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磁过滤直流真空阴极弧制备含铬类金刚石膜的结构及其性能研究被引量：1: 1; 作者祝土富沈丽如 +1 位作者徐桂东金凡亚《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期74-79,共6页; 采用磁过滤直流真空阴极弧沉积技术在单晶硅片、载玻片、不锈钢片基体上制备了含铬类金刚石(Cr-DLC)膜。用光学显微镜、椭偏仪、分光光度计、X射线光电子能谱(XPS)、X射线衍射能谱(XRD)、Raman光谱、纳米硬度计、摩擦磨损仪、洛氏硬度... 展开更多; 关键词磁过滤真空阴极弧含铬DLC膜; 在线阅读下载PDF 职称材料

Al_2O_3/DLC复合膜摩擦磨损性能的研究被引量：7: 2; 作者吴晓玲李夕金 +4 位作者薛文斌侯兴刚张旭程国安刘安东《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期754-758,共5页; 为了提高铝合金零部件的摩擦磨损性能,采用微弧氧化和磁过滤阴极真空弧技术,在其表面制备了Al2O3/DLC复合膜.用X射线衍射分析(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)以及摩擦试验对复合膜的化学成分、结构、表... 展开更多; 关键词铝合金 Al2O3/DLC复合膜微弧氧化磁过滤阴极真空弧摩擦磨损性能; 在线阅读下载PDF 职称材料

激光加速实验超薄类金刚石碳靶的制备被引量：7: 3; 作者祝娇符合振 +6 位作者林晨高原赵栓朱昆陆元荣陈佳洱颜学庆《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期1723-1726,共4页; 采用过滤阴极真空弧法,制备了满足激光稳相加速机制要求的超薄自支撑类金刚石碳靶。室温下沉积,基片偏压为-32V,薄膜沉积速率约为每脉冲0.002nm。选取NaCl膜作脱膜剂,采用漂浮法进行脱膜。打捞板孔径为1mm时,自支撑厚度范围为5～50nm,... 展开更多; 关键词过滤阴极真空弧激光稳相加速自支撑类金刚石膜; 在线阅读下载PDF 职称材料

物理气相沉积法制备的CrN涂层的摩擦学性能被引量：4: 4; 作者莫继良朱旻昊《西南交通大学学报》 EI CSCD 北大核心 2008年第2期280-284,共5页; 用CETR UMT-2摩擦磨损试验机对比磁过滤阴极真空弧源和多弧离子镀方法制备的CrN涂层在往复滑动条件下的摩擦磨损行为.用X射线衍射、显微硬度计、纳米压痕仪表征涂层的基本特性;用台阶仪、扫描电子显微镜和电子能谱对磨痕进行微观分析,... 展开更多; 关键词 CRN涂层物理气相沉积磁过滤阴极真空弧源多弧离子镀摩擦磨损; 在线阅读下载PDF 职称材料

FCVAD合成Ta-C(N)薄膜及其Raman和XPS分析被引量：3: 5; 作者王广甫张荟星《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期535-539,共5页; 掺N非晶金刚石Ta-C(N)薄膜是合成β-C3N4研究中出现的一种新型固体薄膜材料,近年来由于其优异的电化学性能受到越来越多的关注。我们用磁过滤阴极真空弧等离子体沉积(FCVAD)方法在不同N2分压下,在Si衬底上合成了Ta-C(N)薄膜。Raman和XP... 展开更多; 关键词磁过滤阴极真空弧沉积掺杂固体薄膜材料钽-碳薄膜氮原子 X射线分析 RAMAN光谱分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

