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聚焦离子束快速精准制备玻璃透射电镜样品被引量：4: 1; 作者丁莹史学芳 +3 位作者杨修波郑岚高翔宇刘峰《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2022年第8期31-34,共4页; 为了解决受荷电效应影响导致玻璃类绝缘样品加工难的问题,提出了改进聚焦离子束常规制备透射电镜样品的方法。改进的方法主要是在制备过程中引入电子束辅助沉积和机械手辅助切割,并搭配合理的离子束加工束流。其中,电子束辅助沉积可以... 展开更多; 关键词聚焦离子束电子束辅助机械手辅助绝缘材料透射电镜样品; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于FIB-SEM制备尖晶石微米颗粒的球差校正透射电镜样品被引量：9: 2; 作者王磊曲迪 +1 位作者姬静远白国人《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第1期50-54,共5页; 针对尖晶石微米颗粒材料,利用聚焦离子束扫描电镜双束系统(FIB-SEM),在传统透射电镜样品制备方法的基础上进行技术性改进,成功制备了高质量的球差校正透射电镜样品。并利用球差校正透射电镜成功观察到了尖晶石颗粒的截面原子结构,为更... 展开更多; 关键词聚焦离子束扫描电镜双束系统微米颗粒球差校正透射电镜样品; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于加热芯片的原位透射电镜样品的制备方法被引量：4: 3; 作者王亚刘军 +1 位作者陈陆王勇《电子显微学报》 CAS CSCD 2015年第6期540-544,共5页; 聚焦离子束(FIB)制备传统截面TEM样品已有非常成熟的流程,然而在原位加热芯片上制备高质量的TEM样品仍困扰着广大从事原位实验的研究者。本文以Si为例,运用一个普通45°斜面样品台和一台标准52°侧翻的FIB,通过精确的角度计算,... 展开更多; 关键词聚焦离子束透射电镜截面样品加热芯片原位电镜; 在线阅读下载PDF 职称材料

复合镀膜在陶瓷颗粒透射电镜分析中的应用: 4; 作者闫时建田玉明 +2 位作者张敏刚孙钢田文怀《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2009年第9期1557-1562,共6页; 本文介绍了一种对陶瓷颗粒进行透射电镜分析的样品制备方法。采用复合电沉积方法,将陶瓷颗粒均匀分散包埋在金属铜镀层中,得到复合镀层薄膜,再通过电解双喷将薄膜减薄,获得透射电镜样品,从而可以对陶瓷颗粒进行透射电镜观察分析,讨论了... 展开更多; 关键词复合镀膜陶瓷颗粒透射电镜样品; 在线阅读下载PDF 职称材料

FIB/SEM双束系统在微纳加工与表征中的应用被引量：3: 5; 作者彭开武《中国材料进展》 CAS CSCD 2013年第12期728-734,751,共8页; 简要回顾了聚焦离子束/扫描电子显微镜双束系统在国家纳米科学中心的应用。围绕透射电镜样品制备、扫描电子显微镜与扫描离子显微镜、纳米材料的二维与三维表征等材料表征,以及离子束直接刻蚀加工如光子晶体阵列器件原型加工、材料沉积... 展开更多; 关键词聚焦离子束双束系统纳米材料表征纳米结构加工电子束曝光透射电镜样品制备; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名聚焦离子束快速精准制备玻璃透射电镜样品被引量：4: 1; 作者丁莹史学芳杨修波郑岚高翔宇刘峰; 机构西北工业大学分析测试中心西北工业大学凝固技术国家重点实验室; 出处《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2022年第8期31-34,共4页; 文摘为了解决受荷电效应影响导致玻璃类绝缘样品加工难的问题,提出了改进聚焦离子束常规制备透射电镜样品的方法。改进的方法主要是在制备过程中引入电子束辅助沉积和机械手辅助切割,并搭配合理的离子束加工束流。其中,电子束辅助沉积可以帮助操作人员在因荷电效应而模糊不清的图像中迅速且精准地找到关键区;机械手辅助切割可通过建立更好的电荷接地通道来减弱切割过程中材料表面的荷电现象;合理的离子束加工束流则是为了平衡荷电效应和加工速率之间的矛盾。结果表明,改进后的方法能够在保证加工速率的前提下,有效改善材料表面的荷电现象,实现离子束对玻璃材料的快速精准加工,获得良好的透射电镜样品。; 关键词聚焦离子束电子束辅助机械手辅助绝缘材料透射电镜样品; Keywords focused ion beam(FIB) electron beam assisted nanomanipulator assisted insulating materials TEM sample; 分类号 TB32 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于FIB-SEM制备尖晶石微米颗粒的球差校正透射电镜样品被引量：9: 2; 作者王磊曲迪姬静远白国人; 机构天津华慧芯科技集团有限公司清华大学天津电子信息研究院高端光电子芯片创新中心; 出处《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第1期50-54,共5页; 基金天津市支持京津冀科技成果转化项目(No.18YFCZZC00360) 中新天津生态城2019年度科技型中小企业升级专项; 文摘针对尖晶石微米颗粒材料,利用聚焦离子束扫描电镜双束系统(FIB-SEM),在传统透射电镜样品制备方法的基础上进行技术性改进,成功制备了高质量的球差校正透射电镜样品。