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计算开路器边缘电容的简单方法
被引量：
5
1
作者
梅子扬
年夫顺
《微波学报》
CSCD
北大核心
2003年第1期72-75,共4页
本文介绍了开路器数学模型的建立和定义。对开路器数学模型中的边缘电容和延迟的计算和描述进行了研究 ,重点介绍了一种计算开路器边缘电容的简单方法。最后以 3.
关键词
开路器
数学模型
边缘电容
矢量网络分析仪
计算方法
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职称材料
油气润滑ECT传感器的建模与边缘电容分析
被引量：
3
2
作者
孙启国
黄博凯
杜超
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第12期39-44,共6页
基于小管径油气润滑ECT系统中电容传感器的特点,建立其电容传感器的二维数学模型;分析相对介电常数对边缘电容的影响;定义边缘电容影响系数,并研究边缘电容影响系数与管道半径的关系。研究结果表明:管壁、油膜与气体的厚度比对边缘电容...
基于小管径油气润滑ECT系统中电容传感器的特点,建立其电容传感器的二维数学模型;分析相对介电常数对边缘电容的影响;定义边缘电容影响系数,并研究边缘电容影响系数与管道半径的关系。研究结果表明:管壁、油膜与气体的厚度比对边缘电容值有显著的影响,通过减小油膜厚度及管壁厚可以有效减小边缘电容;小管径的边缘电容影响系数超过0.5,随着管径增大,边缘电容影响系数呈下降趋势;对于油气润滑系统来说,传感器的边缘电容对ECT空间图形成像误差有较大影响。
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关键词
油气润滑
边缘电容
电容
层析成像
相对介电常数
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职称材料
用边缘电容测量表面光洁度
3
作者
李晋兴
《数据采集与处理》
CSCD
1995年第A01期173-176,共4页
设计一种传感器，用于测量加工平面的表面光洁度，本文讨论了加工平面和垂直瓷装电极间的边缘电场，并给出“电容光度计”静态和空间动态解析特征，对于一些平面，装置的作用相当于一个低通滤波器，它衰减了较高的空间频率，这里，引入...
设计一种传感器，用于测量加工平面的表面光洁度，本文讨论了加工平面和垂直瓷装电极间的边缘电场，并给出“电容光度计”静态和空间动态解析特征，对于一些平面，装置的作用相当于一个低通滤波器，它衰减了较高的空间频率，这里，引入了依据傅里叶变换的动态补偿法，最后给出简单的结构参数和电路设计思路。
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关键词
表面光洁度
测量
边缘电容
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职称材料
考虑边缘和寄生电容的微加速度计的非线性误差研究
被引量：
3
4
作者
何江波
谢进
+2 位作者
何晓平
杜连明
周吴
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2016年第5期752-757,共6页
为了使微加速度计满足线性度指标,准确计算微加速度计的非线性误差是非常必要的。在考虑边缘和寄生电容的前提下,提出了计算微加速度计的非线性误差的方法。首先根据表芯结构的电容分布特点建立了其等效电路模型,并推导了微加速度计的...
为了使微加速度计满足线性度指标,准确计算微加速度计的非线性误差是非常必要的。在考虑边缘和寄生电容的前提下,提出了计算微加速度计的非线性误差的方法。首先根据表芯结构的电容分布特点建立了其等效电路模型,并推导了微加速度计的输出电压与检测电容和寄生电容之间的关系式,其中检测电容包含了边缘电容;其次,基于有限元法,分别提出了计算微加速度计的寄生电容和检测电容的方法;最后建立了微加速度计的输出电压与输入加速度之间的关系式,并基于三次多项式拟合,推导出微加速度计的非线性误差的计算公式。通过对比分析非线性误差的理论计算结果与实验测量结果,提出的方法的正确性得到了验证。
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关键词
微加速度计
边缘电容
寄生
电容
非线性误差
有限元法
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职称材料
两种电容效应的六维力传感器结构设计及解耦
被引量：
1
5
作者
蒲明辉
胡世通
+1 位作者
罗祺
潘海鸿
《机械设计与制造》
北大核心
2022年第8期65-69,共5页
提出了一种新型电容式六维力传感器,理论分析垂直极板电容边缘效应原理和变极距型平行极板电容效应原理,设计了结合两种电容效应原理的新型电容式力传感器结构。进行静态标定实验获得实验数据,将获得的数据采用基于最小二乘法的线性解...
