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微光电子的重要技术──近场扫描光学显微技术
1
《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 1995年第3期60-61,共2页
微光电子的重要技术──近场扫描光学显微技术近场扫描光学显微技术（ｎｅａｒ—ｆｉｅｌｄｓｃａｎｎｉｎｇｏｐｔｉｃａｌｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ，ＮＳＯＭ）是由美国ＡＴ＆ＴＢｅｌｌ实验室从九十年代开发，用于在数微米面积内工作的... 微光电子的重要技术──近场扫描光学显微技术近场扫描光学显微技术（ｎｅａｒ—ｆｉｅｌｄｓｃａｎｎｉｎｇｏｐｔｉｃａｌｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ，ＮＳＯＭ）是由美国ＡＴ＆ＴＢｅｌｌ实验室从九十年代开发，用于在数微米面积内工作的一种新型光学观察技术。在此之前，光... 展开更多
关键词 近场 扫描 光学显微术 微光电子
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采用显微计算机断层扫描技术透视无损检测寄生蜂生物学特性 被引量：1
2
作者 宋子健 周淑香 +2 位作者 张峰 史树森 张金平 《昆虫学报》 北大核心 2025年第6期807-815,共9页
【目的】显微计算机断层扫描技术(micro-computed tomography,Micro-CT)是一种针对小型样品的高分辨率3D成像技术,在生物学研究中展现出惊人的潜力,尤其是小型昆虫的细微结构和功能解析方面。然而,该技术在昆虫学研究中尚未得到广泛应... 【目的】显微计算机断层扫描技术(micro-computed tomography,Micro-CT)是一种针对小型样品的高分辨率3D成像技术,在生物学研究中展现出惊人的潜力,尤其是小型昆虫的细微结构和功能解析方面。然而,该技术在昆虫学研究中尚未得到广泛应用。本研究从不同角度展现了Micro-CT在寄生蜂生物学研究中的应用价值,填补该领域在国内的研究空白。【方法】采用Micro-CT,针对6种不同情况下的寄生蜂样品在各种设置下进行扫描观察与分析。利用液氮瞬时冷冻正在寄生茶翅蝽Halyomorpha halys卵的茶翅蝽沟卵蜂Trissolcus japonicus成蜂,并对瞬时冷冻样品进行扫描,观察茶翅蝽沟卵蜂产卵器刺入茶翅蜂卵壳的位置。将3日龄日本平腹小蜂Anastatus japonicus雌成蜂脱水、固定后进行扫描,解析其腹部生殖系统和消化系统的结构。将茶翅蝽卵内发育18,37,54,80和168 h的黄足沟卵蜂Trissolcus cultratus胚胎置于-80℃超低温冰箱中冷冻2 min后进行扫描,监测其在寄主内的不同发育时间的形态特征。随机选取已被螟黄赤眼蜂Trichogramma chilonis寄生且在室温下发育5 d的柞蚕Antherea pernyi卵,置于-20℃冰箱中6个月后进行扫描。扫描在茶翅蝽卵内发育7 d的黄足卵跳小蜂Ooencyrtus utetheisae,检测其中聚寄生蜂的数量及存活情况。随机选取8粒在茶翅蝽卵内发育至成虫的茶翅蝽沟卵蜂进行扫描鉴定性别。【结果】在寄主卵壳截面观察到茶翅蝽沟卵蜂穿刺茶翅蝽卵90 s时成蜂产卵器只穿过茶翅蜂卵壳最外层,尚未穿透卵壳内层。日本平腹小蜂的外生殖器位于腹部最下方,由产卵器、内瓣和外瓣构成,上瓣膜被几丁质隔膜分割;其消化系统主要包括嗉囊、前胃、中肠、马氏管、回肠、直肠、肛门,消化道呈现球状或袋状。黄足沟卵蜂在茶翅蝽卵内发育18 h后仍处于卵期;37 h后发育为幼虫;持续到54 h仍为幼虫,此时寄生蜂体积占寄主卵总体积的9.32%;在80 h时,黄足沟卵蜂发育至预蛹期,寄生蜂体积占寄主卵总体积的73.76%;经过168 h的发育,黄足沟卵蜂进入蛹期,此时其总体积占寄主总体积的百分比缩小至58.64%。黄足卵跳小蜂在茶翅蝽卵内发育7 d后处于预蛹阶段,单粒寄主卵含有5头蜂,处于存活状态。扫描被螟黄赤眼蜂寄生的柞蚕卵发现寄主卵中含有31头已发育至蛹期的螟黄赤眼蜂,且均已死亡多日。通过Micro-CT可清晰辨别茶翅蝽沟卵蜂成蜂触角为膝状,雌成蜂触角鞭节末端5节均膨大,而雄成蜂的触角鞭节无膨大特征。【结论】Micro-CT具有极高的分辨率和成像对比度,本研究从多个角度证实了该技术在寄生蜂研究中的可行性和实用性,为研究昆虫形态学和生物学特性提供了新的技术支撑。 展开更多
