版印刷 导电油墨 制造柔性 电子器件 导电 透明薄膜 导电特性 标准解读
在线阅读 下载PDF
用MOCVD方法制备ZnO:B透明导电薄膜及其性能优化 被引量:3
4
作者 孟凡英 江民林 +1 位作者 余跃波 胡宇 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期939-943,共5页
采用金属氧化物化学气相沉积(MOCVD)方法在石英衬底上生长氧化锌(ZnO)薄膜。改变薄膜材料的生长温度和掺杂气体硼烷(B_2H_6)的流速,制备一系列薄膜样品。通过X-射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透过率、反射率、电阻率和原子力显微... 采用金属氧化物化学气相沉积(MOCVD)方法在石英衬底上生长氧化锌(ZnO)薄膜。改变薄膜材料的生长温度和掺杂气体硼烷(B_2H_6)的流速,制备一系列薄膜样品。通过X-射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透过率、反射率、电阻率和原子力显微镜(AFM)等测试分析,研究了材料生长温度和B_2H_6流速对薄膜生长速度、微观结构、薄膜晶向、光学透过率、光学禁带宽度、电阻率、表面粗糙度等特征参量的影响,经过优化实验条件,获得薄膜电阻率在10^(-3)Ω·cm量级,可见光区域光学透过率在85%以上,成功制备低电阻率高光学透过率的ZnO透明导电薄膜。 展开更多
关键词 ZnO:B 光学透过率 电阻率 透明导电薄膜(tco) MOCVD
在线阅读 下载PDF
透明导电氧化物薄膜研究进展 被引量:12
5
作者 望咏林 颜悦 +2 位作者 沈玫 贺会权 张官理 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第F05期317-320,共4页
综述了透明导电氧化物(TCO)薄膜的应用和发展,重点阐述了TCO薄膜的透明导电机理以及制备工艺的最新研究进展,同时对其研究和应用前景进行了展望。
关键词 氧化物薄膜 透明导电机理 制备工艺 ITO AZO
在线阅读 下载PDF
薄膜厚度对ZnO∶Al透明导电膜性能的影响 被引量:26
6
作者 郝晓涛 马瑾 +3 位作者 马洪磊 杨莺歌 王卿璞 黄树来 《液晶与显示》 CAS CSCD 2002年第3期169-174,共6页
铝掺杂的氧化锌 (ZnO∶Al)透明导电膜是采用射频磁控溅射法在有机衬底 (Polypro pyleneadipate,PPA)和Corning 70 5 9玻璃上制备的。详细研究了薄膜的结构性质、光学和电学性质随薄膜厚度的变化关系。制备的ZnO∶Al薄膜具有 (0 0 2 )面... 铝掺杂的氧化锌 (ZnO∶Al)透明导电膜是采用射频磁控溅射法在有机衬底 (Polypro pyleneadipate,PPA)和Corning 70 5 9玻璃上制备的。详细研究了薄膜的结构性质、光学和电学性质随薄膜厚度的变化关系。制备的ZnO∶Al薄膜具有 (0 0 2 )面的单一择优取向的多晶六角纤锌矿结构 ,性能优良的薄膜电阻率在两种衬底上分别为 2 .5 5× 1 0 - 3 Ω·cm和1 .89× 1 0 - 3 Ω·cm ,平均透射率达到了 80 %和 85 %。 展开更多
关键词 ZNO:AL 透明导电 薄膜厚度 柔性衬底 铝掺杂 氧化锌 结构 光学性质 电学性质
在线阅读 下载PDF
薄膜厚度对ZnO∶Zr透明导电薄膜光电性能的影响 被引量:11
7
作者 刘汉法 张化福 +1 位作者 类成新 袁长坤 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2008年第6期707-710,共4页
