N_2/H_2辉光放电等离子体电子碰撞电离的Monte Carlo模拟

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作者 张连珠 王增波 刘俊红 《河北大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2007年第3期244-248,321,共6页

采用N2/H2直流辉光放电等离子体综合的Monte Carlo模型,通过计算N2/H2混合气体直流辉光放电等离子体电子碰撞电离及离解电离率,电子密度及电子能量分布函数,研究了H2的浓度对氮辉光放电等离子体电子碰撞电离过程的影响.研究结果表明：随... 采用N2/H2直流辉光放电等离子体综合的Monte Carlo模型,通过计算N2/H2混合气体直流辉光放电等离子体电子碰撞电离及离解电离率,电子密度及电子能量分布函数,研究了H2的浓度对氮辉光放电等离子体电子碰撞电离过程的影响.研究结果表明：随着H2浓度的升高,电子的电离及离解电离碰撞率减少;但在一定的放电条件下,加入少量的H2,可以提高电子碰撞电离及离解电离率,即选取合适的放电参数,加入少量的氢,可以提高放电空间的电子及离子的密度.模型考虑了12种和电子相关的反应,在氮气中加氢的比例为0-30%.这些影响能通过放电中发生的碰撞过程及鞘层厚度的改变得到解释.研究结果为认识N2/H2混合气体辉光放电等离子体过程机理提供参考依据. 展开更多

关键词 N2-H2辉光放电 MONTECARLO模拟 e^--N2电离率

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等电位辉光放电电子温度的光谱测量与计算 被引量：5

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作者 王建忠 隗晓云 +3 位作者 徐晋勇 刘燕萍 高原 徐重 《核聚变与等离子体物理》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期300-304,共5页

用SII-IV型全息凹面光栅单色仪对各种工艺参数条件下双层辉光等电位放电的发射光谱的相对强度进行了测量,获得一系列光谱谱线。通过对玻尔兹曼方程式的计算,得到了不同工艺条件下等离子放电时的电子温度。分析了工件电压、工作气压对电... 用SII-IV型全息凹面光栅单色仪对各种工艺参数条件下双层辉光等电位放电的发射光谱的相对强度进行了测量,获得一系列光谱谱线。通过对玻尔兹曼方程式的计算,得到了不同工艺条件下等离子放电时的电子温度。分析了工件电压、工作气压对电子温度的影响。结果表明:在本工艺条件下,电子温度随着工件电压的升高,先减小后增大,然后又减小,并随着工作气压的增大而单调增大。工作气压的变化较工件电压的变化对电子温度的影响大。 展开更多

关键词 电子温度 辉光放电 发射光谱 光谱分析

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氩直流辉光放电等离子体中电子运动及能量的模拟 被引量：3

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作者 余云鹏 林舜辉 +3 位作者 林旭升 池凌飞 林璇英 林揆训 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期236-240,共5页

采用自动调节时间步长的蒙特卡罗模拟,对平行板放电系统中的氩气直流辉光放电系统中的等离子体区内电子的运动过程进行了跟踪和抽样。统计结果表明:在我们的实验条件下,等离子体中的电子在电场作用下出现明显的轴向漂移;在40000次抽样中... 采用自动调节时间步长的蒙特卡罗模拟,对平行板放电系统中的氩气直流辉光放电系统中的等离子体区内电子的运动过程进行了跟踪和抽样。统计结果表明:在我们的实验条件下,等离子体中的电子在电场作用下出现明显的轴向漂移;在40000次抽样中,出现能量为E的电子数目随能量E增大呈下降趋势,场强增大将引起能量分布展宽和电子平均能量增加;即使场强达到15V·cm-1,等离子体激发和电离仍是很少的;场强和气压都能明显改变电子的平均自由程。 展开更多

关键词 辉光放电 等离子体 电子运动 电子能量 蒙特卡罗模拟

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直流大气压辉光放电高能电子密度的空间分布 被引量：5

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作者 刘志强 贾鹏英 刘铁 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第9期2321-2324,共4页