关键词 显微计算机断层扫描技术 多维度内窥图像 卵寄生蜂 形态特征 生物学特性
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近场扫描光学显微镜及其探针技术研究新进展 被引量：2
3
作者 项仕标 张天浩 +4 位作者 苏玉玲 项顼 吴朝晖 田臻锋 张春平 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第1期119-124,共6页
对近场扫描光学显微技术 (NSOM)研究与应用新进展作了概括介绍 ,较详细地阐述了NSOM的关键部件———探针技术的发展 ,并对NSOM的前景作了展望。
关键词 近场扫描光学显微镜 近场扫描光学显微技术 光纤探针 无孔探针 分辨率
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近场扫描光学显微图象与光谱技术 被引量：1
4
作者 梅二文 顾文芳 《分析科学学报》 CAS CSCD 1999年第1期79-86,共8页
本文就近场扫描光学显微图象及光谱这一新技术的原理、主要仪器装置及其在分析化学中的应用进行了评述。目前，这一技术已被应用于室温及大气环境中的单分子检测，显示了该技术在微区痕量分析中广阔的应用前景。
关键词 近场扫描 光学显微技术 单分子检测 微区分析
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扫描近场光学显微技术在半导体材料表征领域应用的研究进展 被引量：1
5
作者 陈芳 魏志鹏 +6 位作者 刘国军 唐吉龙 房丹 方铉 高娴 赵海峰 王双鹏 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第23期28-33,共6页
半导体材料及其光电器件如激光器、探测器以及高速微波器件有着广阔的应用前景。半导体材料的结构和缺陷特性对器件性能起着至关重要的影响,然而对材料进行纳米尺度下的检测、表征无论是理论上还是技术和设备上都需要深入研究和发展,因... 半导体材料及其光电器件如激光器、探测器以及高速微波器件有着广阔的应用前景。半导体材料的结构和缺陷特性对器件性能起着至关重要的影响,然而对材料进行纳米尺度下的检测、表征无论是理论上还是技术和设备上都需要深入研究和发展,因此扫描近场光学显微技术在半导体材料表征领域有着无可替代的地位。扫描近场光学显微技术突破了传统光学显微技术的衍射分辨率极限的限制,具有超高空间分辨率、超高探测灵敏度等特点,并且是一种非接触性探测,具有无损伤性。简要介绍了扫描近场光学显微镜的原理及在半导体材料研究中的应用,包括量子阱结构中的位错及缺陷的表征,半导体器件的表面复合速率及扩散长度的纳米表征,以及半导体薄膜中的缺陷分布的检测。探讨了目前相关研究领域存在的主要问题,并对其发展趋势和前景进行了展望。 展开更多
关键词 扫描近场光学显微技术 半导体材料 超高空间高分辨率
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近场光学显微技术的进展及其应用 被引量：2
6
作者 方哲宇 刘丹 +2 位作者 王笑 黄姗 朱星 《电子显微学报》 CAS CSCD 2008年第1期77-86,共10页
近场光学显微技术突破传统光学衍射极限获得了纳米尺度的空间分辨率,并在近场光存储、半导体材料、生命科学等交叉学科领域发挥了巨大的作用。本文综述了近场光学显微技术的发展现状,讨论了基于近场光学原理的超分辨近场结构在现代光刻... 近场光学显微技术突破传统光学衍射极限获得了纳米尺度的空间分辨率,并在近场光存储、半导体材料、生命科学等交叉学科领域发挥了巨大的作用。本文综述了近场光学显微技术的发展现状,讨论了基于近场光学原理的超分辨近场结构在现代光刻技术上的应用、表面等离激元的共振增强作用和束流作用在近场光学领域的进展以及表面增强拉曼散射机理的研究,并介绍了近场光学显微技术在单分子检测和细胞探测等其它生命科学领域的一些发展。 展开更多