提出了一种新型电容式六维力传感器,理论分析垂直极板电容边缘效应原理和变极距型平行极板电容效应原理,设计了结合两种电容效应原理的新型电容式力传感器结构。进行静态标定实验获得实验数据,将获得的数据采用基于最小二乘法的线性解耦求得六维力传感器解耦矩阵。并根据求得的解耦矩阵对六维力传感器进行解耦计算,计算结果表明:传感器各维力/力矩F_(X)、F_(Y)、F_(Z)、M_(X)、M_(Y)、M_(Z)的Ⅰ类误差分别为0.19%、0.66%、0.10%、0.14%、0.39%、0.32%,Ⅱ类误差最大值为0.47%,即该传感器维间耦合小,可解耦。验证了该结构的可行性。
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关键词
六维力传感器
电容
边缘
效应
平行极板
电容
效应
解耦
标定实验
维间耦合
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职称材料
边缘电场传感器测量金属衬底绝缘层厚度
被引量：
1
6
作者
赵俊明
王文廉
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第11期1657-1661,共5页
针对金属衬底上的绝缘层厚度测量的需求,研究了一种基于边缘电场传感器测量方法。位于同一平面的传感电极形成边缘场电容,边缘电场穿透绝缘层后在衬底表面发生突变。用三电容模型分析了传感器的测量原理,衬底作为一个浮动电极分别与两...
针对金属衬底上的绝缘层厚度测量的需求,研究了一种基于边缘电场传感器测量方法。位于同一平面的传感电极形成边缘场电容,边缘电场穿透绝缘层后在衬底表面发生突变。用三电容模型分析了传感器的测量原理,衬底作为一个浮动电极分别与两个传感器电极构成平行极板电容,与边缘场电容共同构成传感电容。通过Ansoft Maxwell软件进行二维有限元仿真,讨论了电容结构参数对传感电容的影响。实验结果表明,当边缘场电容传感器应用于金属衬底上的绝缘层测量时,表现出边缘场电容与平行板电容复合的特性,而且传感器灵敏度高。当绝缘层厚度相比电极长度较小时,电极的间距对传感器电容输出影响小。
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关键词
厚度测量
边缘
场
电容
有限元
单一平面
电容
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职称材料
非平行板电容传感器的微小电容检测电路设计
被引量：
6
7
作者
李晶
于殿泓
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2020年第1期100-103,共4页
为了满足对室内浅层埋线探测的需求,利用电容传感器的边缘效应,设计了非平行板电容传感器的微小电容检测电路。使用multisim软件对交流电桥和差分运放电路进行仿真;实验验证电路功能,并采用MATLAB软件拟合实验数据。实验表明,在频率为10...
为了满足对室内浅层埋线探测的需求,利用电容传感器的边缘效应,设计了非平行板电容传感器的微小电容检测电路。使用multisim软件对交流电桥和差分运放电路进行仿真;实验验证电路功能,并采用MATLAB软件拟合实验数据。实验表明,在频率为10 kHz的正弦波作用下,该电路的电容检测灵敏度可达0.1 V/pF,满足浅层埋线探测系统的灵敏度要求。
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关键词
浅层埋线探测
电容
边缘
效应
非平行板
电容
传感器
微小
电容
交流电桥
相敏检波
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职称材料
列车对矩形隧道电磁波传输影响带脊波导分析
8
作者
孙继平
张宏炜
《辽宁工程技术大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
北大核心
2006年第2期243-245,共3页
为求解矩形正脊波导的截止频率问题,把求解矿井隧道中存在列车时的电磁波传播特性问题归结为求解矩形正脊波导截止频率的问题。由矩形正脊波导中主模TE10波模的分布结构特征,用准静态方法近似的计算出等效电容和等效电感,从而计算出谐...