类金刚石碳剥离膜的制备及其性能研究被引量：1: 6; 作者樊启文杜英辉 +1 位作者张榕夏清良《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期1509-1514,共6页; 采用磁过滤阴极真空弧（FCVA）技术制备了质量厚度为5～7μg/cm2的类金刚石碳（DLC）剥离膜。用XP2U型精密电子天平测试分析了100mm范围内的DLC剥离膜均匀性,结果显示其最大不均匀性小于10%。通过扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜... 展开更多; 关键词类金刚石碳剥离膜磁过滤阴极真空弧寿命结构; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名磁过滤直流真空阴极弧制备含铬类金刚石膜的结构及其性能研究被引量：1: 1; 作者祝土富沈丽如徐桂东金凡亚; 机构核工业西南物理研究院; 出处《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期74-79,共6页; 文摘采用磁过滤直流真空阴极弧沉积技术在单晶硅片、载玻片、不锈钢片基体上制备了含铬类金刚石(Cr-DLC)膜。用光学显微镜、椭偏仪、分光光度计、X射线光电子能谱(XPS)、X射线衍射能谱(XRD)、Raman光谱、纳米硬度计、摩擦磨损仪、洛氏硬度计检测了薄膜的组分结构、光学、力学等相关特性。结果表明,硅片上的薄膜厚度为47.6nm,碳含量为89%,sp3键占碳含量的55.15%。不锈钢片上的薄膜具有典型的DLC膜Raman光谱特征,在空气中的摩擦系数约为0.1,耐磨性能优良,膜与基体的结合性能良好。; 关键词磁过滤真空阴极弧含铬DLC膜; Keywords DC filtered cathodic vacuum arc Cr-DLC films; 分类号 TB43 [一般工业技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名Al_2O_3/DLC复合膜摩擦磨损性能的研究被引量：7: 2; 作者吴晓玲李夕金薛文斌侯兴刚张旭程国安刘安东; 机构北京师范大学射线束技术与材料改性教育部重点实验室北京师范大学材料科学与工程系; 出处《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期754-758,共5页; 基金北京市科学技术研究院萌芽计划资助项目; 文摘为了提高铝合金零部件的摩擦磨损性能,采用微弧氧化和磁过滤阴极真空弧技术,在其表面制备了Al2O3/DLC复合膜.用X射线衍射分析(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)以及摩擦试验对复合膜的化学成分、结构、表面形貌及其对铝合金摩擦磨损性能的影响进行了研究.结果表明,在铝合金表面形成了120μm厚的多孔Al2O3陶瓷膜,与基体结合紧密.外层0.1.μm厚的DLC不改变膜的表面形貌,但是降低摩擦因素,并且进一步提高膜的耐磨性.Al2O3/DLC复合膜为铝合金作为耐磨工件使用提供了很好的承载支持,并且使铝合金表面摩擦磨损性能大大提高.; 关键词铝合金 Al2O3/DLC复合膜微弧氧化磁过滤阴极真空弧摩擦磨损性能; Keywords aluminum alloy Duplex Al2O3/DLC coatings micro-arc oxidation filtered arc catholic vacuum arc system wear resistance; 分类号 TG174.45 [金属学及工艺—金属表面处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名激光加速实验超薄类金刚石碳靶的制备被引量：7: 3; 作者祝娇符合振林晨高原赵栓朱昆陆元荣陈佳洱颜学庆; 机构北京大学核物理与核技术国家重点实验室; 出处《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期1723-1726,共4页; 基金国家自然科学基金项目(413142792 413142718); 文摘采用过滤阴极真空弧法,制备了满足激光稳相加速机制要求的超薄自支撑类金刚石碳靶。室温下沉积,基片偏压为-32V,薄膜沉积速率约为每脉冲0.002nm。选取NaCl膜作脱膜剂,采用漂浮法进行脱膜。打捞板孔径为1mm时,自支撑厚度范围为5～50nm,自支撑成功率约为70%。利用拉曼光谱仪及原子力显微镜等仪器,测量了薄膜的结构、表面粗糙度等关键参数。; 关键词过滤阴极真空弧激光稳相加速自支撑类金刚石膜; Keywords filtered cathodic vacuum arc laser phase-stable acceleration self-supporting diamond-like-carbon film; 分类号 O484.5 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名物理气相沉积法制备的CrN涂层的摩擦学性能被引量：4: 4; 作者莫继良朱旻昊; 机构西南交通大学牵引动力国家重点实验室; 出处《西南交通大学学报》 EI CSCD 北大核心 2008年第2期280-284,共5页; 基金教育部新世纪优秀人才计划(NCET-04-0885) 四川省科技攻关计划(04CN032-009); 文摘用CETR UMT-2摩擦磨损试验机对比磁过滤阴极真空弧源和多弧离子镀方法制备的CrN涂层在往复滑动条件下的摩擦磨损行为.