关键词 扫描近场光学显微术 超高分辨近场结构 表面等离激元 表面增强拉曼散射 表面等离子晶体 全内反射 荧光显微术
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扫描近场光学显微术对InGaP微盘发光模式的研究 被引量：1
7
作者 张宇 辛永春 +5 位作者 朱星 凌勇 尹彦 周赫田 章蓓 甘子钊 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第3期219-224,共6页
采用反射式扫描近场光学显微技术分别对直径为５μｍ和１０μｍ的图钉式ＩｎＧａＰ光学微盘进行了形貌和光致发光的近场图样测量和研究，并与由常规光学荧光显微镜测得的荧光图象相比较．结果表明ＩｎＧａＰ微盘的近场发光图样不仅反映... 采用反射式扫描近场光学显微技术分别对直径为５μｍ和１０μｍ的图钉式ＩｎＧａＰ光学微盘进行了形貌和光致发光的近场图样测量和研究，并与由常规光学荧光显微镜测得的荧光图象相比较．结果表明ＩｎＧａＰ微盘的近场发光图样不仅反映出荧光图象的回音壁模式特征，即沿微盘周界显示为一圈红色亮环，而且证实荧光图像中的红色亮环实际上与更精细的由分立的周期性亮点组成的近场光场分布相对应．结合微盘内部与外部的近场分布可以获得光学微盘中发光模式的重要信息． 展开更多
关键词 扫描近场光学 显微技术 微盘型 铟镓磷 发光模式
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近场光学显微技术 被引量：6
8
作者 王海潼 刘斐 《应用光学》 CAS CSCD 2005年第3期36-40,共5页
　本文在介绍近场光学显微镜原理的基础上,对近场光学显微技术进行了一定深度的探讨,并着重研究了纳米级探针的制作和纳米级样品与探针间距的控制这两个近场光学显微技术中的关键问题,说明了近场光学显微探针的工作方式,阐述了近场光学... 　本文在介绍近场光学显微镜原理的基础上,对近场光学显微技术进行了一定深度的探讨,并着重研究了纳米级探针的制作和纳米级样品与探针间距的控制这两个近场光学显微技术中的关键问题,说明了近场光学显微探针的工作方式,阐述了近场光学成像的衬度类型,介绍了近场光学显微技术在多个领域的应用。在参考大量国内外最新研究成果的基础上,提出了一些个人的见解。 展开更多
关键词 近场光学显微技术 探针 样品-探针间距
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溶液环境中工作的扫描近场光学／荧光光谱显微术 被引量：2
9
作者 商广义 朱传凤 +7 位作者 王琛 万立骏 白春礼 Lei F H M Troyon H Morjani J F Angiboust M Manfait 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第5期433-437,共5页
我们采用双压电陶瓷片发展了一种切变力非光学检测探针-样品间距控制方法。基于这种方法,研制成能与倒置光学显微镜联合使用的扫描近场光学 荧光光谱显微系统,实现了在溶液环境中探针-样品间距的可靠控制和成像,获得了人体乳腺癌细胞内... 我们采用双压电陶瓷片发展了一种切变力非光学检测探针-样品间距控制方法。基于这种方法,研制成能与倒置光学显微镜联合使用的扫描近场光学 荧光光谱显微系统,实现了在溶液环境中探针-样品间距的可靠控制和成像,获得了人体乳腺癌细胞内的近场荧光光谱。本文简要介绍该系统的工作原理以及利用该系统得到的实验结果。 展开更多
关键词 扫描近场光学显微术 切变力检测 荧光光谱
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近场扫描光学显微镜和近场光谱学的进展 被引量：3
10
作者 李碧波 张树霖 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1997年第4期25-32,共8页
