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逆阻型绝缘栅双极晶体管研究进展
被引量:
3
1
作者
张广银
沈千行
+3 位作者
张须坤
田晓丽
卢烁今
朱阳军
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第10期721-729,共9页
逆阻型绝缘栅双极型晶体管(RB-IGBT)是一种新型的IGBT器件,它是将IGBT元胞结构与耐高压的二极管元胞结构集成到同一个芯片上。RB-IGBT相比于传统的IGBT串联一个二极管的模式,具有总通态压降低、成本低、总功耗低和电路结构简单等诸多优...
逆阻型绝缘栅双极型晶体管(RB-IGBT)是一种新型的IGBT器件,它是将IGBT元胞结构与耐高压的二极管元胞结构集成到同一个芯片上。RB-IGBT相比于传统的IGBT串联一个二极管的模式,具有总通态压降低、成本低、总功耗低和电路结构简单等诸多优点。自从被提出以来,RB-IGBT在结构设计和加工工艺方面不断得到改进,其性能不断提升,使得RB-IGBT拥有更为广阔的应用前景。综述了RB-IGBT的发展历程和双向耐压原理,重点阐述了不断改进的RB-IGBT结构和国际上采用的加工工艺。针对热预算、工艺难度和工艺成本等,分析了不同工艺技术的优缺点,重点探讨了工艺的实现方式。对RB-IGBT的发展趋势进行了分析和预测,认为混合隔离技术和漂移区的改进将是下一代RB-IGBT的发展方向。
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关键词
功率器件
逆
阻
型
绝缘
栅
双
极
型
晶体管
(
rb-igbt
)
反向
阻
断
隔离技术
终端
混合隔离
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职称材料
采用逆阻型IGBT的零电流开关PWM电流源型半桥变换器
被引量:
6
2
作者
肖华锋
谢少军
《中国电机工程学报》
EI
CSCD
北大核心
2007年第31期110-114,共5页
电流源型半桥变换器(current-fed half-bridge converter,CFHB)由于变压器漏感的存在引起了开关管关断电压尖峰。为解决这个问题,该文提出一种新的ZCS PWM CFHB变换器,主功率器件选用逆阻型IGBT(RB-IGBT)可以彻底消除主功率管的电压尖...
电流源型半桥变换器(current-fed half-bridge converter,CFHB)由于变压器漏感的存在引起了开关管关断电压尖峰。为解决这个问题,该文提出一种新的ZCS PWM CFHB变换器,主功率器件选用逆阻型IGBT(RB-IGBT)可以彻底消除主功率管的电压尖峰和有效减小谐振电流峰值。该文详细分析了这种新型变换器的工作原理和特性,并在一个600W的原理样机上进行验证,最后给出试验结果。
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关键词
电流源
型
半桥变换器
零电流开关
逆
阻
型
绝缘
栅
双
极
性
晶体管
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职称材料
逆导型IGBT发展概述
被引量:
11
3
作者
张文亮
田晓丽
+1 位作者
谈景飞
朱阳军
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第11期836-841,共6页
逆导型绝缘栅双极型晶体管是一种新型的IGBT器件,它是将IGBT元胞结构以及快恢复二极管(FRD)元胞结构集成在同一个芯片上。逆导型IGBT器件具有小尺寸、高功率密度、低成本、高可靠性等诸多优点,但是逆导型IGBT的电压回跳现象限制了它在...
逆导型绝缘栅双极型晶体管是一种新型的IGBT器件,它是将IGBT元胞结构以及快恢复二极管(FRD)元胞结构集成在同一个芯片上。逆导型IGBT器件具有小尺寸、高功率密度、低成本、高可靠性等诸多优点,但是逆导型IGBT的电压回跳现象限制了它在实际中的应用。研究了逆导型IGBT器件的结构原理以及回跳现象产生的原因,介绍了引导区结构和背面版图正交布局两种有效抑制回跳现象的方法。通过合理的设计,逆导型IGBT基本上克服了传统的特性缺陷,这将使逆导型IGBT在未来有更为广阔的应用前景。
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关键词
绝缘
栅
双
极
型
晶体管
逆
导
型
绝缘
栅
双
极
型
晶体管
初次回跳
二次回跳
引导区
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职称材料
逆导型沟槽FS IGBT的设计与实现
4
作者
邓小社
郭绪阳
+2 位作者
李泽宏
张波
张大成
《半导体技术》
CSCD
北大核心
2017年第9期669-674,695,共7页
逆导型沟槽场终止绝缘栅双极型晶体管(RC Trench FS IGBT)是一种新型的功率半导体器件,具有成本低、体积小、可靠性高等优点。设计并实现了一款1 200 V逆导型沟槽FS IGBT。重点研究了逆导型绝缘栅门极晶体管(RC IGBT)特有的回扫现象,以...
