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题名考虑边缘效应的扭转微镜的动力响应分析
被引量：2
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作者
袁丽芸
向宇
陆静
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机构
广西工学院汽车工程系
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出处
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2007年第12期122-126,共5页
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基金
广西自然科学基金(桂科自0481028)
广西高校百名中青年学科带头人资助计划项目资助
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文摘
目前对扭转微镜力学特性方面的研究主要围绕静态特性展开,对于其动态特性的分析,已经给出了非耦合与耦合两种模型,但模型中的静电驱动力与驱动扭矩都是建立在无穷大板电容的基础上。而实际应用中的扭转微镜是有限尺度的,即在边缘处电力线会发生泄漏和弯曲,从而产生边缘效应。引入有限板电容的静电力修正公式,计及边缘效应对扭转微镜动态响应的影响。由于在计及边缘效应后,系统方程的驱动力项比较复杂,不能导出其解析表达式,故采用了数值积分方法进行相关处理,并采用迭代修正齐次扩容精细积分法求解非线性动力方程,得到了稳定、精确的数值解。计算结果显示,动态响应幅值在计及边缘效应后比未计及时要大,且扭转微镜的尺寸参数对边缘效应的影响有很大的关联性。
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关键词
MEMS
扭转微镜
边缘效应
迭代修正齐次扩容精细积分法
非线性振动
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Keywords
MEMS
torsional micomirror
edge effects
iterative refinement homogeneous capacity high precision integration method
nonlinear vibration
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分类号
O322
[理学—一般力学与力学基础]
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题名一种分析静电驱动微悬臂梁变形的高精度算法
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作者
陆静
韦笑梅
马小强
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机构
广西工学院汽车工程系
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出处
《广西工学院学报》
CAS
2008年第1期34-37,共4页
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基金
广西高校百名中青年学科带头人资助计划项目
广西自然科学基金(桂科自0481028)项目资助
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文摘
考虑静电力边缘效应的影响,建立了微悬臂梁的静态变形分析模型,通过梁弯曲理论将控制方程化为一阶非线性微分方程组,结合打靶法和迭代修正齐次扩容精细积分法提出了一种分析微悬臂梁变形的半解析、半数值算法,同时,采用增量迭代保证了求解的收敛性。数值算例表明,本文所提出的方法具有较高的精度和稳定性,是分析微悬臂梁变形的一种有效方法。
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关键词
微悬臂梁
打靶法
迭代修正齐次扩容精细积分法
增量迭代
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Keywords
micro-cantilever
shooting method
iterative refinement extended homogeneous capacity integration method
incremental iterative
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分类号
TP211
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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