并利用球差校正透射电镜成功观察到了尖晶石颗粒的截面原子结构,为更深入地研究尖晶石材料的结构和性能奠定了基础。; 关键词聚焦离子束扫描电镜双束系统微米颗粒球差校正透射电镜样品; Keywords FIB-SEM micro-sized particles spherical aberration corrected TEM sample; 分类号 TH73 [机械工程—精密仪器及机械] O766.1 [理学—晶体学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于加热芯片的原位透射电镜样品的制备方法被引量：4: 3; 作者王亚刘军陈陆王勇; 机构浙江大学电镜中心; 出处《电子显微学报》 CAS CSCD 2015年第6期540-544,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(No.51390474); 文摘聚焦离子束(FIB)制备传统截面TEM样品已有非常成熟的流程,然而在原位加热芯片上制备高质量的TEM样品仍困扰着广大从事原位实验的研究者。本文以Si为例,运用一个普通45°斜面样品台和一台标准52°侧翻的FIB,通过精确的角度计算,发展了一种在原位加热芯片上快速制备出高质量TEM样品的方法。; 关键词聚焦离子束透射电镜截面样品加热芯片原位电镜; Keywords FIB in-situ TEM thermal chips cross-section sample; 分类号 TN304.12 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名复合镀膜在陶瓷颗粒透射电镜分析中的应用: 4; 作者闫时建田玉明张敏刚孙钢田文怀; 机构太原科技大学材料科学与工程学院山西省镁及镁合金工程技术研究中心北京科技大学材料物理与化学系; 出处《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2009年第9期1557-1562,共6页; 基金山西省科技攻关项目(No.20090321085) 太原科技大学博士科研启动项目(No.200702)资助; 文摘本文介绍了一种对陶瓷颗粒进行透射电镜分析的样品制备方法。采用复合电沉积方法,将陶瓷颗粒均匀分散包埋在金属铜镀层中,得到复合镀层薄膜,再通过电解双喷将薄膜减薄,获得透射电镜样品,从而可以对陶瓷颗粒进行透射电镜观察分析,讨论了获得此种复合镀层薄膜所需的电流密度、镀液pH值、搅拌措施和电镀时间。透射电镜观察分析的结果显示此方法效果良好。; 关键词复合镀膜陶瓷颗粒透射电镜样品; Keywords composite coating ceramic particle TEM thin foil; 分类号 O766 [理学—晶体学] TQ153.1 [化学工程—电化学工业]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名FIB/SEM双束系统在微纳加工与表征中的应用被引量：3: 5; 作者彭开武; 机构国家纳米科学中心纳米检测实验室; 出处《中国材料进展》 CAS CSCD 2013年第12期728-734,751,共8页; 文摘简要回顾了聚焦离子束/扫描电子显微镜双束系统在国家纳米科学中心的应用。围绕透射电镜样品制备、扫描电子显微镜与扫描离子显微镜、纳米材料的二维与三维表征等材料表征,以及离子束直接刻蚀加工如光子晶体阵列器件原型加工、材料沉积加工如用于电学性能测试的四电极制作、指定点加工如原子力显微镜针尖修饰、三维加工、电子束曝光及其与聚焦离子束联合加工等纳米结构加工两方面,以些具体实例分类进行了介绍。针对限制其应用的些不利因素,如加工效率低、面积小、精度不足、加工损伤等问题,些新技术如新型离子源Plasma、He+/Ne+离子等与现有Ga+聚焦离子束系统配合将成为未来发展方向。; 关键词聚焦离子束双束系统纳米材料表征纳米结构加工电子束曝光透射电镜样品制备; Keywords focused ion beam （FIB） dual beam system micro-nanofabrication nanocharacterizatiou electron beamlithography （EBL） TEM sample preparation; 分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	聚焦离子束快速精准制备玻璃透射电镜样品	丁莹史学芳杨修波郑岚高翔宇刘峰	《实验室研究与探索》 CAS 北大核心	2022	4	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于FIB-SEM制备尖晶石微米颗粒的球差校正透射电镜样品	王磊曲迪姬静远白国人	《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心	2021	9	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于加热芯片的原位透射电镜样品的制备方法	王亚刘军陈陆王勇	《电子显微学报》 CAS CSCD	2015	4	在线阅读下载PDF 职称材料
4	复合镀膜在陶瓷颗粒透射电镜分析中的应用	闫时建田玉明张敏刚孙钢田文怀	《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心	2009	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	FIB/SEM双束系统在微纳加工与表征中的应用	彭开武	《中国材料进展》 CAS CSCD	2013	3	在线阅读下载PDF 职称材料