在简要评介近场扫描光学显微镜的工作原理和有关技术问题的基础上，着重介绍了近场光谱学的最新发展，并讨论了对近场光谱结果的分析问题。
关键词 近场光谱学 近场扫描 光学显微镜 显微光谱学
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散射式扫描近场光学显微系统的研制及应用测试 被引量：1
11
作者 陈楠 王玥 +1 位作者 刘涛 夏洋 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第11期195-203,共9页
基于扫描探针技术设计搭建了一套散射式扫描近场光学显微系统。基于搭建的系统结构和近场信号探测原理,理论分析和实验讨论了不同因素的干扰、解调阶次、聚焦光斑等因素对近场光学信号提取的影响。为进一步验证装置性能,对纳米金颗粒和... 基于扫描探针技术设计搭建了一套散射式扫描近场光学显微系统。基于搭建的系统结构和近场信号探测原理,理论分析和实验讨论了不同因素的干扰、解调阶次、聚焦光斑等因素对近场光学信号提取的影响。为进一步验证装置性能,对纳米金颗粒和机械剥离的六方氮化硼样品进行了测试。结果表明,所搭建的装置实现了10 nm的空间分辨率,可以清晰地观察到六方氮化硼表面声子极化激元在传播-反射过程中形成的驻波现象,展示了该技术在低维纳米材料光学表征中应用的巨大应用潜力。 展开更多
关键词 散射式扫描近场光学显微镜 扫描探针技术 近场光学 衍射极限 超分辨
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基于源偶极子的扫描近场光学显微镜的数值模拟 被引量：1
12
作者 吴昌林 王长 曹俊诚 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第5期643-651,共9页
红外和太赫兹范围内的扫描近场光学显微镜能够突破衍射极限,实现更小的空间分辨率,在纳米尺度结构的光学特性分析检测方面具有重要应用。为了进一步理解探针与样品的相互作用,对探针近场的分析和数值描述是必不可少的。基于真实的探针... 红外和太赫兹范围内的扫描近场光学显微镜能够突破衍射极限,实现更小的空间分辨率,在纳米尺度结构的光学特性分析检测方面具有重要应用。为了进一步理解探针与样品的相互作用,对探针近场的分析和数值描述是必不可少的。基于真实的探针形状的解析模型,结合数值模拟的开发了源偶极子模型(SDM),能够直接获得近场检测信息,提高计算效率。基于模拟结果,解释了天线效应、尖端半径影响和电荷量的影响,并将SDM模型结果与全波仿真(FWS)结果进行了比较。为进一步理解近场光学显微镜中的针尖-样品结提供了新的视角。 展开更多
关键词 太赫兹 近场显微技术 数值模拟 偶极模型 光学性质
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制备扫描近场光学显微镜光纤探针的自动化腐蚀方法
13
作者 杨永斌 徐文东 罗继全 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期1962-1966,共5页
提出了一种制备扫描近场光学显微镜光纤探针的自动化腐蚀方案.该方案利用静态腐蚀过程中光纤所形成的特殊结构,及动态腐蚀过程中光纤在氢氟酸中的移动所带来的新月形弯液面在光纤表面接触位置的变化,通过合理控制腐蚀时间来制备尖端锐... 提出了一种制备扫描近场光学显微镜光纤探针的自动化腐蚀方案.该方案利用静态腐蚀过程中光纤所形成的特殊结构,及动态腐蚀过程中光纤在氢氟酸中的移动所带来的新月形弯液面在光纤表面接触位置的变化,通过合理控制腐蚀时间来制备尖端锐利、大锥角或多锥体角等各种结构的探针.设计方案采用计算机控制整个装置实现了探针制备过程的自动化,保持了腐蚀光纤探针实验条件的一致性.实验结果表明,采用此方案可以制备出尖端孔径小于100nm且锥体角高达70°的光纤探针,且重复性高.此外,该方案的装置结构简单,实现容易. 展开更多
关键词 扫描探针技术 扫描近场光学显微镜 光纤探针 化学腐蚀法
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高分辨力光学微扫描显微热成像系统设计与实现 被引量：15
