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基于透明导电氧化物的小尺寸TE通起偏器
1
作者 孙园园 《科学技术创新》 2024年第18期46-49,共4页
提出了一种紧凑的、宽带大、低损耗的TE通偏振器,利用覆在条形波导中心的透明导电氧化物(TCO)实现,并对其进行了详细分析。通过将这种TCO材料引入条形波导中,可以实现巨大的偏振依赖性,能够使得当前偏振器的长度大大降低。此外,应用顶... 提出了一种紧凑的、宽带大、低损耗的TE通偏振器,利用覆在条形波导中心的透明导电氧化物(TCO)实现,并对其进行了详细分析。通过将这种TCO材料引入条形波导中,可以实现巨大的偏振依赖性,能够使得当前偏振器的长度大大降低。此外,应用顶部金属层来进一步提高偏振器的性能。结果表明,在1.55μm处,消光比为14.3 dB,插入损耗为0.58 dB。 展开更多
关键词 集成光学 集成光器件 起偏器 透明导电氧化物 近零效应
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透明导电氧化物薄膜材料研究进展 被引量：37
2
作者 刘宏燕 颜悦 +3 位作者 望咏林 伍建华 张官理 厉蕾 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期63-82,共20页
透明导电氧化物薄膜被广泛应用于太阳能电池、平板显示器以及透明视窗等制备中,成为不可或缺的一类薄膜。综述透明导电氧化物薄膜的发展现状和发展趋势,阐述透明导电氧化物薄膜的导电机理和载流子散射机制,系统概括出材料体系选择原则... 透明导电氧化物薄膜被广泛应用于太阳能电池、平板显示器以及透明视窗等制备中,成为不可或缺的一类薄膜。综述透明导电氧化物薄膜的发展现状和发展趋势,阐述透明导电氧化物薄膜的导电机理和载流子散射机制,系统概括出材料体系选择原则。化学计量比的氧化物是不导电的,通过在薄膜中引入缺陷,包括氧空位、间隙原子或者外来杂质等,在禁带中形成缺陷能级,从而改变氧化物薄膜的导电性能,形成透明导电氧化物。根据掺杂离子的不同,即受主掺杂离子和施主掺杂离子,透明导电氧化物包括N型和P型半导体两种。在这种由于缺陷的引入而导电的透明氧化物薄膜中,载流子散射主要包括晶界散射、声子散射、杂质离子散射和孪晶界散射四种,其中晶界散射和杂质离子散射占主导。进一步地,重点介绍In2O3、SnO2和ZnO基掺杂透明导电氧化物薄膜的基本性能及应用。In2O3基透明导电氧化物由于其在制备低电阻率薄膜和半导体加工方面的优势,成为制作透明电极的主要材料,而SnO2和ZnO基透明导电氧化物由于成本低廉,在未来替代In2O3基透明导电氧化物在透明电极制备方面具有巨大的潜力。此外,结合多功能电子器件的发展,提出延展性能好的氧化物/金属/氧化物三明治结构的透明导电氧化物薄膜是将来的发展方向和研究重点。 展开更多
关键词 氧化铟 氧化锡 氧化锌 透明导电氧化物
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透明导电氧化物薄膜研究进展 被引量：12
3
作者 望咏林 颜悦 +2 位作者 沈玫 贺会权 张官理 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第F05期317-320,共4页
综述了透明导电氧化物(TCO)薄膜的应用和发展,重点阐述了TCO薄膜的透明导电机理以及制备工艺的最新研究进展,同时对其研究和应用前景进行了展望。
关键词 氧化物薄膜 透明导电机理 制备工艺 ITO AZO
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新型透明导电氧化物薄膜Nb-TiO_2的研究进展 被引量：8
4