用X射线衍射、显微硬度计、纳米压痕仪表征涂层的基本特性;用台阶仪、扫描电子显微镜和电子能谱对磨痕进行微观分析,探讨不同结构CrN涂层的磨损失效机理.与多弧离子镀技术制备的CrN涂层相比,磁过滤阴极真空弧源技术制备的CrN涂层更光滑、致密和连续,有较高的硬度和较优越的耐磨性能.涂层微结构的差异是造成摩擦磨损性能差异的主要原因.2种CrN涂层的滑动磨损为磨粒磨损和氧化磨损共同作用的结果.; 关键词 CRN涂层物理气相沉积磁过滤阴极真空弧源多弧离子镀摩擦磨损; Keywords CrN coating physical vapor deposition FCVA MAIP friction and wear; 分类号 TH117.1 [机械工程—机械设计及理论] TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名FCVAD合成Ta-C(N)薄膜及其Raman和XPS分析被引量：3: 5; 作者王广甫张荟星; 机构北京师范大学分析测试中心北京师范大学低能核物理研究所; 出处《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期535-539,共5页; 基金国家"863"计划资助项目(863-715-008-0040); 文摘掺N非晶金刚石Ta-C(N)薄膜是合成β-C3N4研究中出现的一种新型固体薄膜材料,近年来由于其优异的电化学性能受到越来越多的关注。我们用磁过滤阴极真空弧等离子体沉积(FCVAD)方法在不同N2分压下,在Si衬底上合成了Ta-C(N)薄膜。Raman和XPS分析表明Ta-C:N薄膜中的N主要以C—N的方式与C结合。N2分压越大,N/C原子比越高,最高可达31.1%。但同时sp3键含量越低,并且合成Ta-C:N薄膜的速度越慢。; 关键词磁过滤阴极真空弧沉积掺杂固体薄膜材料钽-碳薄膜氮原子 X射线分析 RAMAN光谱分析; Keywords filtered cathodic vacuum arc deposition Ta-C( N) films; 分类号 O482.31 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名类金刚石碳剥离膜的制备及其性能研究被引量：1: 6; 作者樊启文杜英辉张榕夏清良; 机构中国原子能科学研究院核物理研究所; 出处《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期1509-1514,共6页; 基金国家自然科学基金资助项目(11205251); 文摘采用磁过滤阴极真空弧（FCVA）技术制备了质量厚度为5～7μg/cm2的类金刚石碳（DLC）剥离膜。用XP2U型精密电子天平测试分析了100mm范围内的DLC剥离膜均匀性,结果显示其最大不均匀性小于10%。通过扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）、万能摩擦磨损试验机和X光电子谱（XPS）测试分析了DLC剥离膜的表面形貌、耐磨损特性和结构,结果显示采用双90°FCVA技术沉积的DLC剥离膜表面光滑致密、耐磨,几乎没有大颗粒的污染,表征金刚石特性的sp3键含量超过70%。在北京HI-13串列加速器上使用107 Ag-、70 Ge-、48 Ti-、28Si-、197 Au-和127I-六种典型质量的离子束对质量厚度为5～7μg/cm2的DLC剥离膜和碳剥离膜寿命进行测试比较,结果显示DLC剥离膜寿命比碳剥离膜的高2.6～10倍。; 关键词类金刚石碳剥离膜磁过滤阴极真空弧寿命结构; Keywords diamond-like carbon stripper foil filtered cathodic vacuum arc lifetime structure; 分类号 O484.1 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	磁过滤直流真空阴极弧制备含铬类金刚石膜的结构及其性能研究	祝土富沈丽如徐桂东金凡亚	《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2009	1	在线阅读下载PDF 职称材料
2	Al_2O_3/DLC复合膜摩擦磨损性能的研究	吴晓玲李夕金薛文斌侯兴刚张旭程国安刘安东	《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心	2007	7	在线阅读下载PDF 职称材料
3	激光加速实验超薄类金刚石碳靶的制备	祝娇符合振林晨高原赵栓朱昆陆元荣陈佳洱颜学庆	《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心	2013	7	在线阅读下载PDF 职称材料
4	物理气相沉积法制备的CrN涂层的摩擦学性能	莫继良朱旻昊	《西南交通大学学报》 EI CSCD 北大核心	2008	4	在线阅读下载PDF 职称材料
5	FCVAD合成Ta-C(N)薄膜及其Raman和XPS分析	王广甫张荟星	《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2003	3	在线阅读下载PDF 职称材料
6	类金刚石碳剥离膜的制备及其性能研究	樊启文杜英辉张榕夏清良	《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心	2015	1	在线阅读下载PDF 职称材料