逆导型沟槽场终止绝缘栅双极型晶体管(RC Trench FS IGBT)是一种新型的功率半导体器件,具有成本低、体积小、可靠性高等优点。设计并实现了一款1 200 V逆导型沟槽FS IGBT。重点研究了逆导型绝缘栅门极晶体管(RC IGBT)特有的回扫现象,以及如何从结构设计上消除回扫现象,其次,对RC IGBT在不同的载流子寿命下,进行了开关特性、反向恢复特性的仿真。研究结果发现随着载流子寿命的降低,其开关时间、反向恢复特性都有一定程度的改善。依据器件的最优化设计进行了流片。测试结果验证了不同设计对电流回扫现象的影响,以及不同少子寿命下导通特性和反向恢复特性的变化规律,器件的性能得到优化。
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关键词
逆
导
型
沟槽场终止
绝缘
栅
双
极
型
晶体管
(RC
TRENCH
FS
IGBT)
载流子寿命
反向恢复时间
回扫现象
开关特性
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职称材料
带有p型柱体的三维阳极短路LIGBT结构
5
作者
王柳敏
金锐
+2 位作者
徐晓轶
谢刚
盛况
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第4期280-285,共6页
为了有效消除器件的逆阻现象,提出了一种带有p型柱体的三维阳极短路横向绝缘栅双极型晶体管(SA-LIGBT)结构。p型柱体位于n型缓冲层中,提高了集电极区域的短路电阻,从而使逆阻现象完全消失。另一方面,p型柱体会向漂移区注入更多的空穴,...
为了有效消除器件的逆阻现象,提出了一种带有p型柱体的三维阳极短路横向绝缘栅双极型晶体管(SA-LIGBT)结构。p型柱体位于n型缓冲层中,提高了集电极区域的短路电阻,从而使逆阻现象完全消失。另一方面,p型柱体会向漂移区注入更多的空穴,可以增强通态条件下器件的电导调制效应,降低器件的通态压降。利用三维仿真软件Crosslight-APSYS仿真研究了p型柱体的高度、宽度和长度对逆阻现象以及对器件通态压降和关断速度的影响。结果表明,当p型柱体的高度为1μm,宽度为12μm,长度为20μm时,器件的逆阻现象完全消失。通态压降为1.61 V,关断时间为110.3 ns,而传统结构LIGBT的通态压降为1.56 V,关断时间为2.33μs。
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关键词
三维
横向
绝缘
栅
双
极
型
晶体管
(LIGBT)
阳
极
短路
p
型
柱体
逆
阻
效应
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职称材料
一种复合终端逆阻IGBT数值仿真分析
被引量:
2
6
作者
崔磊
杨通
+2 位作者
张如亮
马丽
李旖晨
《中国电力》
CSCD
北大核心
2022年第9期98-104,共7页
绝缘栅双极型晶体管(insulated gate bipolar transistor,IGBT)本身不具有反向阻断能力,因此在电路中通常与二极管组合使用。为降低使用成本,减小寄生电感,续流二极管与IGBT通过工艺集成在同一芯片上,由此提出了具有反向阻断能力的逆阻...
绝缘栅双极型晶体管(insulated gate bipolar transistor,IGBT)本身不具有反向阻断能力,因此在电路中通常与二极管组合使用。为降低使用成本,减小寄生电感,续流二极管与IGBT通过工艺集成在同一芯片上,由此提出了具有反向阻断能力的逆阻型IGBT。针对常规逆阻IGBT终端面积大的问题,提出了一种改进型复合终端结构,采用双掺杂场限环,在P型场限环旁边引入N型轻掺杂区。改进结构减小了耗尽区横向扩展速率,增强器件可靠性,节省终端面积占用并提高了终端效率。
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关键词
绝缘
栅
双
极
型
晶体管
逆
阻
场限环
复合终端
双
掺杂场限环
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职称材料
回跳现象对RC-IGBT器件功率循环测试的影响
被引量:
2
7
作者
谢露红
赵雨山
+3 位作者
邓二平
张莹
王哨
黄永章
《中国电机工程学报》
EI
CSCD
北大核心
2023年第14期5607-5618,共12页
逆导型绝缘栅双极型晶体管(reverse conducting insulated gate bipolar transistor,RC-IGBT)是一种新型IGBT器件,其在IGBT芯片结构中集成了一个快恢复二极管,具有成本低、封装工艺简单、功率密度高、抗浪涌电流能力高等特点,因而备受...