作者 冯娴娴 赵小如 +2 位作者 刘凯 刘波 赵亮 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第9期84-88,共5页
新型透明导电氧化物薄膜Nb-TiO2因其优异的光电性能成为当今研究的热门材料。本文详细阐述了Nb-TiO2薄膜的光电性能、影响Nb-TiO2光电特性的因素与机理以及目前的研究进展、前沿动态等,着重讨论了载流子浓度及其散射过程对光学透过率和... 新型透明导电氧化物薄膜Nb-TiO2因其优异的光电性能成为当今研究的热门材料。本文详细阐述了Nb-TiO2薄膜的光电性能、影响Nb-TiO2光电特性的因素与机理以及目前的研究进展、前沿动态等,着重讨论了载流子浓度及其散射过程对光学透过率和导电性能的影响。 展开更多
关键词 Nb-TiO2 透明导电氧化物薄膜 光电机理
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透明导电氧化物薄膜研究的新进展 被引量：5
5
作者 张明福 许文彬 +2 位作者 沈海涛 王家智 韩杰才 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2010年第5期811-815,共5页
透明导电氧化物(TCO)薄膜因其良好的光电性能,在光电器件上应用广泛,且已成为研究热点。p型TCO薄膜的出现开辟了透明导电氧化物研究的新领域,红外透明导电氧化物薄膜拓展了TCO薄膜的应用范围。该文综述了近几年p型TCO薄膜的研究进展,并... 透明导电氧化物(TCO)薄膜因其良好的光电性能,在光电器件上应用广泛,且已成为研究热点。p型TCO薄膜的出现开辟了透明导电氧化物研究的新领域,红外透明导电氧化物薄膜拓展了TCO薄膜的应用范围。该文综述了近几年p型TCO薄膜的研究进展,并简单介绍了新兴的红外透明导电氧化物薄膜的研究进展。 展开更多
关键词 透明导电氧化物 红外透明 薄膜
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透明导电氧化物薄膜的新进展 被引量：17
6
作者 孟扬 沈杰 +6 位作者 蒋益明 陈佾 孔令柱 沃松涛 杨锡良 陈华仙 章壮健 《光电子技术》 CAS 2002年第3期125-130,144,共7页
透明导电氧化物（TCO）薄膜In2O3:Sn和SnO。2:F都已经发展成熟,分别大规模应用于平板显示器和建筑两大领域。最近几年,TCO薄膜的研究又进入了一次复兴时期,研究和开发出几类具有明显特色的新型TCO薄膜。ZnO基TCO薄膜有替代In2O3:Sn薄膜... 透明导电氧化物（TCO）薄膜In2O3:Sn和SnO。2:F都已经发展成熟,分别大规模应用于平板显示器和建筑两大领域。最近几年,TCO薄膜的研究又进入了一次复兴时期,研究和开发出几类具有明显特色的新型TCO薄膜。ZnO基TCO薄膜有替代In2O3:Sn薄膜的趋势;多元TCO薄膜材料可以调整其性能来满足某些特殊应用的需求;具有高载流子迁移率的In2O3:Mo薄膜为进一步提高TCO薄膜的性能打开了一条新路;真正的p型TCO薄膜为制造透明电子元器件迈出了第一步。 展开更多
关键词 TCO 透明导电氧化物 薄膜 进展
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高价态差掺杂氧化物透明导电薄膜的研究 被引量：22
7
作者 孟扬 杨锡良 +3 位作者 陈华仙 沈杰 蒋益明 章壮健 《光电子技术》 CAS 2001年第1期17-24,共8页
