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混合分段算法计算涡轮分子泵的压缩比
被引量：
4
1
作者
孙浩
孙浩林
+2 位作者
李博
马兆俊
王晓冬
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第8期663-666,共4页
为了进一步完善分子泵在整个流态区域内抽气性能的计算,本文分别对主要用于描述连续流体运动问题的连续流态方程法和主要用于描述分子流态问题的特征系数法进行了评价,两种方法在计算涡轮分子泵压缩比时有各自的适用范围。为了提高涡轮...
为了进一步完善分子泵在整个流态区域内抽气性能的计算,本文分别对主要用于描述连续流体运动问题的连续流态方程法和主要用于描述分子流态问题的特征系数法进行了评价,两种方法在计算涡轮分子泵压缩比时有各自的适用范围。为了提高涡轮分子泵在过渡流态下压缩比的计算精度,本文在比较两种方法的计算精度和适用范围的基础上提出了混合分段算法。通过与实验值的对比,发现通过混合分段算法得到的最大压缩比与实验值的最大误差为10.5%,相对于连续流态方程法和特征系数法分别减小了34.0%和44.7%,证实了混合分段算法的适用性。该方法可以分析整个流态区域内涡轮分子泵的抽气性能,为分子泵压缩比的全流域计算提供参考。
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关键词
涡轮分子泵
抽气特性
连续流态方程法
特征系数
法
混合分段算
法
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职称材料
题名
混合分段算法计算涡轮分子泵的压缩比
被引量：
4
1
作者
孙浩
孙浩林
李博
马兆俊
王晓冬
机构
东北大学机械工程与自动化学院
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第8期663-666,共4页
文摘
为了进一步完善分子泵在整个流态区域内抽气性能的计算,本文分别对主要用于描述连续流体运动问题的连续流态方程法和主要用于描述分子流态问题的特征系数法进行了评价,两种方法在计算涡轮分子泵压缩比时有各自的适用范围。为了提高涡轮分子泵在过渡流态下压缩比的计算精度,本文在比较两种方法的计算精度和适用范围的基础上提出了混合分段算法。通过与实验值的对比,发现通过混合分段算法得到的最大压缩比与实验值的最大误差为10.5%,相对于连续流态方程法和特征系数法分别减小了34.0%和44.7%,证实了混合分段算法的适用性。该方法可以分析整个流态区域内涡轮分子泵的抽气性能,为分子泵压缩比的全流域计算提供参考。
关键词
涡轮分子泵
抽气特性
连续流态方程法
特征系数
法
混合分段算
法
Keywords
Turbomolecular pump
Pumping characteristics
Continuous flow equation method
Characteristic coefficient method
Hybrid Segmentation Algorithm
分类号
TB752.27 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
混合分段算法计算涡轮分子泵的压缩比
孙浩
孙浩林
李博
马兆俊
王晓冬
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
4
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