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题名过渡层结构对类石墨镀层结合强度的影响
被引量:3
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作者
施文彦
蒋百灵
李洪涛
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机构
南京工业大学材料科学与工程学院
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出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第1期41-48,共8页
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基金
国家自然科学基金(51401106)
江苏高校自然科学研究项目(12KJB430008)
江苏省自然科学基金(BK2013095)~~
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文摘
目的探究过渡层沉积时间和结构对类石墨镀层结合强度的影响规律。方法采用微弧离子镀技术,改变梯度层沉积时间,制备不同的类石墨镀层。利用扫描电子显微镜(SEM)分析镀层的微观形貌,利用截面能谱扫描分析镀层中梯度层结构变化。采用压痕法和划痕法对镀层与基体的结合强度进行评价。采用维氏硬度计测试镀层的显微硬度,并利用针盘式摩擦磨损试验机测定镀层的摩擦系数。结果随着梯度层沉积时间的延长,镀层与基体的结合强度呈先上升、后下降的变化趋势,在过渡层沉积时间为20 min时,结合强度最高,约为46 N。此外,随着过渡层沉积时间的延长,镀层摩擦系数逐渐下降,但显微硬度下降,承载能力减弱,摩擦磨损寿命下降。结论合理调控过渡层沉积时间有助于类石墨镀层结合强度的提升,镀层的摩擦磨损寿命随着过渡层时间的延长而呈现先上升、后下降的趋势,高结合强度使得膜基界面的结合寿命延长。
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关键词
磁控溅射
GLC镀层
结合强度
过渡层结构
划痕法
压痕法
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Keywords
magnetron sputtering
GLC films
bonding strength
transition layer structure
scratch test
Rockwell indentation
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分类号
TG174.444
[金属学及工艺—金属表面处理]
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