在实用的透明导电氧化物 (TCO)薄膜中 ,载流子迁移率主要是受电子与掺杂离子之间散射的限制。如果掺杂离子与氧化物中被替代离子的化合价相差较大 ,每个掺杂离子可以提供较多的自由载流子 ,则使用较少的掺杂量就可以获得足够多的自由载... 在实用的透明导电氧化物 (TCO)薄膜中 ,载流子迁移率主要是受电子与掺杂离子之间散射的限制。如果掺杂离子与氧化物中被替代离子的化合价相差较大 ,每个掺杂离子可以提供较多的自由载流子 ,则使用较少的掺杂量就可以获得足够多的自由载流子 ,而且可以获得较高的载流子迁移率和减少薄膜对可见光的吸收 ,是提高 TCO薄膜性能的一条捷径。采用反应蒸发法制备的掺钼氧化铟(In2 O3:Mo,简称 IMO)薄膜中 ,Mo6 +与 In3+的化合价态相差 3,远大于广泛研究和应用的 TCO薄膜材料 In2 O3:Sn、Sn O2 :F和 Zn O:Al中的价态差。IMO薄膜的电阻率可以低至 1.7× 10 - 4 Ω· cm,对 4μm以上波长红外线的反射率和可见光区域的平均透射率 (含 1.2 mm厚玻璃基底 )都高于 80 % ;载流子迁移率高达 80～ 130cm2 V- 1 s- 1 ,远超过其它掺杂 TCO薄膜 ;但是自由载流子浓度只有 2 .5× 10 2 0～ 3.5× 10 2 0 cm- 3。 展开更多
关键词 透明导电薄膜 掺杂氧化物 掺钼氧化铟
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透明导电铟铋氧化物薄膜的制备及其性能 被引量：11
8
作者 田苗苗 范翊 刘星元 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期605-608,共4页
以氧化铟为主体材料,以铋为掺杂材料,采用真空热蒸发方法研制出2.5%铋掺杂的透明导电氧化物薄膜（IBO）。实验表明：IBO薄膜具有良好的表面形貌,载流子浓度为3.955×10^19cm^-3,载流子迁移率达到50.21cm^2·V^-1·s^-1,电... 以氧化铟为主体材料,以铋为掺杂材料,采用真空热蒸发方法研制出2.5%铋掺杂的透明导电氧化物薄膜（IBO）。实验表明：IBO薄膜具有良好的表面形貌,载流子浓度为3.955×10^19cm^-3,载流子迁移率达到50.21cm^2·V^-1·s^-1,电导率为3.143×10^-3Ω·cm,在可见光范围内的平均透过率超过82%,功函数为4.76eV。采用其作为阳极制作的OLED得到最大亮度30230cd/m^2,最大电流效率为5.1cd/A。结果表明IBO是一种良好的光电器件阳极材料。 展开更多
关键词 透明导电氧化物 掺杂 IN2O3 BI2O3 有机电致发光器件
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柔性透明导电氧化物薄膜的制备及其应用 被引量：2
9
作者 邵景珍 董伟伟 +2 位作者 陶汝华 邓赞红 方晓东 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2009年第5期675-680,共6页
柔性透明导电氧化物薄膜以其重量轻、不易碎、成本低等独特的优点而备受青睐,在塑料液晶显示、可折叠太阳能电池等领域得到广泛的应用。文章介绍了目前制备柔性透明导电氧化物薄膜的主要技术及其优缺点,总结了近年来对柔性衬底的处理方... 柔性透明导电氧化物薄膜以其重量轻、不易碎、成本低等独特的优点而备受青睐,在塑料液晶显示、可折叠太阳能电池等领域得到广泛的应用。文章介绍了目前制备柔性透明导电氧化物薄膜的主要技术及其优缺点,总结了近年来对柔性衬底的处理方法,最后对柔性透明导电氧化物薄膜在各个领域的开发应用和未来的重点研究方向进行了展望。 展开更多
关键词 透明 导电 氧化物薄膜 柔性衬底
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Cu基铜铁矿结构透明导电氧化物薄膜的研究进展 被引量：8
10
作者 刘文婷 张赟 +1 位作者 吴漫漫 李勇安 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第3期28-32,共5页
