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具有高电流增益-击穿电压优值的新型应变Si/SiGeHBT
被引量:
1
1
作者
金冬月
胡瑞心
+5 位作者
张万荣
高光渤
王肖
付强
赵馨仪
江之韵
《北京工业大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第9期1321-1325,共5页
为了改善器件的高压大电流处理能力,利用SILVACOTCAD建立了应变Si/SiGe HBT模型,分析了虚拟衬底设计对电流增益的影响.虚拟衬底可在保持基区-集电区界面应力不变的情况下实现基区Ge组分的高掺杂,进而增大电流增益.但器件的击穿电压仍然...
为了改善器件的高压大电流处理能力,利用SILVACOTCAD建立了应变Si/SiGe HBT模型,分析了虚拟衬底设计对电流增益的影响.虚拟衬底可在保持基区-集电区界面应力不变的情况下实现基区Ge组分的高掺杂,进而增大电流增益.但器件的击穿电压仍然较低,不利于输出功率的提高和系统信噪比的改善.考虑到集电区设计对电流增益影响不大但与器件击穿电压密切相关,在采用虚拟衬底结构的同时,对器件的集电区进行选择性注入设计.该设计可在集电区引入横向电场,进而提高击穿电压.结果表明:与传统的SiGe HBT相比,新器件的电流增益和击穿电压均得到显著改善,其优值β·V_(CEO)。改善高达14.2倍,有效拓展了微波功率SiGe HBT的高压大电流工作范围.
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关键词
应变Si/SiGe
HBT
选择性注入集电区
击穿电压
电流增益
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职称材料
题名
具有高电流增益-击穿电压优值的新型应变Si/SiGeHBT
被引量:
1
1
作者
金冬月
胡瑞心
张万荣
高光渤
王肖
付强
赵馨仪
江之韵
机构
北京工业大学电子信息与控制工程学院
美国International Rectifier公司
出处
《北京工业大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第9期1321-1325,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(61006059)
北京市自然科学基金资助项目(4143059)
文摘
为了改善器件的高压大电流处理能力,利用SILVACOTCAD建立了应变Si/SiGe HBT模型,分析了虚拟衬底设计对电流增益的影响.虚拟衬底可在保持基区-集电区界面应力不变的情况下实现基区Ge组分的高掺杂,进而增大电流增益.但器件的击穿电压仍然较低,不利于输出功率的提高和系统信噪比的改善.考虑到集电区设计对电流增益影响不大但与器件击穿电压密切相关,在采用虚拟衬底结构的同时,对器件的集电区进行选择性注入设计.该设计可在集电区引入横向电场,进而提高击穿电压.结果表明:与传统的SiGe HBT相比,新器件的电流增益和击穿电压均得到显著改善,其优值β·V_(CEO)。改善高达14.2倍,有效拓展了微波功率SiGe HBT的高压大电流工作范围.
关键词
应变Si/SiGe
HBT
选择性注入集电区
击穿电压
电流增益
Keywords
strained Si/SiGe HBT
selectively implanted collector
breakdown voltage
current gain
分类号
TN385 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
具有高电流增益-击穿电压优值的新型应变Si/SiGeHBT
金冬月
胡瑞心
张万荣
高光渤
王肖
付强
赵馨仪
江之韵
《北京工业大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2015
1
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