逆导型绝缘栅双极型晶体管(reverse conducting insulated gate bipolar transistor,RC-IGBT)是一种新型IGBT器件,其在IGBT芯片结构中集成了一个快恢复二极管,具有成本低、封装工艺简单、功率密度高、抗浪涌电流能力高等特点,因而备受工业界关注,对其可靠性的要求也越来越高。但是,由于RC-IGBT器件特殊的芯片结构,使得其输出特性曲线上具有回跳现象。而回跳现象是否会对RC-IGBT可靠性的考察产生影响还有待研究。因此文中首先深入分析回跳现象产生的机理,并结合考察器件可靠性最重要的实验——功率循环实验的原理阐述,分析得到回跳现象可能会对功率循环中结温测量、并联分流和功率循环寿命及失效形式3个方面产生影响,并通过设计实验进行论证。实验结果表明,回跳现象会对VCE(T)法进行结温测量产生影响,而对VF(T)法进行结温测量没有影响;通过并联分流实验发现,具有较小回跳电压的器件会在电流流过器件瞬间分得更多的电流,但是其影响时间较短;通过不同导通模式下的功率循环实验对比分析可知,回跳现象对分立器件的功率循环寿命及失效方式没有影响。
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关键词
逆
导
型
绝缘
栅
双
极
型
晶体管
回跳现象
结温测量
并联分流
功率循环测试
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职称材料
题名
逆阻型绝缘栅双极晶体管研究进展
被引量:
3
1
作者
张广银
沈千行
张须坤
田晓丽
卢烁今
朱阳军
机构
中国科学院大学
中国科学院微电子研究所
江苏物联网研究发展中心
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第10期721-729,共9页
基金
国家重大科技专项资助项目(2013ZX02305-005-002)
国家自然科学基金资助项目(51490681)
省院合作高技术产业化专项资金项目(2016SYHZ0026)
文摘
逆阻型绝缘栅双极型晶体管(RB-IGBT)是一种新型的IGBT器件,它是将IGBT元胞结构与耐高压的二极管元胞结构集成到同一个芯片上。RB-IGBT相比于传统的IGBT串联一个二极管的模式,具有总通态压降低、成本低、总功耗低和电路结构简单等诸多优点。自从被提出以来,RB-IGBT在结构设计和加工工艺方面不断得到改进,其性能不断提升,使得RB-IGBT拥有更为广阔的应用前景。综述了RB-IGBT的发展历程和双向耐压原理,重点阐述了不断改进的RB-IGBT结构和国际上采用的加工工艺。针对热预算、工艺难度和工艺成本等,分析了不同工艺技术的优缺点,重点探讨了工艺的实现方式。对RB-IGBT的发展趋势进行了分析和预测,认为混合隔离技术和漂移区的改进将是下一代RB-IGBT的发展方向。
关键词
功率器件
逆
阻
型
绝缘
栅
双
极
型
晶体管
(
rb-igbt
)
反向
阻
断
隔离技术
终端
混合隔离
Keywords
power device
reverse blocking-insulated gate bipolar transistor(
rb-igbt
)
reverse blocking
isolation technique
termination
hybrid isolation
分类号
TN386.2 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
采用逆阻型IGBT的零电流开关PWM电流源型半桥变换器
被引量:
6
2
作者
肖华锋
谢少军
机构
南京航空航天大学自动化学院
出处
《中国电机工程学报》
EI
CSCD
北大核心
2007年第31期110-114,共5页
文摘
电流源型半桥变换器(current-fed half-bridge converter,CFHB)由于变压器漏感的存在引起了开关管关断电压尖峰。为解决这个问题,该文提出一种新的ZCS PWM CFHB变换器,主功率器件选用逆阻型IGBT(RB-IGBT)可以彻底消除主功率管的电压尖峰和有效减小谐振电流峰值。该文详细分析了这种新型变换器的工作原理和特性,并在一个600W的原理样机上进行验证,最后给出试验结果。
关键词
电流源
型
半桥变换器
零电流开关
逆
阻
型
绝缘
栅
双
极
性
晶体管
Keywords
current-fed half-bridge converter
zero-current-switching
reverse blocking insulated gate bipolar transistor
分类号
TM46 [电气工程—电器]
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职称材料
题名
逆导型IGBT发展概述
被引量:
11
3
作者
张文亮
田晓丽
谈景飞
朱阳军
机构
中国科学院微电子研究所
江苏物联网研究发展中心
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第11期836-841,共6页
基金
国家科技重大专项(2011ZX02503-003
2011ZX02504-002)
文摘