介绍了Cu基铜铁矿结构透明导电氧化物(TCO)材料的结构特点,综述了几种主要Cu基铜铁矿结构TCO材料如CuAlO2、CuGaO2、CuInO2和CuScO2在理论计算以及实验研究方面的最新进展。其中,CuAlO2的相关研究开始较早,数量较多;由于可能具有较高的... 介绍了Cu基铜铁矿结构透明导电氧化物(TCO)材料的结构特点,综述了几种主要Cu基铜铁矿结构TCO材料如CuAlO2、CuGaO2、CuInO2和CuScO2在理论计算以及实验研究方面的最新进展。其中,CuAlO2的相关研究开始较早,数量较多;由于可能具有较高的p型导电特性,CuScO2的相关研究也较多;而有关CuGaO2和CuInO2的研究则较少。最后介绍了这几种TCO材料在掺杂改性方面的研究进展。 展开更多
关键词 透明导电氧化物 Cu基 铜铁矿 掺杂
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复合效应对掺杂氧化物透明导电薄膜的影响 被引量：7
11
作者 孟扬 林剑 +4 位作者 刘键 沈杰 蒋益明 杨锡良 章壮健 《光电子技术》 CAS 2001年第2期89-101,共13页
首次引入复合效应对不同价态差的掺杂氧化物透明导电 (TCO)薄膜的载流子浓度及其迁移率进行了分析。对于较高温度下制备的 TCO薄膜 ,对载流子迁移率起主要作用的散射机制是带电离子散射和电中性复合粒子散射。带电离子散射迁移率与带电... 首次引入复合效应对不同价态差的掺杂氧化物透明导电 (TCO)薄膜的载流子浓度及其迁移率进行了分析。对于较高温度下制备的 TCO薄膜 ,对载流子迁移率起主要作用的散射机制是带电离子散射和电中性复合粒子散射。带电离子散射迁移率与带电离子的有效电荷数大致呈反比关系 ,在载流子浓度相同的情况下 ,随着复合几率增大 ,价态差分别为 3和 4的 TCO薄膜中的带电离子的平均有效电荷分别趋于 1和 2 ,因此带电离子散射迁移率也随之增大 ,分别趋于价态差为 1和 2的 TCO薄膜的带电离子散射迁移率。而对于价态差为 3的 TCO薄膜 ,由于电中性复合粒子数量较少 ,对载流子的散射最弱 ,因此在复合几率较大的情况下 ,价态差为 3的 TCO薄膜有可能获得比价态差为 1的 TCO薄膜更高的载流子迁移率。 展开更多
关键词 透明导电薄膜 掺杂氧化物 复合效应
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透明导电氧化物薄膜及其制备方法 被引量：7
12
作者 王华 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期59-63,共5页
综述了透明导电氧化物(TCO)薄膜的特性、应用及制备技术的发展,重点讨论了磁控溅射、脉冲激光沉积、溶胶-凝胶、喷射热分解等制备技术和柔性衬底TCO薄膜的制备状况、进展及发展趋势,并指出改进TCO薄膜制备技术的努力方向应体现完善薄膜... 综述了透明导电氧化物(TCO)薄膜的特性、应用及制备技术的发展,重点讨论了磁控溅射、脉冲激光沉积、溶胶-凝胶、喷射热分解等制备技术和柔性衬底TCO薄膜的制备状况、进展及发展趋势,并指出改进TCO薄膜制备技术的努力方向应体现完善薄膜性能、降低反应温度、提高控制精度、降低制备成本和适应集成化等趋势,而制备方法的选择则应根据薄膜的性能要求和不同的应用目的而不同。 展开更多
关键词 透明导电氧化物 光电特性 制备工艺 柔性衬底 发展趋势
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热光伏系统中透明导电氧化物滤波器的优化分析 被引量：2
13
作者 茆磊 叶宏 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期781-787,共7页