14
作者 高美静 金伟其 +2 位作者 王霞 徐超 陈翼男 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期1037-1041,共5页
为提高已研制的基于非制冷焦平面探测器的显微热成像系统的空间分辨力,研究提出了一种基于光学平板旋转微扫描器的高分辨力显微热成像系统。分析了光学平板旋转微扫描的工作原理,给出了微扫描器相关的参数设计、加工容差,并与现有的非... 为提高已研制的基于非制冷焦平面探测器的显微热成像系统的空间分辨力,研究提出了一种基于光学平板旋转微扫描器的高分辨力显微热成像系统。分析了光学平板旋转微扫描的工作原理,给出了微扫描器相关的参数设计、加工容差,并与现有的非制冷显微热成像系统实现了一体化设计与加工,确定了光学微扫描显微热成像系统的技术指标。利用该系统实际采集的显微热图像与过采样处理结果表明系统整体设计的有效性,系统空间分辨力得到提高,可应用于高分辨力显微热分析。 展开更多
关键词 显微热成像系统 光学平板旋转微扫描 高分辨力 过采样重构
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共焦扫描显微成象的光学断层平面分辨率与信噪比之间的关系 被引量：7
15
作者 高万荣 陶纯堪 杨晓春 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期730-735,共6页
在 Fried的一维分辨度理论的基础上 ,系统地讨论了光学成象系统两维分辨率与信噪比之间的定量关系 ,并以反射式共焦显微成象为例 ,建立了实际显微成象系统分辨率的定量计算方法 .
关键词 分辨率 信噪比 显微成像 光学成像系统 共焦扫描显微成像 光学断层平面
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电子器件无损检测光学微扫描显微热成像系统 被引量：4
16
作者 高美静 范祥瑞 +1 位作者 顾海华 吴伟龙 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2013年第7期779-784,共6页
为了给半导体器件、印刷电路板和功率器件等电子器件提供细微热分析的手段,完成电子电路的故障检测、失效分析和可靠性检测等,本文基于非制冷焦平面探测器设计了一种新型的光学微扫描显微热像仪。介绍了系统的工作原理、系统构成、工作... 为了给半导体器件、印刷电路板和功率器件等电子器件提供细微热分析的手段,完成电子电路的故障检测、失效分析和可靠性检测等,本文基于非制冷焦平面探测器设计了一种新型的光学微扫描显微热像仪。介绍了系统的工作原理、系统构成、工作过程,研究推导了系统噪声等效温差(NETD)和噪声等效辐射率差(NEED)模型,为系统的设计提供了理论指导,基于Matlab完成了整个系统的图像采集处理界面设计。实际图像采集和处理结果表明了本系统设计的合理性。随着产品化,本系统将会用到其他需要显微热分析的场合,具有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 光学工程 光学微扫描显微热像仪 噪声等效温差 噪声等效辐射率差 电子器件 故障检测
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扫描近场声显微镜用于光盘表面薄膜结构的研究 被引量：2
17
作者 徐平 蔡微 +2 位作者 余威 钱建强 姚骏恩 《电子显微学报》 CAS CSCD 2006年第4期313-315,共3页
介绍了一种将超声检测技术与扫描探针显微技术相结合的扫描近场声显微镜(SNAM),并利用该装置对CD-R光盘表面薄膜进行了检测,得到了其平整印刷面的SNAM图像,与原子力显微镜(AFM)测得的凹槽数据面形貌吻合。文中介绍了这种SNAM的结构、基... 介绍了一种将超声检测技术与扫描探针显微技术相结合的扫描近场声显微镜(SNAM),并利用该装置对CD-R光盘表面薄膜进行了检测,得到了其平整印刷面的SNAM图像,与原子力显微镜(AFM)测得的凹槽数据面形貌吻合。文中介绍了这种SNAM的结构、基本工作原理和检测方法,并给出了具体的实验结果。 展开更多
