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题名基于两步相移干涉的微表面形貌检测系统
被引量：3
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作者
蔡怀宇
李光耀
黄战华
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机构
天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术教育部重点实验室(天津大学)
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出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第1期20-24,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(61275009)
高等学校博士点基金资助项目(20110032120059)
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文摘
为了精确稳定地测量物体微表面形貌,设计了一种基于改进迈克尔逊结构的空间两步相移干涉系统。该系统在泰曼-格林偏振干涉仪的基础之上,使用改进的迈克尔逊结构实现分光,采用偏振方向分别为0°和45°的两偏振片作为相移器件,在单个CCD相机中同时记录两幅具有90°相移的干涉图像,然后由离散希尔伯特变换法提取相位,获取物体表面形貌信息。搭建了两步相移干涉光路,并通过对玻璃平板表面的检测,验证了该系统的可行性。结果表明,在实验室环境下系统重复测量结果的均方根误差小于0.02λ,在实际微表面测量中具有良好的稳定性。
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关键词
测量与计量
空间相移干涉
迈克尔逊结构
希尔伯特变换
测量重复性
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Keywords
measurement and metrology
spatial phase-shifting interference
Michelson architecture
Hilbert transform
testing repeatability
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分类号
TN247
[电子电信—物理电子学]
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