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微空心阴极放电的边界主导放电现象研究
1
作者
王金梅
代玉
郑培超
《激光杂志》
北大核心
2015年第8期18-20,共3页
微空心阴极放电是一种新型的放电形式,在材料表面改性、薄膜沉积、杀菌消毒、等离子体显示、微型直流准分子激光器和电热式微推力器等领域应用广泛。本文选用OOPIC Pro粒子模拟软件研究了微空心阴极放电的扩展放电过程,然后再现等离子...
微空心阴极放电是一种新型的放电形式,在材料表面改性、薄膜沉积、杀菌消毒、等离子体显示、微型直流准分子激光器和电热式微推力器等领域应用广泛。本文选用OOPIC Pro粒子模拟软件研究了微空心阴极放电的扩展放电过程,然后再现等离子体区在微薄空心阴极外部的扩展过程,说明放电产生的等离子体可能扩散到阴极外部空间,微空心阴极放电的边界主导效应比空心阴极放电更明显。该研究结果对微空心阴极放电等离子体的机理研究具有一定的指导意义。
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关键词
微空心阴极放电
粒子模拟
边界主导效应
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职称材料
题名
微空心阴极放电的边界主导放电现象研究
1
作者
王金梅
代玉
郑培超
机构
重庆邮电大学光电工程学院光电信息感测与传输技术重庆市重点实验室
出处
《激光杂志》
北大核心
2015年第8期18-20,共3页
基金
国家自然科学基金(61205149)
重庆市科技人才培养计划(cstc2013kjrc-qnrc40002)
+1 种基金
重庆市自然科学基金(CSTC2012JJA50033)
南岸区科技攻关项目
文摘
微空心阴极放电是一种新型的放电形式,在材料表面改性、薄膜沉积、杀菌消毒、等离子体显示、微型直流准分子激光器和电热式微推力器等领域应用广泛。本文选用OOPIC Pro粒子模拟软件研究了微空心阴极放电的扩展放电过程,然后再现等离子体区在微薄空心阴极外部的扩展过程,说明放电产生的等离子体可能扩散到阴极外部空间,微空心阴极放电的边界主导效应比空心阴极放电更明显。该研究结果对微空心阴极放电等离子体的机理研究具有一定的指导意义。
关键词
微空心阴极放电
粒子模拟
边界主导效应
Keywords
Microhollow cathode discharge
Particle simulation
Boundary-dominant effect
分类号
O461 [理学—电子物理学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
微空心阴极放电的边界主导放电现象研究
王金梅
代玉
郑培超
《激光杂志》
北大核心
2015
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