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软X射线多层膜透射式起偏器和检偏器设计
被引量：
1
1
作者
王占山
顾中祥
+1 位作者
王洪昌
陈玲燕
《同济大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第7期859-863,共5页
叙述了软X射线波段多层膜透射式起偏器和检偏器的设计原理,提出了设计准则,通过该准则设计的多层膜偏振元件能够同时满足具有较大的光通量和偏振度要求.同时还优化了不同膜厚比情况下软X射线多层膜偏振元件的性能,讨论了在多层膜制作过...
叙述了软X射线波段多层膜透射式起偏器和检偏器的设计原理,提出了设计准则,通过该准则设计的多层膜偏振元件能够同时满足具有较大的光通量和偏振度要求.同时还优化了不同膜厚比情况下软X射线多层膜偏振元件的性能,讨论了在多层膜制作过程中,由于表界面粗糙度和扩散的不同对元件性能的影响,这些工作为制作软X射线多层膜透射式起偏器和检偏器提供了设计基础.
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关键词
软X射线
多层膜
透射式起偏器和检偏器
评价函数
偏
振率
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职称材料
题名
软X射线多层膜透射式起偏器和检偏器设计
被引量：
1
1
作者
王占山
顾中祥
王洪昌
陈玲燕
机构
同济大学精密光学工程技术研究所
出处
《同济大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第7期859-863,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(10435050
60378021)
上海市科委纳米专项基金资助项目(0352nm090)
文摘
叙述了软X射线波段多层膜透射式起偏器和检偏器的设计原理,提出了设计准则,通过该准则设计的多层膜偏振元件能够同时满足具有较大的光通量和偏振度要求.同时还优化了不同膜厚比情况下软X射线多层膜偏振元件的性能,讨论了在多层膜制作过程中,由于表界面粗糙度和扩散的不同对元件性能的影响,这些工作为制作软X射线多层膜透射式起偏器和检偏器提供了设计基础.
关键词
软X射线
多层膜
透射式起偏器和检偏器
评价函数
偏
振率
Keywords
soft X-ray
multilayer
transmitted polarizers and analyzers
merit function
polarized ratio
分类号
O434 [机械工程—光学工程]
O484.41 [理学—固体物理]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
软X射线多层膜透射式起偏器和检偏器设计
王占山
顾中祥
王洪昌
陈玲燕
《同济大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
1
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