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误差扩散法编码设计制作微光学元件
被引量：
1
1
作者
刘倩
张怡霄
+3 位作者
郭永康
刘波
温圣林
唐雄贵
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第6期106-110,共5页
以发展微光学元件制作新方法为目标,提出利用误差扩散编码方法设计灰阶编码掩模制作微光学元件。此方法同其他编码方法相比,具有量化效果好、衍射效率高、制作文件小、计算速度快、通用性好等优点。用此方法对制作微透镜的掩模进行了设...
以发展微光学元件制作新方法为目标,提出利用误差扩散编码方法设计灰阶编码掩模制作微光学元件。此方法同其他编码方法相比,具有量化效果好、衍射效率高、制作文件小、计算速度快、通用性好等优点。用此方法对制作微透镜的掩模进行了设计,利用预校正法和边缘增强法相结合的方法对掩模进行了优化,并对曝光、显影过程进行了模拟,得到了满意的结果。
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关键词
微光学
灰阶编码掩模
误差扩散
法
边缘增强法
微透镜
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题名
误差扩散法编码设计制作微光学元件
被引量：
1
1
作者
刘倩
张怡霄
郭永康
刘波
温圣林
唐雄贵
机构
四川大学物理学院
出处
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第6期106-110,共5页
基金
国家自然科学基金-中物院联合基金资助项目(10376019)
文摘
以发展微光学元件制作新方法为目标,提出利用误差扩散编码方法设计灰阶编码掩模制作微光学元件。此方法同其他编码方法相比,具有量化效果好、衍射效率高、制作文件小、计算速度快、通用性好等优点。用此方法对制作微透镜的掩模进行了设计,利用预校正法和边缘增强法相结合的方法对掩模进行了优化,并对曝光、显影过程进行了模拟,得到了满意的结果。
关键词
微光学
灰阶编码掩模
误差扩散
法
边缘增强法
微透镜
Keywords
Micro-optics
Coding gray-tone mask
Error-diffusion method
Edge-enhancement
Micro-lenses
分类号
O438 [机械工程—光学工程]
TN256 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
误差扩散法编码设计制作微光学元件
刘倩
张怡霄
郭永康
刘波
温圣林
唐雄贵
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
1
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