利用针阴极和水阳极,在6mm的空气隙产生了大气压空气辉光放电。该大气压辉光放电具有明显的负辉区、正柱区和阳极辉区等明亮的发光区。通过研究放电的电压电流特性,发现该放电处于亚辉光放电到正常辉光放电阶段。由于氮分子第二正带系33... 利用针阴极和水阳极,在6mm的空气隙产生了大气压空气辉光放电。该大气压辉光放电具有明显的负辉区、正柱区和阳极辉区等明亮的发光区。通过研究放电的电压电流特性,发现该放电处于亚辉光放电到正常辉光放电阶段。由于氮分子第二正带系337.1nm的光谱强度反映高能电子密度,对337.1nm谱线的强度进行了空间分辨测量。结果发现高能电子在针尖附近密度最大,而其他区域相差不多。随电压升高,高能电子密度减少。增大限流电阻,高能电子密度也减少。氧原子对杀菌消毒具有重要作用,利用发射光谱法对氧原子谱线强度的空间分布进行了测量,发现氧原子谱线强度与高能电子的空间分布及其随参数的变化关系一致。 展开更多

关键词 大气压空气辉光放电 发射光谱 空间分辨测量 高能电子 氧原子

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微空心阴极放电作大体积辉光放电电子源的模拟研究 被引量：3

5

作者 姚细林 王新兵 +1 位作者 周俐娜 卢宏 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2003年第5期21-23,共3页

基于MATLAB与VC + +混合语言 ,采用MonteCarlo模拟对高气压下亚毫米级微空心阴极放电 (MHCD)在第三电极牵引下电子的运动过程进行了研究 ,计算出不同电压、不同的尺寸结构下 ,电子的空间分布和被牵引出MHCD的电子能量分布。从理论上分析... 基于MATLAB与VC + +混合语言 ,采用MonteCarlo模拟对高气压下亚毫米级微空心阴极放电 (MHCD)在第三电极牵引下电子的运动过程进行了研究 ,计算出不同电压、不同的尺寸结构下 ,电子的空间分布和被牵引出MHCD的电子能量分布。从理论上分析了MHCD结构要求 。 展开更多

关键词 微空心阴极 第三电极 辉光放电 阴极放电 MHCD 电子能量分布

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紫外预电离TE(A) CO_2激光器自持辉光放电的阻抗计算 被引量：6

6

作者 吴谨 万重怡 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期15-17,共3页

提供了一个理论计算紫外预电离TE(A)　CO2 激光器自持辉光放电的放电阻抗的方法 ,并以脉冲形成网络 (PFN)放电TE(A)CO2 激光器为例 ,计算了其自持辉光放电“准稳态”

关键词 紫外预电离 CO2激光器 自持辉光放电 放电阻抗

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氮气直流辉光放电阴极鞘层区电子行为的蒙特卡罗模拟研究 被引量：2

7

作者 张连珠 于威 《河北大学学报（自然科学版）》 CAS 2001年第3期239-243,共5页

采用蒙特卡罗模拟对氮气直流辉光放电等电子体阴极鞘层区内电子的输运过程进行了研究 ,计算了阴极鞘层中电子的能量及角分布的空间变化 .模拟讨论了电子密度和电子平均能量在鞘层的轴向分布规律 .结果表明 :在鞘层电子主要以高能束的形... 采用蒙特卡罗模拟对氮气直流辉光放电等电子体阴极鞘层区内电子的输运过程进行了研究 ,计算了阴极鞘层中电子的能量及角分布的空间变化 .模拟讨论了电子密度和电子平均能量在鞘层的轴向分布规律 .结果表明 :在鞘层电子主要以高能束的形式朝前散射 ,电子在输运过程中表现出的这一特征依赖于放电条件 ,电子碰撞电离和离解电离产生的次电子在鞘层边界附近迅速倍增 . 展开更多

关键词 辉光放电 阴极鞘层 蒙特卡罗模拟 电子输运 氮气

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辉光放电等离子体镁电离的研究

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作者 尤静林 王桢枢 +2 位作者 张功抒 任建世 蒋国昌 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第6期850-853,共4页

以铝镁合金作阴极，采用吸收光谱测定了辉光放电等离子体中镁离子和原子的相对密度。提出了在近似条件下， 由镁离子和原子吸光度比法求算镁电离度的方法。探讨了电离对常规分析的干扰与校正，

关键词 辉光放电 离子吸收 原子吸收 电离度 镁离子

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大气压射频辉光放电电子数密度解析解及等离子体阻抗特性研究 被引量：4