利用射频磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上制备出了可见光透过率高、电阻率低的ZnO∶Zr透明导电薄膜。讨论了厚度对ZnO∶Zr透明导电薄膜光学、电学性能的影响。当薄膜厚度为213nm时,薄膜电阻率达到最小值1.81×10-3Ω.cm。所制备的... 利用射频磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上制备出了可见光透过率高、电阻率低的ZnO∶Zr透明导电薄膜。讨论了厚度对ZnO∶Zr透明导电薄膜光学、电学性能的影响。当薄膜厚度为213nm时,薄膜电阻率达到最小值1.81×10-3Ω.cm。所制备的薄膜样品都具有高透光率,其可见光区平均透过率超过了93.0%。当薄膜厚度从125nm增加到350nm时,薄膜的光学带隙从3.58eV减小到3.50eV。 展开更多
关键词 ZnO:Zr 透明导电薄膜 磁控溅射 薄膜厚度 光电性能
在线阅读 下载PDF
射频磁控溅射制备的柔性衬底ZnO∶Al透明导电薄膜的研究 被引量:15
8
作者 杨田林 张德恒 +2 位作者 李滋然 马洪磊 马瑾 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第2期200-203,共4页
用射频磁控溅射方法在有机柔性衬底上制备出附着性好、电阻率低、透射率高的ZnO:Al透明导电膜。研究了薄膜的结构。
关键词 磁控溅射 柔性衬底 薄膜 透明导电 氧化锌
在线阅读 下载PDF
透明导电氧化物薄膜的新进展 被引量:17
9
作者 孟扬 沈杰 +6 位作者 蒋益明 陈佾 孔令柱 沃松涛 杨锡良 陈华仙 章壮健 《光电子技术》 CAS 2002年第3期125-130,144,共7页
透明导电氧化物(TCO)薄膜In2O3:Sn和SnO。2:F都已经发展成熟,分别大规模应用于平板显示器和建筑两大领域。最近几年,TCO薄膜的研究又进入了一次复兴时期,研究和开发出几类具有明显特色的新型TCO薄膜。ZnO基TCO薄膜有替代In2O3:Sn薄膜... 透明导电氧化物(TCO)薄膜In2O3:Sn和SnO。2:F都已经发展成熟,分别大规模应用于平板显示器和建筑两大领域。最近几年,TCO薄膜的研究又进入了一次复兴时期,研究和开发出几类具有明显特色的新型TCO薄膜。ZnO基TCO薄膜有替代In2O3:Sn薄膜的趋势;多元TCO薄膜材料可以调整其性能来满足某些特殊应用的需求;具有高载流子迁移率的In2O3:Mo薄膜为进一步提高TCO薄膜的性能打开了一条新路;真正的p型TCO薄膜为制造透明电子元器件迈出了第一步。 展开更多
关键词 tco 透明导电氧化物 薄膜 进展
在线阅读 下载PDF
柔性透明导电薄膜的制备及其发展前景 被引量:14
10
作者 何维凤 赵玉涛 +1 位作者 李素敏 李长生 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期32-36,共5页
随着电子器件向小型化和轻便化方向发展,柔性衬底的透明导电薄膜将成为硬质衬底透明导电薄膜的更新换代产品,因此其研究备受关注。综述了柔性透明导电膜的主要制备技术及其优缺点,阐述了当前该领域的最新研究成果及应用,并讨论了工业应... 随着电子器件向小型化和轻便化方向发展,柔性衬底的透明导电薄膜将成为硬质衬底透明导电薄膜的更新换代产品,因此其研究备受关注。综述了柔性透明导电膜的主要制备技术及其优缺点,阐述了当前该领域的最新研究成果及应用,并讨论了工业应用对柔性透明导电膜的性能要求及其未来发展趋势。 展开更多
关键词 透明导电 透明导电薄膜 柔性衬底 电子器件 小型化 更新换代 未来发展 硬质 制备 工业应用
在线阅读 下载PDF
(Al,Zr)共掺杂ZnO透明导电薄膜的结构以及光电性能研究 被引量:10
11
作者 薛建设 林炜 +2 位作者 马瑞新 康勃 吴中亮 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2007年第5期560-564,共5页