为求解矩形正脊波导的截止频率问题,把求解矿井隧道中存在列车时的电磁波传播特性问题归结为求解矩形正脊波导截止频率的问题。由矩形正脊波导中主模TE10波模的分布结构特征,用准静态方法近似的计算出等效电容和等效电感,从而计算出谐振频率,也就是矩形正脊波导的截止频率。并通过计算结果分析了矿井中列车的位置、高度和宽度对截止频率的影响。
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关键词
矩形隧道
矩形正脊波导
边缘电容
谐振频率
截止频率
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职称材料
平行板式静电微执行器动态Pull-in现象分析
被引量：
2
9
作者
徐琳
方玉明
郄军建
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第3期176-179,共4页
基于求不考虑边缘电容的静电微执行器动态Pull-in参数的能量分析法,并结合边缘电容的模型推导出考虑边缘电容情况下静电微执行器的动态Pull-in参数的计算方法。将不考虑边缘电容条件下的静电微执行器的动态Pull-in参数和考虑边缘电容条...
基于求不考虑边缘电容的静电微执行器动态Pull-in参数的能量分析法,并结合边缘电容的模型推导出考虑边缘电容情况下静电微执行器的动态Pull-in参数的计算方法。将不考虑边缘电容条件下的静电微执行器的动态Pull-in参数和考虑边缘电容条件下的静电微执行器的动态Pull-in参数进行比较,得到这两种条件下静电微执行器的动态Pull-in参数的不同以及边缘电容对静电微执行器动态Pull-in参数的影响:考虑边缘电容的Pull-in电压小于不考虑边缘电容的Pull-in电压;在边缘电容模型下,平行板长度的变化对Pull-in电压的影响很大,但是对Pull-in位移却没有影响,平行板宽度的变化对Pull-in电压的影响较小,但是对Pull-in位移的影响很大。
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关键词
微机械
微执行器
动态
边缘电容
平行板式
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职称材料
一种绝缘体表液体自动测试系统
被引量：
8
10
作者
李楠
郭宝龙
黄川
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第1期38-44,共7页
提出一种绝缘体表液体自动测试系统的设计方案,在保证系统测试性能的同时能够大幅降低设计成本。通过对系统数据采集数据转换,以及系统控制部分的工作与设计原理的分析,设计三种相邻电容传感器,讨论分析传感器设计关键参数,并给出了最...
提出一种绝缘体表液体自动测试系统的设计方案,在保证系统测试性能的同时能够大幅降低设计成本。通过对系统数据采集数据转换,以及系统控制部分的工作与设计原理的分析,设计三种相邻电容传感器,讨论分析传感器设计关键参数,并给出了最终设计参数;简单解释了测量数据转换部分和控制部分的系统设计思想。实验部分采用有限元仿真技术模拟了电容传感器的性能;通过阻抗分析仪对测得的数据进行分析、比对、讨论了测量噪声对系统检测的影响,并提出解决方法;实验结果表明,电容探测传感技术应用于绝缘体表液体自动测试系统中的可行性与重要性,设计的系统硬件部分能够实现自动探测分级报警功能。
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关键词
相邻
电容
传感器
电容
边缘
效应
阻抗分析
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职称材料
题名
计算开路器边缘电容的简单方法
被引量：
5
1
作者
梅子扬
年夫顺
机构
中国电子科技集团公司第四十一研究所电子测试技术国家重点实验室
出处
《微波学报》
CSCD
北大核心
2003年第1期72-75,共4页
文摘
本文介绍了开路器数学模型的建立和定义。对开路器数学模型中的边缘电容和延迟的计算和描述进行了研究 ,重点介绍了一种计算开路器边缘电容的简单方法。最后以 3.
