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基于加热芯片的原位透射电镜样品的制备方法
被引量：
4
1
作者
王亚
刘军
+1 位作者
陈陆
王勇
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2015年第6期540-544,共5页
聚焦离子束(FIB)制备传统截面TEM样品已有非常成熟的流程,然而在原位加热芯片上制备高质量的TEM样品仍困扰着广大从事原位实验的研究者。本文以Si为例,运用一个普通45°斜面样品台和一台标准52°侧翻的FIB,通过精确的角度计算,...
聚焦离子束(FIB)制备传统截面TEM样品已有非常成熟的流程,然而在原位加热芯片上制备高质量的TEM样品仍困扰着广大从事原位实验的研究者。本文以Si为例,运用一个普通45°斜面样品台和一台标准52°侧翻的FIB,通过精确的角度计算,发展了一种在原位加热芯片上快速制备出高质量TEM样品的方法。
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关键词
聚焦离子束
透射电镜截面样品
加热芯片
原位
电镜
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职称材料
题名
基于加热芯片的原位透射电镜样品的制备方法
被引量：
4
1
作者
王亚
刘军
陈陆
王勇
机构
浙江大学电镜中心
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2015年第6期540-544,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.51390474)
文摘
聚焦离子束(FIB)制备传统截面TEM样品已有非常成熟的流程,然而在原位加热芯片上制备高质量的TEM样品仍困扰着广大从事原位实验的研究者。本文以Si为例,运用一个普通45°斜面样品台和一台标准52°侧翻的FIB,通过精确的角度计算,发展了一种在原位加热芯片上快速制备出高质量TEM样品的方法。
关键词
聚焦离子束
透射电镜截面样品
加热芯片
原位
电镜
Keywords
FIB
in-situ TEM
thermal chips
cross-section sample
分类号
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于加热芯片的原位透射电镜样品的制备方法
王亚
刘军
陈陆
王勇
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2015
4
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