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过渡金属氮氧化物制备方法的研究进展 被引量：1
1
作者 汪广进 余意 +3 位作者 程凤 梁聪 徐甜 潘牧 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第9期27-31,共5页
综述了近10年来过渡金属氮氧化物的制备方法,主要包括溅射法(磁控溅射法和等离子体溅射法)、化学气相沉积法(等离子体增强化学气相沉积法、低压化学气相沉积法和催化化学气相沉积法)和化学合成法(氨解法、原位热解法和氮化物氧化法)三大... 综述了近10年来过渡金属氮氧化物的制备方法,主要包括溅射法(磁控溅射法和等离子体溅射法)、化学气相沉积法(等离子体增强化学气相沉积法、低压化学气相沉积法和催化化学气相沉积法)和化学合成法(氨解法、原位热解法和氮化物氧化法)三大类,并总结了常用的溅射法和化学气相沉积法合成技术参数。 展开更多
关键词 过渡金属氮氧化物 溅射法 化学气相沉积法 化学合成法
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