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作者 焦俊凯 周全 +2 位作者 王豪 罗海云 王新新 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第4期1458-1464,共7页

为研究大气压射频辉光放电等离子体阻抗特性,基于射频放电的一维均匀假设模型,推导出了适用于α模式、高气压和小间隙条件下的电子数密度ne的解析解,从而可由实验测得的电压和电流幅值计算出ne;构建了描述整个放电区域的"电阻-电... 为研究大气压射频辉光放电等离子体阻抗特性,基于射频放电的一维均匀假设模型,推导出了适用于α模式、高气压和小间隙条件下的电子数密度ne的解析解,从而可由实验测得的电压和电流幅值计算出ne;构建了描述整个放电区域的"电阻-电容混联"等效电路模型,模型参数可由ne计算得到。通过与他人数值模拟得到的ne对比,验证了该解析解的正确性。实验结果表明:放电电压和电子数密度随电流密度的增加而线性增加;鞘层厚度、准中性区的等效电容和鞘层的等效电容受电流密度变化影响不大;准中性区的等效电阻和放电间隙总等效阻抗随电流密度的增加而减小。实验结果还指出了前人工作中存在的一些问题:在小间隙时错误地忽略鞘层厚度,认为准中性区的长度就是电极间隙距离;不合理地将准中性区场强近似为0。未来工作希望进一步推导低气压或大间隙时电子数密度的解析解。 展开更多

关键词 射频大气压辉光放电 电子数密度 鞘层 等效电路模型 等离子体阻抗

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以辉光放电管为像素的电子黑板研究与实现 被引量：1

10

作者 刘孟龙 吴伶锡 《现代电子技术》 2011年第3期168-170,共3页

为了开发一种结构简单、造价低廉的电子黑板,采用了以辉光放电管作为电子黑板像素并以电场或磁场控制书写和擦除的方法;做了利用高压静电场或磁场对一定电压下的辉光放电管进行控制,使其在"亮-灭"双稳态之间转化的实验,实验表... 为了开发一种结构简单、造价低廉的电子黑板,采用了以辉光放电管作为电子黑板像素并以电场或磁场控制书写和擦除的方法;做了利用高压静电场或磁场对一定电压下的辉光放电管进行控制,使其在"亮-灭"双稳态之间转化的实验,实验表明,辉光放电管及其控制方式可应用于电子黑板。由此开发了一种以辉光放电管为像素点阵的新型电子黑板,该电子黑板具有结构简单、成本低廉、显示效果好的特点。 展开更多

关键词 辉光放电管 双稳态 像素 电子黑板

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射频自体辉光放电辅助电子束沉积的放电特性与离子分布研究 被引量：1

11

作者 宋义民 《航空制造技术》 北大核心 2013年第7期58-61,66,共5页

为了克服电子束蒸镀技术的不足,提高蒸镀薄膜与基体的膜基结合力,通过增加射频线圈的方法,在电子束蒸镀沉积过程中实现了射频自体辉光放电。研究了放电参数对射频辉光放电反射功率的影响规律,结果表明采用3匝直径82mm的射频线圈条件下,... 为了克服电子束蒸镀技术的不足,提高蒸镀薄膜与基体的膜基结合力,通过增加射频线圈的方法,在电子束蒸镀沉积过程中实现了射频自体辉光放电。研究了放电参数对射频辉光放电反射功率的影响规律,结果表明采用3匝直径82mm的射频线圈条件下,最佳放电距离为100cm。电子束流在160mA以上时,起辉较容易,但是电子束流大于200mA后,蒸镀的膜层容易脱落。通过静电探针分析发现,放电产生的等离子体中离子密度高于1.0×1010atom/cm3,射频功率的增大提高了真空室中各个位置处的离子密度,尤其是线圈中心位置,导致了真空室中离子密度径向位置的不均匀性。当射频功率为170W时,各位置的离子密度急剧增加。 展开更多

关键词 射频辉光放电 电子束蒸镀 静电探针 离子密度

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低气压直流辉光放电数值模拟与实验研究 被引量：11

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作者 张百灵 王宇天 +3 位作者 李益文 樊昊 高岭 段成铎 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第3期724-730,共7页

