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题名高精度电容式MEMS加速度计系统设计
被引量：3
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作者
李宗伟
杨燕
熊兴崟
丛宁
辛维
韩可都
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机构
中国科学院地质与地球物理研究所中国科学院油气资源研究重点实验室
中国科学院大学
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
2017年第6期98-101,104,共5页
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文摘
在传统Σ-Δ架构基础上,引入了低精度高速模/数转换器(ADC),将前置放大器输出的模拟电压信号转换为数字信号,有利于简化电容式微电子机械系统(MEMS)加速度计系统模拟接口电路设计。在嵌入ADC的MEMS加速度系统中,采用过采样平均数字算法对信号进行估计,有效降低系统对前置放大器噪声性能的需求,利于实现低功耗和高精度的设计目标。仿真结果表明:与未采用过采样平均技术相比,当前置放大器输出等效噪声大于1μV/Hz^(1/2)时,系统的信噪比(SNR)提高了约10 dB。
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关键词
微电子机械系统
Σ-Δ
模/数转换器
数字环路滤波器
过采样平均
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Keywords
MEMS
Σ-Δ
ADC
digital loop filter
over sampling average
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TN432
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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