关键词
开路器
数学模型
边缘电容
矢量网络分析仪
计算方法
Keywords
Open circuit,Mathematical model,Fringing capacitance
分类号
TN98 [电子电信—信息与通信工程]
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职称材料
题名
油气润滑ECT传感器的建模与边缘电容分析
被引量：
3
2
作者
孙启国
黄博凯
杜超
机构
北方工业大学机械与材料工程学院
出处
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第12期39-44,共6页
基金
北京市属高等学校人才强教计划项目(PHR201107109)
文摘
基于小管径油气润滑ECT系统中电容传感器的特点,建立其电容传感器的二维数学模型;分析相对介电常数对边缘电容的影响;定义边缘电容影响系数,并研究边缘电容影响系数与管道半径的关系。研究结果表明:管壁、油膜与气体的厚度比对边缘电容值有显著的影响,通过减小油膜厚度及管壁厚可以有效减小边缘电容;小管径的边缘电容影响系数超过0.5,随着管径增大,边缘电容影响系数呈下降趋势;对于油气润滑系统来说,传感器的边缘电容对ECT空间图形成像误差有较大影响。
关键词
油气润滑
边缘电容
电容
层析成像
相对介电常数
Keywords
oil-air lubrication
edge capacitance
electrical capacitance tomography
relative dielectric constant
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
用边缘电容测量表面光洁度
3
作者
李晋兴
出处
《数据采集与处理》
CSCD
1995年第A01期173-176,共4页
文摘
设计一种传感器，用于测量加工平面的表面光洁度，本文讨论了加工平面和垂直瓷装电极间的边缘电场，并给出“电容光度计”静态和空间动态解析特征，对于一些平面，装置的作用相当于一个低通滤波器，它衰减了较高的空间频率，这里，引入了依据傅里叶变换的动态补偿法，最后给出简单的结构参数和电路设计思路。
关键词
表面光洁度
测量
边缘电容
分类号
TG84 [金属学及工艺—公差测量技术]
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职称材料
题名
考虑边缘和寄生电容的微加速度计的非线性误差研究
被引量：
3
4
作者
何江波
谢进
何晓平
杜连明
周吴
机构
西南交通大学机械工程学院
中国工程物理研究院电子工程研究所
电子科技大学机械电子工程学院
出处
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2016年第5期752-757,共6页
基金
国家自然科学基金项目(51175437)资助
文摘
为了使微加速度计满足线性度指标,准确计算微加速度计的非线性误差是非常必要的。在考虑边缘和寄生电容的前提下,提出了计算微加速度计的非线性误差的方法。首先根据表芯结构的电容分布特点建立了其等效电路模型,并推导了微加速度计的输出电压与检测电容和寄生电容之间的关系式,其中检测电容包含了边缘电容;其次,基于有限元法,分别提出了计算微加速度计的寄生电容和检测电容的方法;最后建立了微加速度计的输出电压与输入加速度之间的关系式,并基于三次多项式拟合,推导出微加速度计的非线性误差的计算公式。通过对比分析非线性误差的理论计算结果与实验测量结果,提出的方法的正确性得到了验证。
关键词
微加速度计
边缘电容
寄生
电容
非线性误差
有限元法
Keywords
finite element method
fringe capacitance
Micro-accelerometer
nonlinear error
parasitic capacitance
分类号
TH73 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
两种电容效应的六维力传感器结构设计及解耦
被引量：
1
5
作者
蒲明辉
胡世通
罗祺
潘海鸿
机构
广西大学机械工程学院
广西制造系统与先进制造技术重点实验室
出处
《机械设计与制造》
北大核心
2022年第8期65-69,共5页
基金
广西创新驱动发展专项(桂科AA18118002)
广西创新驱动发展专项(桂科AA17204017)
+2 种基金
广西重点研发计划项目(桂科AB16380237)
南宁市重点研发计划项目(20181018-1)
南宁市重点研发计划项目(20181018-3)。
文摘
提出了一种新型电容式六维力传感器,理论分析垂直极板电容边缘效应原理和变极距型平行极板电容效应原理,设计了结合两种电容效应原理的新型电容式力传感器结构。进行静态标定实验获得实验数据,将获得的数据采用基于最小二乘法的线性解耦求得六维力传感器解耦矩阵。并根据求得的解耦矩阵对六维力传感器进行解耦计算,计算结果表明:传感器各维力/力矩F_(X)、F_(Y)、F_(Z)、M_(X)、M_(Y)、M_(Z)的Ⅰ类误差分别为0.19%、0.66%、0.10%、0.14%、0.39%、0.32%,Ⅱ类误差最大值为0.47%,即该传感器维间耦合小,可解耦。验证了该结构的可行性。
关键词
六维力传感器
电容
边缘
效应
平行极板
电容
效应
解耦
标定实验
维间耦合
Keywords
Six-Axis Force Sensor
Capacitor Edge Effect
Parallel Plate Capacitor Effect