为进一步探究低气压直流辉光放电机理,建立了基于局部平衡假设的2维直流辉光放电模型,研究了正常辉光向异常辉光放电的转变过程及其放电特性,并将异常辉光放电数值模拟结果与实验结果进行对比分析。结果表明,正常辉光放电时,在放电电压... 为进一步探究低气压直流辉光放电机理,建立了基于局部平衡假设的2维直流辉光放电模型,研究了正常辉光向异常辉光放电的转变过程及其放电特性,并将异常辉光放电数值模拟结果与实验结果进行对比分析。结果表明,正常辉光放电时,在放电电压小幅增大的情况下,放电区域的扩大使放电电流增大,阴极位降区厚度减小,并出现明显的负辉光区。进一步增大放电电压,放电将覆盖整个阴极表面,可以明显区分出阴极位降区、负辉光区和正柱区,此时放电转变为异常辉光放电;放电电压为400 V时的阴极位降区电场强度高达3 200 V/cm。异常辉光放电、气压不变时,增大放电电压不会改变放电结构,但负辉光区的电子数密度增大使电流增大、放电增强;放电电压为400 V且气压在50-420 Pa之间时,放电电流将随气压的升高而增大。 展开更多

关键词 正常辉光 异常辉光 等离子体 气体放电 阴极位降 电子数密度

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大气压氦气介质阻挡多脉冲辉光放电的光学演化过程 被引量：17

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作者 郝艳捧 刘耀阁 涂恩来 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期188-193,共6页

为研究大气压介质阻挡多脉冲辉光放电的模式转化规律及其放电机理,在6mm氦气中进行了3脉冲辉光放电试验,测量了相应的电气参数,并利用增强型电子耦合器件(intensified charge-coupled device,ICCD)拍摄了放电间隙侧面的短时曝光图像,提... 为研究大气压介质阻挡多脉冲辉光放电的模式转化规律及其放电机理,在6mm氦气中进行了3脉冲辉光放电试验,测量了相应的电气参数,并利用增强型电子耦合器件(intensified charge-coupled device,ICCD)拍摄了放电间隙侧面的短时曝光图像,提取放电图像的灰度值并绘制出光强在气隙间的分布曲线,按放电图像特征将放电分成不同阶段,系统研究了各个阶段的放电模式及其转化规律,并探讨了放电的机理。结果表明:放电起始阶段具有汤森放电的阳极发光结构;空间电荷的作用使得放电从开始的汤森放电转化为具有完整的正柱区、法拉第暗区和负辉区的辉光放电;放电电流脉冲之间微弱的发光特性仍具有辉光放电结构,有力证明了放电并未熄灭,而是维持着较弱的辉光放电。 展开更多

关键词 介质阻挡放电 多脉冲 辉光放电 增强型电子耦合器件 光学演化 放电模式

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低气压He/N_2混合气体的辉光放电数值模拟 被引量：4

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作者 邹晓兵 杨新婷 +3 位作者 付洋洋 罗海云 杨硕 王新新 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第12期3741-3746,共6页

针对低气压下含有少量氮气杂质(体积分数为10^(–6)~10^(–4))的氦气辉光放电特性进行研究,通过建立相应的二维流体模型,利用COMSOL有限元法数值求解了基本物理方程,得到了放电气隙击穿电压以及内部物理参量的空间分布,分析讨论了氮气... 针对低气压下含有少量氮气杂质(体积分数为10^(–6)~10^(–4))的氦气辉光放电特性进行研究,通过建立相应的二维流体模型,利用COMSOL有限元法数值求解了基本物理方程,得到了放电气隙击穿电压以及内部物理参量的空间分布,分析讨论了氮气杂质的含量对低气压下氦气辉光放电的影响。研究结果表明:随着杂质含量的升高,由于氮分子和氦亚稳态原子的彭宁电离过程降低了击穿电压,因此气隙维持电压降低,回路电流升高。并且由于彭宁电离为放电提供了较多电子,导致电子数密度升高、电场强度降低、电子温度降低。 展开更多

关键词 低气压氦气辉光放电 低温等离子体 彭宁电离 氮气杂质 辉光放电清洗

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大气压射频辉光放电阻抗特性的实验研究 被引量：12

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作者 金锋 焉迪 +3 位作者 王志斌 李和平 葛楠 包成玉 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期1596-1601,共6页