建立了透明导电氧化物（TCOs）滤波器的理论模型，分析了载流子浓度和迁移率对其光学性能的影响。计算了TCOs滤波器应用于以GaSb电池为转换器的热光伏（TPV）系统的最佳载流子浓度和薄膜厚度，最后讨论了石英玻璃衬底厚度的影响。得出... 建立了透明导电氧化物（TCOs）滤波器的理论模型，分析了载流子浓度和迁移率对其光学性能的影响。计算了TCOs滤波器应用于以GaSb电池为转换器的热光伏（TPV）系统的最佳载流子浓度和薄膜厚度，最后讨论了石英玻璃衬底厚度的影响。得出以下结论：辐射器温度为1400～1600K时，匹配Al2O3／Er3Al5O12熔融陶瓷选择性辐射器的TCOs滤波器的最优载流子浓度、薄膜厚度区间分别为（4．3～4．4）×10^20 cm^-3、389～399nm，而匹配SiC灰体辐射器的则为（4．4～4．6）×10^20 cm^-3、382～383nm；石英玻璃衬底的厚度对TCOs滤波器性能的影响很小，可以忽略。辐射器温度为1500K时，Al2O3／Er3Al5O12选择性辐射器／TCOS滤波器／GaSh电池的TPV系统输出电功率密度为0．38w／cm^2，光谱效率和TPV效率分别为56．6％和16．7％． 展开更多
关键词 半导体技术 透明导电氧化物 滤波器 热光伏
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特色功能材料——透明导电氧化物薄膜 被引量：4
14
作者 王华 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第11期101-104,共4页
透明导电氧化物(TCO)是一种特色鲜明的功能材料,以其接近金属的电导率、可见光高透射率、红外区高反射率及其它半导体特性,可应用于平板显示器件、太阳能光伏电池、反射热镜、气体敏感器件、特殊功能窗口涂层以及光电子、微电子、真空... 透明导电氧化物(TCO)是一种特色鲜明的功能材料,以其接近金属的电导率、可见光高透射率、红外区高反射率及其它半导体特性,可应用于平板显示器件、太阳能光伏电池、反射热镜、气体敏感器件、特殊功能窗口涂层以及光电子、微电子、真空电子器件等领域。综述了透明导电氧化物薄膜的基本特性、制备方法及应用,并展望了其发展前景。 展开更多
关键词 透明导电氧化物 功能材料 光电特性 制备方法 进展 透明导电氧化物薄膜 太阳能光伏电池 半导体特性 平板显示器件 真空电子器件
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p型透明导电氧化物CuAlO_2薄膜的研究进展 被引量：7
15
作者 李军 兰伟 +2 位作者 张铭 董国波 严辉 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期115-118,共4页
透明导电氧化物(TCO)的出现开拓了光电子器件研究的新领域。但p型TCO的相对匮乏严重制约了透明氧化物半导体(TOS)相关器件的开发与应用。CuAlO2作为一种天然的p型TCO成为近年来p型TCO的研究热点。介绍了p型TCO的研究现状,综述了不同制... 透明导电氧化物(TCO)的出现开拓了光电子器件研究的新领域。但p型TCO的相对匮乏严重制约了透明氧化物半导体(TOS)相关器件的开发与应用。CuAlO2作为一种天然的p型TCO成为近年来p型TCO的研究热点。介绍了p型TCO的研究现状,综述了不同制备方法制备p型CuAlO2薄膜的研究进展,以及在器件方面的应用,并对其前景进行了展望。 展开更多
关键词 透明导电氧化物(TCO) P型TCO CuAlO2薄膜
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可用于沉积透明导电氧化物薄膜的柔性衬底研究进展 被引量：7
16
作者 刘丹 黄友奇 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第23期43-46,共4页