逆导型绝缘栅双极型晶体管是一种新型的IGBT器件,它是将IGBT元胞结构以及快恢复二极管(FRD)元胞结构集成在同一个芯片上。逆导型IGBT器件具有小尺寸、高功率密度、低成本、高可靠性等诸多优点,但是逆导型IGBT的电压回跳现象限制了它在实际中的应用。研究了逆导型IGBT器件的结构原理以及回跳现象产生的原因,介绍了引导区结构和背面版图正交布局两种有效抑制回跳现象的方法。通过合理的设计,逆导型IGBT基本上克服了传统的特性缺陷,这将使逆导型IGBT在未来有更为广阔的应用前景。
关键词
绝缘
栅
双
极
型
晶体管
逆
导
型
绝缘
栅
双
极
型
晶体管
初次回跳
二次回跳
引导区
Keywords
reverse conducting-insulated gate bipolar transistor(IGBT)
RC-IGBT
primary snap-back
secondary snap-back
pilot IGBT
分类号
TN389 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
逆导型沟槽FS IGBT的设计与实现
4
作者
邓小社
郭绪阳
李泽宏
张波
张大成
机构
北京大学软件与微电子学院
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
出处
《半导体技术》
CSCD
北大核心
2017年第9期669-674,695,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(61404023)
国家科技重大专项资助项目(2011ZX02504-001
+1 种基金
2011ZX02504-003)
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室开放基金资助项目(KFJJ201301)
文摘
逆导型沟槽场终止绝缘栅双极型晶体管(RC Trench FS IGBT)是一种新型的功率半导体器件,具有成本低、体积小、可靠性高等优点。设计并实现了一款1 200 V逆导型沟槽FS IGBT。重点研究了逆导型绝缘栅门极晶体管(RC IGBT)特有的回扫现象,以及如何从结构设计上消除回扫现象,其次,对RC IGBT在不同的载流子寿命下,进行了开关特性、反向恢复特性的仿真。研究结果发现随着载流子寿命的降低,其开关时间、反向恢复特性都有一定程度的改善。依据器件的最优化设计进行了流片。测试结果验证了不同设计对电流回扫现象的影响,以及不同少子寿命下导通特性和反向恢复特性的变化规律,器件的性能得到优化。
关键词
逆
导
型
沟槽场终止
绝缘
栅
双
极
型
晶体管
(RC
TRENCH
FS
IGBT)
载流子寿命
反向恢复时间
回扫现象
开关特性
Keywords
reverse conduction trench field stop insulated gate bipolar translator(RC Trench FS IGBT)
carrier life time
reverse recovery time
snapback phenomenon
switch performance
分类号
TN322.8 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
带有p型柱体的三维阳极短路LIGBT结构
5
作者
王柳敏
金锐
徐晓轶
谢刚
盛况
机构
浙江大学电气工程学院
国网智能电网研究院电工新材料与微电子研究所
国家电网公司南通供电公司
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第4期280-285,共6页
基金
国家高科技发展研究计划(863计划)资助项目(2014AA052401)
国网科技项目(SGRI-WD-71-14-005)
文摘
为了有效消除器件的逆阻现象,提出了一种带有p型柱体的三维阳极短路横向绝缘栅双极型晶体管(SA-LIGBT)结构。p型柱体位于n型缓冲层中,提高了集电极区域的短路电阻,从而使逆阻现象完全消失。另一方面,p型柱体会向漂移区注入更多的空穴,可以增强通态条件下器件的电导调制效应,降低器件的通态压降。利用三维仿真软件Crosslight-APSYS仿真研究了p型柱体的高度、宽度和长度对逆阻现象以及对器件通态压降和关断速度的影响。结果表明,当p型柱体的高度为1μm,宽度为12μm,长度为20μm时,器件的逆阻现象完全消失。通态压降为1.61 V,关断时间为110.3 ns,而传统结构LIGBT的通态压降为1.56 V,关断时间为2.33μs。
关键词
三维
横向
绝缘
栅
双
极
型
晶体管
(LIGBT)
阳
极
短路
p
型
柱体
逆
阻
效应
Keywords
three-dimensional
lateral insulated gate bipolar transistor(LIGBT)
anode short circuit
p-pillar
snap-back
分类号
TN386 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
一种复合终端逆阻IGBT数值仿真分析
被引量:
2
6
作者
崔磊
杨通
张如亮
马丽
李旖晨
机构
国网智能电网研究院有限公司
西安理工大学电子工程系
西安理工大学应用物理系
出处
《中国电力》
CSCD
北大核心
2022年第9期98-104,共7页
基金
国家重大研发计划资助项目(2015ZX02301002)
国网智能电网研究院有限公司科技项目(53ZCGB190001)。
文摘