用射频磁控溅射法在玻璃衬底上氩气气氛中制备出(Al,Zr)共掺杂的ZnO透明导电薄膜,研究了不同Zr掺杂浓度和薄膜厚度ZnO薄膜的结构、电学和光学特性。结果表明,在最佳沉积条件下我们制备出了具有(002)单一择优取向的多晶六角纤锌矿结构,... 用射频磁控溅射法在玻璃衬底上氩气气氛中制备出(Al,Zr)共掺杂的ZnO透明导电薄膜,研究了不同Zr掺杂浓度和薄膜厚度ZnO薄膜的结构、电学和光学特性。结果表明,在最佳沉积条件下我们制备出了具有(002)单一择优取向的多晶六角纤锌矿结构,电阻率为2.2×10-2Ω.cm,且可见光段(320~800nm)平均透过率达到85%的ZnO透明导电薄膜。在150℃的条件下对(Al,Zr)共掺杂的ZnO薄膜进行1h的退火处理,薄膜电阻率降低至8.4×10-3Ω.cm。Zr杂质的掺入改善了薄膜的可见光透光性。 展开更多
关键词 氧化锌 透明导电薄膜 电阻率 透光率 射频磁控溅射
在线阅读 下载PDF
利用射频磁控溅射法在柔性衬底上制备ZnO:Zr透明导电薄膜(英文) 被引量:7
12
作者 刘汉法 张化福 +2 位作者 类成新 袁玉珍 袁长坤 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期183-186,共4页
利用射频磁控溅射法首次在室温水冷柔性衬底PET上制备出了可见光透过率高、电阻率低的掺锆氧化锌(ZnO:Zr)透明导电薄膜。X射线衍射和扫描电子显微镜表明,ZnO:Zr薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有平行于衬底方向的择优取向。实验获... 利用射频磁控溅射法首次在室温水冷柔性衬底PET上制备出了可见光透过率高、电阻率低的掺锆氧化锌(ZnO:Zr)透明导电薄膜。X射线衍射和扫描电子显微镜表明,ZnO:Zr薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有平行于衬底方向的择优取向。实验获得ZnO:Zr薄膜的最小电阻率为1 .55×10-3Ω.cm。实验制备的ZnO:Zr薄膜具有良好的附着性能,其可见光区平均透过率超过90 %。 展开更多
关键词 ZnO:Zr薄膜 柔性衬底 磁控溅射 透明导电薄膜
在线阅读 下载PDF
新型透明导电氧化物薄膜Nb-TiO_2的研究进展 被引量:8
13
作者 冯娴娴 赵小如 +2 位作者 刘凯 刘波 赵亮 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第9期84-88,共5页
新型透明导电氧化物薄膜Nb-TiO2因其优异的光电性能成为当今研究的热门材料。本文详细阐述了Nb-TiO2薄膜的光电性能、影响Nb-TiO2光电特性的因素与机理以及目前的研究进展、前沿动态等,着重讨论了载流子浓度及其散射过程对光学透过率和... 新型透明导电氧化物薄膜Nb-TiO2因其优异的光电性能成为当今研究的热门材料。本文详细阐述了Nb-TiO2薄膜的光电性能、影响Nb-TiO2光电特性的因素与机理以及目前的研究进展、前沿动态等,着重讨论了载流子浓度及其散射过程对光学透过率和导电性能的影响。 展开更多
关键词 Nb-TiO2 透明导电氧化物薄膜 光电机理
在线阅读 下载PDF
RF反应溅射条件对ZnO透明导电薄膜的影响 被引量:6
14
作者 倪星元 吴永刚 +3 位作者 吴广明 周箴 张慧琴 金哲民 《材料科学与工程》 CAS CSCD 1998年第2期43-45,71,共4页
ZnO薄膜是具有多种特性的功能薄膜。采用RF磁控反应溅射的方法可制备出较高质量的ZnO透明导电薄膜。该薄膜的电阻率为7.5×10-3Ωcm;可见光透射率约为85%;载流子浓度为5.7×1019cm-3;霍尔迁... ZnO薄膜是具有多种特性的功能薄膜。采用RF磁控反应溅射的方法可制备出较高质量的ZnO透明导电薄膜。该薄膜的电阻率为7.5×10-3Ωcm;可见光透射率约为85%;载流子浓度为5.7×1019cm-3;霍尔迁移率为5.99cm2/v·s。影响ZnO透明导电薄膜性能的因素很多,但是溅射用的靶体材料,反应溅射时的温度控制以及反应的氧气氛的控制尤为重要,实验表明使用掺有3.0wt%Al2O3的ZnO靶,基片温度控制在300℃,氧氩比为1∶10能制备出性能比较好的透明导电薄膜。本文对这三方面的影响进行实验并讨论了有关结果。 展开更多
