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一种新型金属光栅结构透射增强特性研究
1
作者
周永光
李民权
+2 位作者
潘旭
沈纯纯
李玄玄
《光通信技术》
北大核心
2017年第3期33-35,共3页
设计一新型光栅并利用有限元方法分析其透射增强特性,为提高透射效率,在光栅中嵌入矩形腔。研究了波入射角、腔结构等对其透射增强特性的影响。
关键词
透射增强特性
光栅
矩形腔
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职称材料
基于二维金属亚波长孔阵列结构的MEMS红外辐射源特性研究
2
作者
姚翔
肖功利
+3 位作者
纪新明
周嘉
包宗明
黄宜平
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第11期1550-1554,共5页
以MEMS红外气敏传感器为应用目标,采用MEMS技术设计和制作一种二维金属亚波长孔阵列结构红外辐射源。探讨了不同厚度SU-8膜对金属/电介质/金属(M/D/M)二维金属亚波长孔阵列结构在中远红外波段透射特性的影响。设计并制作了Au/SU-8/Au的M...
以MEMS红外气敏传感器为应用目标,采用MEMS技术设计和制作一种二维金属亚波长孔阵列结构红外辐射源。探讨了不同厚度SU-8膜对金属/电介质/金属(M/D/M)二维金属亚波长孔阵列结构在中远红外波段透射特性的影响。设计并制作了Au/SU-8/Au的M/D/M结构,测试采用傅里叶变换红外光谱仪器。同时对M/D/M结构不同电介质层情况下的中远红外波段透射特性进行了模拟。实验结果表明,SU-8厚度在小于1μm时,透射强度远大于厚度1μm以上的结构,且有透射强度最大值出现(SU-8厚度为360nm),同时,随着SU-8厚度的增加,透射谱峰值呈现规律性红移。
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关键词
表面等离子体共振效应
二维金属亚波长孔阵列结构
SU-8膜的厚度
透射增强特性
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职称材料
题名
一种新型金属光栅结构透射增强特性研究
1
作者
周永光
李民权
潘旭
沈纯纯
李玄玄
机构
安徽大学计算智能与信号处理教育部重点实验室
出处
《光通信技术》
北大核心
2017年第3期33-35,共3页
基金
国家自然科学基金(批准号:51477001)资助
文摘
设计一新型光栅并利用有限元方法分析其透射增强特性,为提高透射效率,在光栅中嵌入矩形腔。研究了波入射角、腔结构等对其透射增强特性的影响。
关键词
透射增强特性
光栅
矩形腔
Keywords
transmission enhancement characteristics
grating
rectangular cavity
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
基于二维金属亚波长孔阵列结构的MEMS红外辐射源特性研究
2
作者
姚翔
肖功利
纪新明
周嘉
包宗明
黄宜平
机构
复旦大学微电子学系ASIC与系统国家重点实验室
桂林电子科技大学信息与通信学院
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第11期1550-1554,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(60906054)
教育部博士研究生基金(20070246099)
文摘
以MEMS红外气敏传感器为应用目标,采用MEMS技术设计和制作一种二维金属亚波长孔阵列结构红外辐射源。探讨了不同厚度SU-8膜对金属/电介质/金属(M/D/M)二维金属亚波长孔阵列结构在中远红外波段透射特性的影响。设计并制作了Au/SU-8/Au的M/D/M结构,测试采用傅里叶变换红外光谱仪器。同时对M/D/M结构不同电介质层情况下的中远红外波段透射特性进行了模拟。实验结果表明,SU-8厚度在小于1μm时,透射强度远大于厚度1μm以上的结构,且有透射强度最大值出现(SU-8厚度为360nm),同时,随着SU-8厚度的增加,透射谱峰值呈现规律性红移。
关键词
表面等离子体共振效应
二维金属亚波长孔阵列结构
SU-8膜的厚度
透射增强特性
Keywords
two-dimensional metallic sub-wavelength hole arrays
SU-8 layer thickness
transmission
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种新型金属光栅结构透射增强特性研究
周永光
李民权
潘旭
沈纯纯
李玄玄
《光通信技术》
北大核心
2017
0
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职称材料
2
基于二维金属亚波长孔阵列结构的MEMS红外辐射源特性研究
姚翔
肖功利
纪新明
周嘉
包宗明
黄宜平
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2010
0
在线阅读
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职称材料
已选择
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参考文献
引证文献
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