Decoupling
Calibration Experiment
Inter-Dimensional Coupling
分类号
TH16 [机械工程—机械制造及自动化]
TH823 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
边缘电场传感器测量金属衬底绝缘层厚度
被引量：
1
6
作者
赵俊明
王文廉
机构
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
中北大学电子测试技术国家重点实验室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第11期1657-1661,共5页
基金
传感激光准δ脉冲动态校准系统研究项目基金(KF201806)
文摘
针对金属衬底上的绝缘层厚度测量的需求,研究了一种基于边缘电场传感器测量方法。位于同一平面的传感电极形成边缘场电容,边缘电场穿透绝缘层后在衬底表面发生突变。用三电容模型分析了传感器的测量原理,衬底作为一个浮动电极分别与两个传感器电极构成平行极板电容,与边缘场电容共同构成传感电容。通过Ansoft Maxwell软件进行二维有限元仿真,讨论了电容结构参数对传感电容的影响。实验结果表明,当边缘场电容传感器应用于金属衬底上的绝缘层测量时,表现出边缘场电容与平行板电容复合的特性,而且传感器灵敏度高。当绝缘层厚度相比电极长度较小时,电极的间距对传感器电容输出影响小。
关键词
厚度测量
边缘
场
电容
有限元
单一平面
电容
Keywords
thickness measurement
fringe field capacitance
finite element
single planar capacitance
分类号
TP393 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
非平行板电容传感器的微小电容检测电路设计
被引量：
6
7
作者
李晶
于殿泓
机构
西安理工大学机械与精密仪器工程学院
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2020年第1期100-103,共4页
基金
国家自然科学基金项目(51775433)
陕西省重点研发计划项目(2017GY-056)
文摘
为了满足对室内浅层埋线探测的需求,利用电容传感器的边缘效应,设计了非平行板电容传感器的微小电容检测电路。使用multisim软件对交流电桥和差分运放电路进行仿真;实验验证电路功能,并采用MATLAB软件拟合实验数据。实验表明,在频率为10 kHz的正弦波作用下,该电路的电容检测灵敏度可达0.1 V/pF,满足浅层埋线探测系统的灵敏度要求。
关键词
浅层埋线探测
电容
边缘
效应
非平行板
电容
传感器
微小
电容
交流电桥
相敏检波
Keywords
shallow buried line detection
capacitance edge effect
non-parallel plate capacitive sensor
tiny capacitor
AC bridge
phase sensitive detection
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
列车对矩形隧道电磁波传输影响带脊波导分析
8
作者
孙继平
张宏炜
机构
中国矿业大学(北京校区)信息工程研究所
出处
《辽宁工程技术大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
北大核心
2006年第2期243-245,共3页
基金
2003年度高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20030290019)
文摘
为求解矩形正脊波导的截止频率问题,把求解矿井隧道中存在列车时的电磁波传播特性问题归结为求解矩形正脊波导截止频率的问题。由矩形正脊波导中主模TE10波模的分布结构特征,用准静态方法近似的计算出等效电容和等效电感,从而计算出谐振频率,也就是矩形正脊波导的截止频率。并通过计算结果分析了矿井中列车的位置、高度和宽度对截止频率的影响。
关键词
矩形隧道
矩形正脊波导
边缘电容
谐振频率
截止频率
Keywords
rectangular tunnel
rectangular ridged waveguide
fringing capacitance
resonant frequency
cutoff frequency
分类号
TN929.4 [电子电信—通信与信息系统]
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职称材料
题名
平行板式静电微执行器动态Pull-in现象分析
被引量：
2
9
作者
徐琳
方玉明
郄军建
机构
南京邮电大学电子科学与工程学院
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第3期176-179,共4页
基金
国家自然科学基金(60806036)
2010年度江苏省高校"青蓝工程"
文摘
