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连续型衍射透镜激光直写技术研究
被引量：
1
1
作者
刘宏开
罗崇泰
+2 位作者
王多书
陈焘
叶自煜
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2006年第z2期53-56,共4页
研究了不同于台阶形式的具有连续浮雕结构的衍射聚光透镜的激光直写工艺。简要描述了光致抗蚀剂的曝光和显影,对激光直写工艺的机理和工艺过程进行阐述.利用 CLWS-300W/C 极坐标激光直写设备制作出了具有良好面形微结构和较高衍射效率...
研究了不同于台阶形式的具有连续浮雕结构的衍射聚光透镜的激光直写工艺。简要描述了光致抗蚀剂的曝光和显影,对激光直写工艺的机理和工艺过程进行阐述.利用 CLWS-300W/C 极坐标激光直写设备制作出了具有良好面形微结构和较高衍射效率的连续型衍射透镜。研究表明,激光直写技术直写精度高,加工工艺灵活,利用计算机的控制,能够根据光学设计产生的浮雕分布数据制作复杂的、任意形状和外形的微型浮雕结构,非常适合于高精度微光学元件的加工制作.
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关键词
连续型衍射透镜
光致抗蚀剂
激光直写
连续型
浮雕结构
微光学元件
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职称材料
题名
连续型衍射透镜激光直写技术研究
被引量：
1
1
作者
刘宏开
罗崇泰
王多书
陈焘
叶自煜
机构
兰州物理研究所表面工程国家级重点实验室
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2006年第z2期53-56,共4页
文摘
研究了不同于台阶形式的具有连续浮雕结构的衍射聚光透镜的激光直写工艺。简要描述了光致抗蚀剂的曝光和显影,对激光直写工艺的机理和工艺过程进行阐述.利用 CLWS-300W/C 极坐标激光直写设备制作出了具有良好面形微结构和较高衍射效率的连续型衍射透镜。研究表明,激光直写技术直写精度高,加工工艺灵活,利用计算机的控制,能够根据光学设计产生的浮雕分布数据制作复杂的、任意形状和外形的微型浮雕结构,非常适合于高精度微光学元件的加工制作.
关键词
连续型衍射透镜
光致抗蚀剂
激光直写
连续型
浮雕结构
微光学元件
Keywords
Continual diffractive lens
Photoresist
Laser direct writing
Continual relief
Micro-optical elements
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
O436.1 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
连续型衍射透镜激光直写技术研究
刘宏开
罗崇泰
王多书
陈焘
叶自煜
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2006
1
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职称材料
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参考文献
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