为研究大气压射频辉光放电过程中不同工作气体(氦气和氩气)对发生器等效阻抗的影响,基于等离子体的介电特性,建立了描述等离子体区域的"电阻-电容混联"等效电路模型;通过实验测量放电电压及电流,并基于等效电路模型来计算等... 为研究大气压射频辉光放电过程中不同工作气体(氦气和氩气)对发生器等效阻抗的影响,基于等离子体的介电特性,建立了描述等离子体区域的"电阻-电容混联"等效电路模型;通过实验测量放电电压及电流,并基于等效电路模型来计算等离子体在放电过程中的电子数密度,从而得到等离子体发生器的等效阻抗。实验测量了大气压射频辉光放电的放电电压及电流,并基于等效电路模型得到了等离子体发生器的等效阻抗及放电区的电子数密度。实验结果表明:对氦气和氩气放电,在α放电模式下其电阻及电抗的绝对值均随着放电电流的增加而减小,而电子数密度则随放电电流的增大而线性增加;且在相同的放电电流条件下,氩等离子体的电阻和电容都比氦等离子体高。研究结论可作为等离子体在不同工作气体条件下放电阻抗匹配研究的参考。 展开更多

关键词 大气压等离子体 射频辉光放电 等效阻抗 电路模型 电子数密度 阻抗匹配

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低气压直流氩气辉光放电的数值模拟研究 被引量：5

16

作者 邵先军 马跃 +2 位作者 李娅西 张增辉 张冠军 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期50-54,共5页

建立了一维氩气直流辉光放电自洽流体模型,采用对流与扩散方程来描述带电粒子在间隙中迁移、扩散以及电子的能量变化过程,并考虑了空间电荷对电场的影响以及离子撞击阴极产生的二次电子发射作用.采用有限元法对放电模型进行数值求解,得... 建立了一维氩气直流辉光放电自洽流体模型,采用对流与扩散方程来描述带电粒子在间隙中迁移、扩散以及电子的能量变化过程,并考虑了空间电荷对电场的影响以及离子撞击阴极产生的二次电子发射作用.采用有限元法对放电模型进行数值求解,得到了放电电流随时间的演化波形,以及放电稳定后带电粒子的浓度与总通量密度的空间分布,同时也求得了电子能量与电场的空间分布.计算结果表明:加压25μs后,放电逐渐趋于稳定状态;当放电稳定后,在阴极位降区附近,离子密度比电子密度高几个数量级,在正柱区附近两者浓度几乎相等;电子能量在阴极位降区内达到峰值29 eV,而在负辉区及正柱区几乎保持不变;放电电流密度在阴极位降区主要由流向阴极的氩离子及其产生的二次电子所贡献,而在负辉区和正柱区,电子成了放电电流密度的主要贡献者. 展开更多

关键词 直流辉光放电 低温等离子体 电子能量 数值模拟

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大气压氦气多脉冲辉光放电径向光学演化过程 被引量：3

17

作者 郝艳捧 刘耀阁 +1 位作者 涂恩来 戴栋 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2012年第16期189-195,共7页

介质阻挡放电(dielectric barrier discharge,DBD)的径向演化及其影响因素对研究低温等离子体的机制具有重要的参考价值。采用铟锡氧化物(indium tin oxide,ITO)透明电极,进行了大气压氦气介质阻挡三脉冲辉光放电试验,利用增强型电子耦... 介质阻挡放电(dielectric barrier discharge,DBD)的径向演化及其影响因素对研究低温等离子体的机制具有重要的参考价值。采用铟锡氧化物(indium tin oxide,ITO)透明电极,进行了大气压氦气介质阻挡三脉冲辉光放电试验,利用增强型电子耦合器件(intensified charge-coupled device,ICCD)拍摄放电的侧面短时曝光照片来诊断放电模式,拍摄放电的底面短时曝光照片并绘制其发光灰度值在电极表面的三维分布图来研究放电的径向演化过程。结果表明:放电首先在圆形电极的边缘区域发生,逐渐向电极中心发展,最后又转向电极边缘并逐渐减弱;随着电流脉冲次序的增加,放电在电极中心发展越来越充分;电极结构的限流作用同外施电压和介质表面电荷一样,对径向位置上不同时刻的放电演化过程起着重要作用。 展开更多

