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基于InP/空气隙DBR的长波长RCE光探测器的实验研究
1
作者
王兴妍
黄辉
+4 位作者
王琦
周震
崇英哲
黄永清
任晓敏
《光通信技术》
CSCD
北大核心
2003年第12期33-34,共2页
报道了一种长波长的InP基谐振腔(RCE)光探测器。它采用选择性湿法刻蚀。制备出基于InP/空气隙的分布布喇格反射镜(DBR)。并将该结构的反射镜引入RCE光探测器,所制备的器件,在波长1:585μm处获得了约54.5％的峰值量子效率,以及8GHz的3dB...
报道了一种长波长的InP基谐振腔(RCE)光探测器。它采用选择性湿法刻蚀。制备出基于InP/空气隙的分布布喇格反射镜(DBR)。并将该结构的反射镜引入RCE光探测器,所制备的器件,在波长1:585μm处获得了约54.5％的峰值量子效率,以及8GHz的3dB响应带宽,其中器件的台面面积为50×50mm2。
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关键词
谐振腔光探测器
长波长
空气隙
选择性湿法刻蚀
INP
RCE
DBR
分布布喇格反射镜
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职称材料
题名
基于InP/空气隙DBR的长波长RCE光探测器的实验研究
1
作者
王兴妍
黄辉
王琦
周震
崇英哲
黄永清
任晓敏
机构
北京邮电大学光通信中心
出处
《光通信技术》
CSCD
北大核心
2003年第12期33-34,共2页
基金
国家"863"项目(No:2002AA31229Z)
国家自然科学基金重大研究计划项目(No:90104003)
国家自然基金重点项目(No:90201035)资助
文摘
报道了一种长波长的InP基谐振腔(RCE)光探测器。它采用选择性湿法刻蚀。制备出基于InP/空气隙的分布布喇格反射镜(DBR)。并将该结构的反射镜引入RCE光探测器,所制备的器件,在波长1:585μm处获得了约54.5％的峰值量子效率,以及8GHz的3dB响应带宽,其中器件的台面面积为50×50mm2。
关键词
谐振腔光探测器
长波长
空气隙
选择性湿法刻蚀
INP
RCE
DBR
分布布喇格反射镜
分类号
TN929.11 [电子电信—通信与信息系统]
TN247 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
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1
基于InP/空气隙DBR的长波长RCE光探测器的实验研究
王兴妍
黄辉
王琦
周震
崇英哲
黄永清
任晓敏
《光通信技术》
CSCD
北大核心
2003
0
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