关键词 薄膜 RF溅射 透明导电薄膜 氧化锌
在线阅读 下载PDF
透明导电氧化物薄膜研究的新进展 被引量:5
15
作者 张明福 许文彬 +2 位作者 沈海涛 王家智 韩杰才 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2010年第5期811-815,共5页
透明导电氧化物(TCO)薄膜因其良好的光电性能,在光电器件上应用广泛,且已成为研究热点。p型TCO薄膜的出现开辟了透明导电氧化物研究的新领域,红外透明导电氧化物薄膜拓展了TCO薄膜的应用范围。该文综述了近几年p型TCO薄膜的研究进展,并... 透明导电氧化物(TCO)薄膜因其良好的光电性能,在光电器件上应用广泛,且已成为研究热点。p型TCO薄膜的出现开辟了透明导电氧化物研究的新领域,红外透明导电氧化物薄膜拓展了TCO薄膜的应用范围。该文综述了近几年p型TCO薄膜的研究进展,并简单介绍了新兴的红外透明导电氧化物薄膜的研究进展。 展开更多
关键词 透明导电氧化物 红外透明 薄膜
在线阅读 下载PDF
绒面ZnO:Al(ZAO)透明导电薄膜的制备 被引量:8
16
作者 付恩刚 方玲 +1 位作者 庄大明 张弓 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期672-676,共5页
利用中频交流磁控溅射方法,采用氧化锌铝(98wt%ZnO+2wt%Al2O3)陶瓷靶材制备了绒面ZAO(ZnO∶Al)薄膜,考察了所制备的绒面ZAO薄膜与绒面SnO2∶F薄膜在绒度、粗糙度、表面形貌以及电学性质的差异,利用原子力显微镜对薄膜表面形貌进行了分... 利用中频交流磁控溅射方法,采用氧化锌铝(98wt%ZnO+2wt%Al2O3)陶瓷靶材制备了绒面ZAO(ZnO∶Al)薄膜,考察了所制备的绒面ZAO薄膜与绒面SnO2∶F薄膜在绒度、粗糙度、表面形貌以及电学性质的差异,利用原子力显微镜对薄膜表面形貌进行了分析并计算出薄膜表面粗糙度,利用紫外可见分光光度计和电阻测试仪测量了薄膜的光学、电学特性。结果表明:所制备的绒面ZAO薄膜具有与绒面SnO2∶F薄膜相比拟的各种性能,在非晶硅太阳电池中具有潜在的应用前景。 展开更多
关键词 磁控溅射 ZAO薄膜 SnO2:F薄膜 导电薄膜 绒面透明导电氧化物 陷光结构 掺铝氧化锌 非晶硅太阳电池
在线阅读 下载PDF
ITO透明导电薄膜的研究进展 被引量:28
17
作者 成立顺 孙本双 +3 位作者 钟景明 何力军 王东新 陈焕铭 《稀有金属快报》 CAS CSCD 2008年第3期10-16,共7页
介绍了ITO薄膜的基本特性和透明导电原理,综述了ITO薄膜主要的制备技术及其研究进展,并指出了不同制备方法的优缺点。还对ITO薄膜晶格常数畸变、载流子浓度上限和最佳掺杂量、红外反射率、光吸收边的移动等基础理论研究进展进行了归纳... 介绍了ITO薄膜的基本特性和透明导电原理,综述了ITO薄膜主要的制备技术及其研究进展,并指出了不同制备方法的优缺点。还对ITO薄膜晶格常数畸变、载流子浓度上限和最佳掺杂量、红外反射率、光吸收边的移动等基础理论研究进展进行了归纳。今后,还需要在低温或室温ITO薄膜的制备、ITO薄膜的导电机理、纳米尺度ITO材料的特性等方面加强研究。 展开更多
关键词 透明导电氧化物 ITO薄膜 制备技术
在线阅读 下载PDF
掺钛氧化锌透明导电薄膜的制备及特性研究 被引量:8
18
作者 刘汉法 张化福 +1 位作者 袁玉珍 袁长坤 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第11期1092-1095,共4页
