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射频等离子体离子能量分布特性研究
1
作者
邢海龙
金伟
+6 位作者
梁传辉
代波
任勇
毛新春
王东平
王小英
陈长安
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第4期598-602,共5页
利用质谱仪对不同进气速率下的氩气、氮气及氮-氘混合三种射频感应耦合等离子体的离子能量分布、离子浓度演化进行了研究。实验结果表明,等离子体的离子能量分布呈多峰结构;在功率一定时,纯氩气及氮气离子的峰值能量随进气速率增加向低...
利用质谱仪对不同进气速率下的氩气、氮气及氮-氘混合三种射频感应耦合等离子体的离子能量分布、离子浓度演化进行了研究。实验结果表明,等离子体的离子能量分布呈多峰结构;在功率一定时,纯氩气及氮气离子的峰值能量随进气速率增加向低能端移动,且离子通量密度逐渐降低;而氮-氘混合等离子体生成的氨系离子ND_(4)^(+),峰值离子能量随氘气进气速率先降低后上升,通量密度先增大后降低。
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关键词
感应耦合等离子体
离子能量分布
进气速率
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职称材料
题名
射频等离子体离子能量分布特性研究
1
作者
邢海龙
金伟
梁传辉
代波
任勇
毛新春
王东平
王小英
陈长安
机构
西南科技大学
中国工程物理研究院材料研究所
出处
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第4期598-602,共5页
基金
国家自然科学基金(11775194)
国家磁约束核聚变能发展研究专项(2015GB109001)。
文摘
利用质谱仪对不同进气速率下的氩气、氮气及氮-氘混合三种射频感应耦合等离子体的离子能量分布、离子浓度演化进行了研究。实验结果表明,等离子体的离子能量分布呈多峰结构;在功率一定时,纯氩气及氮气离子的峰值能量随进气速率增加向低能端移动,且离子通量密度逐渐降低;而氮-氘混合等离子体生成的氨系离子ND_(4)^(+),峰值离子能量随氘气进气速率先降低后上升,通量密度先增大后降低。
关键词
感应耦合等离子体
离子能量分布
进气速率
Keywords
Inductively coupled plasma
Ion energy distribution
Gas flow rate
分类号
O536 [理学—等离子体物理]
TL65 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
射频等离子体离子能量分布特性研究
邢海龙
金伟
梁传辉
代波
任勇
毛新春
王东平
王小英
陈长安
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
2021
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