柔性衬底表面沉积TCO薄膜具有许多独特的优点且应用广泛。但柔性衬底存在不耐高温的缺点,如何选择合适的柔性衬底,在表面沉积TCO薄膜过程中至关重要。简单介绍了各种柔性衬底的相关性能,阐述了当前国内外在该领域中各柔性衬底的研究成果... 柔性衬底表面沉积TCO薄膜具有许多独特的优点且应用广泛。但柔性衬底存在不耐高温的缺点,如何选择合适的柔性衬底,在表面沉积TCO薄膜过程中至关重要。简单介绍了各种柔性衬底的相关性能,阐述了当前国内外在该领域中各柔性衬底的研究成果,展望了未来柔性衬底的选择及应用趋势。 展开更多
关键词 柔性衬底 透明导电氧化物薄膜 柔性透明导电氧化物薄膜
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透明导电氧化物薄膜的湿热衰减特性研究 被引量：1
17
作者 王新巧 朱红兵 +4 位作者 陈静伟 李明 王辉 傅广生 麦耀华 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期1149-1155,共7页
将制备的3种透明导电氧化物（TCO）薄膜材料，即掺铝氧化锌（ZnO：A1，AZO）、掺硼氧化锌（ZnO：B，BZO）和掺氟氧化锡（SnO：FTO）薄膜进行温度为85℃和相对湿度为85％的湿热实验并进行退火，研究其光学和电学性质衰减特性以及恢复情... 将制备的3种透明导电氧化物（TCO）薄膜材料，即掺铝氧化锌（ZnO：A1，AZO）、掺硼氧化锌（ZnO：B，BZO）和掺氟氧化锡（SnO：FTO）薄膜进行温度为85℃和相对湿度为85％的湿热实验并进行退火，研究其光学和电学性质衰减特性以及恢复情况。研究表明：湿热实验和经过后续热处理的3种TCO薄膜的表面形貌基本不变；AZO和FTO薄膜光学和电学性能都相对稳定；但BZO薄膜的迁移率则是在湿热实验20h内由初始的19cm2／Vs迅速下降到1．99cm2／Vs，而BZO薄膜载流子浓度是在湿热处理327h由初始值7．2×1019/cm3迅速下降到8．8×1018／cm3，载流子浓度的降低导致薄膜在800-2200nm波长范围内的光吸收减少；通过对晶粒间迁移率和晶界处迁移率分析得到BZO薄膜的迁移率衰退主要与水分子侵入薄膜内部并被吸附在晶界处；适当的热处理可使BZO薄膜的电学性能得到恢复。 展开更多
关键词 透明导电氧化物(TCO)薄膜 湿热处理 退火 晶界迁移率 晶粒内迁移率
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双掺杂透明导电氧化物纳米线的制备与发光性能
18
作者 肖海花 陈翌庆 +3 位作者 徐亮 苏勇 朱黎昂 周庆涛 《合肥工业大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期11-14,共4页
文章以金属镓(Ga)、铟(In)和氧化亚锡(SnO)粉末作为前驱反应物,通过简单的热蒸方法成功制备出双掺杂的氧化物ISGO(掺杂了In、Sn的Ga2O3)纳米线。样品的形貌、结构与成分的测定分别在场发射扫描电镜、X射线衍射谱仪、选区电子衍射、高分... 文章以金属镓(Ga)、铟(In)和氧化亚锡(SnO)粉末作为前驱反应物,通过简单的热蒸方法成功制备出双掺杂的氧化物ISGO(掺杂了In、Sn的Ga2O3)纳米线。样品的形貌、结构与成分的测定分别在场发射扫描电镜、X射线衍射谱仪、选区电子衍射、高分辨透射电镜以及X射线能量散射谱仪上进行,结果表明已合成的纳米线为掺杂In和Sn具有单斜晶结构的-βGa2O3;还提出了用自催化气-液-固(VLS)生长机制来解释双掺杂氧化物ISGO纳米线的生长;提出了由于Sn和In成分的双掺杂,使得其发光峰的峰位明显红移、半高宽变宽。 展开更多
关键词 透明导电氧化物 双掺杂氧化物 光致发光
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非晶透明导电氧化物薄膜研究进展 被引量：4