关键词 介质阻挡放电 多脉冲 增强型电子耦合器件 辉 光放电 径向演化

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直流辉光和磁控增强放电等离子体的空间分辨发射光谱技术 被引量：3

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作者 于红 张家良 +2 位作者 任春生 王友年 马腾才 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期255-259,共5页

光学发射光谱 (OES)方法是等离子体诊断的有力工具之一 ,可以定量地给出等离子体的多种重要参数 ,如等离子体中的物种成分、粒子能态分布、激发温度、粒子相对密度等。本文介绍了一种用于电子回旋共振 (ECR)微波等离子体磁控溅射靶附近... 光学发射光谱 (OES)方法是等离子体诊断的有力工具之一 ,可以定量地给出等离子体的多种重要参数 ,如等离子体中的物种成分、粒子能态分布、激发温度、粒子相对密度等。本文介绍了一种用于电子回旋共振 (ECR)微波等离子体磁控溅射靶附近的增强放电和直流辉光放电等离子体空间分辨诊断的发射光谱装置。其特点是光学收集系统的位置可以水平精细移动 ,因而可以对放电区域进行空间分辨发射光谱测量。作者利用这套装置对氩气的ECR微波等离子体和直流辉光放电等离子体进行诊断。在ECR微波等离子体的下游区内氩离子谱线的发射强度很弱 ,主要是高激发态原子的辐射。在磁共振增强放电区 ,离子谱线强度有所增加但仍比原子谱线弱 ,类似于直流辉光放电正柱区的光发射特性。 展开更多

关键词 发射光谱 直流辉光放电 激发态原子 激发温度 类似 行空间 微波等离子体 空间分辨 光发射 电子回旋共振

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四阳极直流辉光放电正柱区数值分析 被引量：2

19

作者 袁忠才 时家明 《核聚变与等离子体物理》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期228-232,共5页

分析了具有中间开窗电极四阳极直流辉光放电装置的氦气放电中阴极与较近阳极间放电正柱区的电子密度、电子温度和等离子体碰撞频率,及其空间分布随放电气压变化规律。结果表明电子密度在径向上呈类似于抛物线的分布,而碰撞频率和电子温... 分析了具有中间开窗电极四阳极直流辉光放电装置的氦气放电中阴极与较近阳极间放电正柱区的电子密度、电子温度和等离子体碰撞频率,及其空间分布随放电气压变化规律。结果表明电子密度在径向上呈类似于抛物线的分布,而碰撞频率和电子温度在整个放电管内近似均匀分布。探讨了不锈钢阳极座和矩形窗口对这些参数的影响,为进一步进行装置仿真和实验研究提供参考。 展开更多

关键词 四阳极装置 辉光放电 电子密度 电子温度 碰撞频率

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大气压反常辉光放电特性

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作者 李祥 陶旭梅 +1 位作者 唐昌建 印永祥 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期2135-2139,共5页

为研究大气压反常辉光放电的特性,用50 Hz交流电驱动1：500的高压变压器产生稳定的大气反常辉光放电,并利用示波器对其作了测量。维持稳态放电的典型参数为电压400～850 V,电流60～110 mA,其伏安特性曲线表明放电处于反常辉光区。当放... 为研究大气压反常辉光放电的特性,用50 Hz交流电驱动1：500的高压变压器产生稳定的大气反常辉光放电,并利用示波器对其作了测量。维持稳态放电的典型参数为电压400～850 V,电流60～110 mA,其伏安特性曲线表明放电处于反常辉光区。当放电的原始驱动电动势取为余弦波形时,放电端电压呈方波形,放电电流呈正弦波形。对放电过程的电路分析表明,高压变压器次级线圈固有的高感抗产生的负反馈避免了放电进入弧光区,由于电路的感抗特性,余弦电动势驱动了正弦形放电电流。而等离子体电阻对放电电流的非线性响应使得放电端电压呈近似方波形。估算得到放电通道中电子平均温度和电子密度分别为2.73 eV和3.45μm^-3。用热电偶测得等离子气体温度为700～900 K。该种等离子体相对于其它冷等离子体具有较高的等离子体气体温度和能量密度,更适宜于一些化学气相反应。 展开更多

关键词 等离子体 大气压 反常辉光放电 电感式镇流 电子温度 电子密度

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