利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上成功地制备出了掺钛氧化锌(ZnO∶Ti)透明导电薄膜。研究了靶衬间距对ZnO∶Ti薄膜结构、形貌和光电性能的影响。研究结果表明,靶衬间距对ZnO∶Ti薄膜的结构和电阻率有显著影响。X射线衍射(XRD)表... 利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上成功地制备出了掺钛氧化锌(ZnO∶Ti)透明导电薄膜。研究了靶衬间距对ZnO∶Ti薄膜结构、形貌和光电性能的影响。研究结果表明,靶衬间距对ZnO∶Ti薄膜的结构和电阻率有显著影响。X射线衍射(XRD)表明,ZnO∶Ti薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优取向。在靶衬间距为4.6 cm时,实验获得的ZnO∶Ti薄膜电阻率具有最小值4.18×10-4Ω.cm。实验制备的ZnO∶Ti薄膜具有良好的附着性能,可见光区平均透过率超过92%。ZnO∶Ti薄膜可以用作薄膜太阳能电池和液晶显示器的透明电极。 展开更多
关键词 掺钛氧化锌 透明导电薄膜 磁控溅射 靶衬间距
在线阅读 下载PDF
玻璃衬底和硅衬底沉积TZO透明导电薄膜的对比研究 被引量:4
19
作者 刘汉法 张化福 +2 位作者 袁玉珍 袁长坤 类成新 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期486-489,共4页
利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底和硅片衬底上制备出掺钛氧化锌(ZnO:Ti)透明导电薄膜。SEM和XRD研究结果表明,两种衬底上的ZnO:Ti薄膜均为为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有C轴择优取向。讨论了衬底对掺钛氧化锌透明导电... 利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底和硅片衬底上制备出掺钛氧化锌(ZnO:Ti)透明导电薄膜。SEM和XRD研究结果表明,两种衬底上的ZnO:Ti薄膜均为为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有C轴择优取向。讨论了衬底对掺钛氧化锌透明导电薄膜光学、电学性能的影响。当玻璃衬底薄膜厚度为568nm时,薄膜电阻率达到最小值1.64×10^-4Ω·cm,硅衬底上薄膜厚度为641nm时有最小电阻率2.69x10“Q·啪。两种衬底所制备薄膜都具有良好的附着性能,玻璃衬底薄膜样品在波长为500—800nm的可见光中平均透过率都超过了91%,硅衬底上薄膜样品的折射率约为2.05,ZnO:Ti薄膜可以用作薄膜太阳电池的透明电极。 展开更多
关键词 ZnO:Ti薄膜 透明导电薄膜 磁控溅射 光电性能
在线阅读 下载PDF
Sol-Gel法制备ZnO∶Al透明导电薄膜 被引量:17
20
作者 吕敏峰 崔作林 张志焜 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期224-227,共4页
采用Sol Gel工艺在普通载玻片上制备出C轴择优取向性、高可见光透过率以及高电导率的Al3+离子掺杂的ZnO透明导电薄膜。利用SEM、XRD等分析手段对薄膜进行了表征。研究结果表明 :所制备的薄膜为纤锌矿型结构 ,表面平整、致密。通过标准... 采用Sol Gel工艺在普通载玻片上制备出C轴择优取向性、高可见光透过率以及高电导率的Al3+离子掺杂的ZnO透明导电薄膜。利用SEM、XRD等分析手段对薄膜进行了表征。研究结果表明 :所制备的薄膜为纤锌矿型结构 ,表面平整、致密。通过标准四探针法及UVS透射光谱详细研究了Al3+ 离子掺杂的ZnO薄膜的电学与光学性能。实验发现 ,当Al3+ 离子掺杂浓度为 0 8%时 ,前处理温度为 40 0℃ ,退火温度为 5 5 0℃ ,真空退火温度为 5 5 0℃时 ,薄膜具有较好的导电性 ,电阻率为 3 0 3× 10 - 3Ω·cm ,其在可见光区的透过率超过 80 %。 展开更多
关键词 SOL-GEL法 制备 透明导电薄膜 氧化锌 溶胶-凝胶法 铝离子掺杂 性能
在线阅读 下载PDF
上一页 1 2 12 下一页 到第
使用帮助 返回顶部