19
作者 张晓锋 颜悦 +3 位作者 陈牧 刘宏燕 郝常山 张官理 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第1期1-16,共16页
随着有机/聚合物衬底的广泛使用,非晶透明导电氧化物薄膜由于兼具优异的透明与导电性、性能稳定、表面平整光滑、易于刻蚀和大面积制备、兼容现有工艺、无须后续退火处理进而简化工艺流程等优点,已应用于薄膜晶体管、有机/聚合物太阳能... 随着有机/聚合物衬底的广泛使用,非晶透明导电氧化物薄膜由于兼具优异的透明与导电性、性能稳定、表面平整光滑、易于刻蚀和大面积制备、兼容现有工艺、无须后续退火处理进而简化工艺流程等优点,已应用于薄膜晶体管、有机/聚合物太阳能电池、电致变色、电磁屏蔽等诸多领域。尽管非晶态透明导电氧化物的原理与结晶态的基本相同,但其不是简单的结晶态透明氧化物的非晶态,而是特定组元在特定条件下制备获得的。在简要介绍透明与导电及两者间的耦合关系的基础上,重点介绍了更为一般的非晶半导体氧化物的研究历程及其特点,并与结晶态透明导电氧化物薄膜对比,指出N型非晶透明导电氧化物的电子结构特征是其金属阳离子结构为(n-1)d10ns0,由于s电子轨道呈球对称,且相邻重叠积分较大,迁移率较高,结构容错性较强,因此可以稳定保持其结晶态时的中近程结构及优异的特性,并详细介绍了表征其近程结构的中程有序、因缺乏衡量周期的量子数而使用更为一般的态密度以及非晶结构的亚稳特性。在此基础上,详细举例介绍了N型和P型非晶透明导电氧化物体系的性质和特点,特别介绍了铟系非晶透明导电氧化物的种类和特点,其中又以氧化铟锌的性能最为优异。由于目前的非晶透明导电氧化物体系主要是针对N型导电的,故P型非晶透明导电氧化物的例子较少。最后结合产业动态简要介绍了非晶透明导电氧化物薄膜的应用领域,并结合当前研究现状和发展趋势指出了今后三个可能的研究发展方向:(1)非铟系透明导电氧化物的研究与开发有待进一步加强;(2)另辟蹊径开发P型透明导电氧化物的基本原理和材料;(3)充分发挥非晶透明导电氧化物的优势,拓展其在部分半导体领域的应用。 展开更多
关键词 薄膜 非晶 透明导电氧化物 稳定性 氧化铟
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硅异质结太阳能电池用透明导电氧化物薄膜的研究现状及发展趋势
20
作者 夏鹏 傅萍 +2 位作者 黄金华 李佳 宋伟杰 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第9期1-9,共9页
硅异质结(SHJ)太阳能电池是目前光伏产业中的重要组成部分,其由于具有高开路电压(V_(oc))等优点而引起了广泛的关注。在硅异质结太阳能电池中,透明导电氧化物(TCO)薄膜层的光学性能和电学性能分别影响着电池的短路电流(J_(sc))、填充因... 硅异质结(SHJ)太阳能电池是目前光伏产业中的重要组成部分,其由于具有高开路电压(V_(oc))等优点而引起了广泛的关注。在硅异质结太阳能电池中,透明导电氧化物(TCO)薄膜层的光学性能和电学性能分别影响着电池的短路电流(J_(sc))、填充因子(FF),进而影响电池的转换效率。近年来,SHJ电池中TCO层的研究主要集中于掺杂的In 2O 3和ZnO体系。本文从硅异质结太阳能电池的不同结构出发,概述了TCO薄膜的光电性能(透过率、禁带宽度、方块电阻、载流子浓度、迁移率和功函数)以及与相邻层的接触对电池性能的影响,介绍了不同体系的透明导电氧化物薄膜在硅异质结太阳能电池中的应用及研究现状,并展望其未来的发展趋势。 展开更多
关键词 硅异质结太阳能电池 背发射极结构 透明导电氧化物薄膜 迁移率
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