绝缘栅双极型晶体管(insulated gate bipolar transistor,IGBT)本身不具有反向阻断能力,因此在电路中通常与二极管组合使用。为降低使用成本,减小寄生电感,续流二极管与IGBT通过工艺集成在同一芯片上,由此提出了具有反向阻断能力的逆阻型IGBT。针对常规逆阻IGBT终端面积大的问题,提出了一种改进型复合终端结构,采用双掺杂场限环,在P型场限环旁边引入N型轻掺杂区。改进结构减小了耗尽区横向扩展速率,增强器件可靠性,节省终端面积占用并提高了终端效率。
关键词
绝缘
栅
双
极
型
晶体管
逆
阻
场限环
复合终端
双
掺杂场限环
Keywords
insulated gate bipolar transistor
reverse blocking
field limiting ring
composite terminal
double doped field limiting ring
分类号
TN322.8 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
回跳现象对RC-IGBT器件功率循环测试的影响
被引量:
2
7
作者
谢露红
赵雨山
邓二平
张莹
王哨
黄永章
机构
新能源电力系统国家重点实验室(华北电力大学)
国网浙江省电力有限公司龙港市供电公司
出处
《中国电机工程学报》
EI
CSCD
北大核心
2023年第14期5607-5618,共12页
文摘
逆导型绝缘栅双极型晶体管(reverse conducting insulated gate bipolar transistor,RC-IGBT)是一种新型IGBT器件,其在IGBT芯片结构中集成了一个快恢复二极管,具有成本低、封装工艺简单、功率密度高、抗浪涌电流能力高等特点,因而备受工业界关注,对其可靠性的要求也越来越高。但是,由于RC-IGBT器件特殊的芯片结构,使得其输出特性曲线上具有回跳现象。而回跳现象是否会对RC-IGBT可靠性的考察产生影响还有待研究。因此文中首先深入分析回跳现象产生的机理,并结合考察器件可靠性最重要的实验——功率循环实验的原理阐述,分析得到回跳现象可能会对功率循环中结温测量、并联分流和功率循环寿命及失效形式3个方面产生影响,并通过设计实验进行论证。实验结果表明,回跳现象会对VCE(T)法进行结温测量产生影响,而对VF(T)法进行结温测量没有影响;通过并联分流实验发现,具有较小回跳电压的器件会在电流流过器件瞬间分得更多的电流,但是其影响时间较短;通过不同导通模式下的功率循环实验对比分析可知,回跳现象对分立器件的功率循环寿命及失效方式没有影响。
关键词
逆
导
型
绝缘
栅
双
极
型
晶体管
回跳现象
结温测量
并联分流
功率循环测试
Keywords
reverse conducting insulated gate bipolar transistor(RC-IGBT)
snap-back phenomenon
junction temperature measurement
current distribution in parallel
power cycling test
分类号
TN322 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
逆阻型绝缘栅双极晶体管研究进展
张广银
沈千行
张须坤
田晓丽
卢烁今
朱阳军
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2016
3
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职称材料
2
采用逆阻型IGBT的零电流开关PWM电流源型半桥变换器
肖华锋
谢少军
《中国电机工程学报》
EI
CSCD
北大核心
2007
6
在线阅读
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职称材料
3
逆导型IGBT发展概述
张文亮
田晓丽
谈景飞
朱阳军
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012
11
在线阅读
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职称材料
4
逆导型沟槽FS IGBT的设计与实现
邓小社
郭绪阳
李泽宏
张波
张大成
《半导体技术》
CSCD
北大核心
2017
0
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职称材料
5
带有p型柱体的三维阳极短路LIGBT结构
王柳敏
金锐
徐晓轶
谢刚
盛况
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2016
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
6
一种复合终端逆阻IGBT数值仿真分析
崔磊
杨通
张如亮
马丽
李旖晨
《中国电力》
CSCD
北大核心
2022
2
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职称材料
7
回跳现象对RC-IGBT器件功率循环测试的影响
谢露红
赵雨山
邓二平
张莹
王哨
黄永章
《中国电机工程学报》
EI
CSCD
北大核心
2023
2
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职称材料
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