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光刻胶针孔密度测试方法－透射铬版法的研究
被引量：
1
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作者
喻小琦
马存恕
《感光科学与光化学》
CSCD
1994年第3期285-287,共3页
光刻胶针孔密度测试方法－透射铬版法的研究喻小琦，马存恕（广州化学试剂研究所，广州 ５１０２８０）（北京化学试剂研究所，北京１０００２２）关键词光刻胶，针孔密度，透射铬版法针孔密度是表示单位面积胶膜上出现微缺陷的个数，...
光刻胶针孔密度测试方法－透射铬版法的研究喻小琦，马存恕（广州化学试剂研究所，广州 ５１０２８０）（北京化学试剂研究所，北京１０００２２）关键词光刻胶，针孔密度，透射铬版法针孔密度是表示单位面积胶膜上出现微缺陷的个数，是抗正向蚀刻能力的一种表征。测量胶...
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关键词
光刻胶
针孔密度
透射铬版法
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职称材料
题名
光刻胶针孔密度测试方法－透射铬版法的研究
被引量：
1
1
作者
喻小琦
马存恕
机构
广州化学试剂研究所
出处
《感光科学与光化学》
CSCD
1994年第3期285-287,共3页
文摘
光刻胶针孔密度测试方法－透射铬版法的研究喻小琦，马存恕（广州化学试剂研究所，广州 ５１０２８０）（北京化学试剂研究所，北京１０００２２）关键词光刻胶，针孔密度，透射铬版法针孔密度是表示单位面积胶膜上出现微缺陷的个数，是抗正向蚀刻能力的一种表征。测量胶...
关键词
光刻胶
针孔密度
透射铬版法
分类号
TQ577.35 [化学工程—精细化工]
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题名
作者
出处
发文年
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1
光刻胶针孔密度测试方法－透射铬版法的研究
喻小琦
马存恕
《感光科学与光化学》
CSCD
1994
1
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