关键词 超声检测技术 扫描探针显微技术 扫描近场声显微镜 CD—R光盘膜
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近场光学与近场光学显微镜 被引量：26
18
作者 朱星 《北京大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 1997年第3期394-407,共14页
近场光学是研究距离物体表面一个波长以内的光学现象的新型交叉学科。基于非辐射场的探测与成像原理，近场光学显微镜突破常规光学显微镜所受到的衍射极限，在超高光学分辨率下进行纳米尺度光学成像与纳米尺度光谱研究。本文将讨论近场... 近场光学是研究距离物体表面一个波长以内的光学现象的新型交叉学科。基于非辐射场的探测与成像原理，近场光学显微镜突破常规光学显微镜所受到的衍射极限，在超高光学分辨率下进行纳米尺度光学成像与纳米尺度光谱研究。本文将讨论近场光学的基本原理，非辐射场的探测与高分辨率的关系；光学限阈及隐失场在近场光学中的重要性；以及近场信息的获取方法。对近场光学显微镜的主要类型及相应的仪器发展，分辨率，衬度原理做一综述。同时简要介绍近场光学显微镜在超高分辨率光学成像，近场局域光谱，高密度数据存储，在生命科学，单分子光谱。 展开更多
关键词 近场光学 近场光学显微镜 扫描探针显微学
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近场光学显微术在生物大分子探测与功能研究中的应用 被引量：1
19
作者 吴扬哲 蔡继业 +1 位作者 陈勇 汪晨熙 《生理科学进展》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期282-285,共4页
近场光学显微术是唯一一种具有单分子探测灵敏度,且在对生物样品研究时无损伤的一门新兴的高分辨光学显微术,它是根据近场光学理论在扫描探针显微术的基础上发展起来的。它突破了传统光学显微术衍射极限的限制,可在不损伤样品的情况下... 近场光学显微术是唯一一种具有单分子探测灵敏度,且在对生物样品研究时无损伤的一门新兴的高分辨光学显微术,它是根据近场光学理论在扫描探针显微术的基础上发展起来的。它突破了传统光学显微术衍射极限的限制,可在不损伤样品的情况下同时获得其形貌像和光学像,故在探测单个生物分子并研究其结构和功能以及分子间的相互作用等方面具有显著优势。本文主要介绍近几年来近场光学显微术在生物分子探测和功能研究,以及在分子生物学研究中的应用与进展。 展开更多
关键词 单分子探测 分子生物学 扫描近场光学显微镜 近场光学显微术
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光学微扫描显微热成像系统超分辨力图像处理方法研究 被引量：1
20
作者 高美静 芦鑫 张春晓 《燕山大学学报》 CAS 2011年第1期69-73,共5页
为提高已研制光学微扫描显微热成像系统的空间分辨力,基于改进的频域图像配准技术和凸集投影超分辨力算法,提出了显微热成像系统光学微扫描超分辨力图像处理方法。给出了该方法的原理及步骤,采用不同重构方法行了仿真研究,给出了评价参... 为提高已研制光学微扫描显微热成像系统的空间分辨力,基于改进的频域图像配准技术和凸集投影超分辨力算法,提出了显微热成像系统光学微扫描超分辨力图像处理方法。给出了该方法的原理及步骤,采用不同重构方法行了仿真研究,给出了评价参数和结论。利用光学微扫描显微热成像系统采集低分辨力显微热图像序列进行了超分辨力处理实验,实验结果表明本文提出方法的有效性,光学微扫描显微热成像系统的空间分辨力得到提高从而可满足需要高分辨力显微热分析的场合。该方法还可以应用于其它不可控光学微扫描成像系统中,具有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 成像系统 显微热成像 超分辨力 光学微扫描 图像配准
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