基于求不考虑边缘电容的静电微执行器动态Pull-in参数的能量分析法,并结合边缘电容的模型推导出考虑边缘电容情况下静电微执行器的动态Pull-in参数的计算方法。将不考虑边缘电容条件下的静电微执行器的动态Pull-in参数和考虑边缘电容条件下的静电微执行器的动态Pull-in参数进行比较,得到这两种条件下静电微执行器的动态Pull-in参数的不同以及边缘电容对静电微执行器动态Pull-in参数的影响:考虑边缘电容的Pull-in电压小于不考虑边缘电容的Pull-in电压;在边缘电容模型下,平行板长度的变化对Pull-in电压的影响很大,但是对Pull-in位移却没有影响,平行板宽度的变化对Pull-in电压的影响较小,但是对Pull-in位移的影响很大。
关键词
微机械
微执行器
动态
边缘电容
平行板式
Keywords
microelectromechanical system （ MEMS ）
micro actuator
dynamic
fringing capacitance
parallel-plate
分类号
TN703 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
一种绝缘体表液体自动测试系统
被引量：
8
10
作者
李楠
郭宝龙
黄川
机构
西安电子科技大学机电工程学院智能控制与图像处理研究所
英国曼彻斯特大学电气电子工程学院
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第1期38-44,共7页
基金
国家自然科学基金(60802077)
国家863高技术研究发展计划项目(2006AA01Z127)资助
文摘
提出一种绝缘体表液体自动测试系统的设计方案,在保证系统测试性能的同时能够大幅降低设计成本。通过对系统数据采集数据转换,以及系统控制部分的工作与设计原理的分析,设计三种相邻电容传感器,讨论分析传感器设计关键参数,并给出了最终设计参数;简单解释了测量数据转换部分和控制部分的系统设计思想。实验部分采用有限元仿真技术模拟了电容传感器的性能;通过阻抗分析仪对测得的数据进行分析、比对、讨论了测量噪声对系统检测的影响,并提出解决方法;实验结果表明,电容探测传感技术应用于绝缘体表液体自动测试系统中的可行性与重要性,设计的系统硬件部分能够实现自动探测分级报警功能。
关键词
相邻
电容
传感器
电容
边缘
效应
阻抗分析
Keywords
proximity capacitance sensor
capacitance fringe effect
impedance analysis
分类号
TP212.9 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
计算开路器边缘电容的简单方法
梅子扬
年夫顺
《微波学报》
CSCD
北大核心
2003
5
在线阅读
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职称材料
2
油气润滑ECT传感器的建模与边缘电容分析
孙启国
黄博凯
杜超
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2017
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
用边缘电容测量表面光洁度
李晋兴
《数据采集与处理》
CSCD
1995
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
4
考虑边缘和寄生电容的微加速度计的非线性误差研究
何江波
谢进
何晓平
杜连明
周吴
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2016
3
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职称材料
5
两种电容效应的六维力传感器结构设计及解耦
蒲明辉
胡世通
罗祺
潘海鸿
《机械设计与制造》
北大核心
2022
1
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职称材料
6
边缘电场传感器测量金属衬底绝缘层厚度
赵俊明
王文廉
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2018
1
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职称材料
7
非平行板电容传感器的微小电容检测电路设计
李晶
于殿泓
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2020
6
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职称材料
8
列车对矩形隧道电磁波传输影响带脊波导分析
孙继平
张宏炜
《辽宁工程技术大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
北大核心
2006
0
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职称材料
9
平行板式静电微执行器动态Pull-in现象分析
徐琳
方玉明
郄军建
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2012
2
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职称材料
10
一种绝缘体表液体自动测试系统
李楠
郭宝龙
黄川
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
8
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