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碳离子束注入辅助蒸发低温沉积DLC薄膜研究
被引量：
2
1
作者
白秀琴
李健
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第6期6-8,共3页
采用碳离子束注入辅助蒸发技术低温沉积了DLC薄膜,对薄膜沉积的工艺参数进行了优化,并对该薄膜的摩擦学行为进行了探讨。研究发现:碳离子束注入辅助蒸发技术沉积的DLC薄膜在离子量为3.0×1017ions/cm2,沉积率为0.1nm/s时具有最小的...
采用碳离子束注入辅助蒸发技术低温沉积了DLC薄膜,对薄膜沉积的工艺参数进行了优化,并对该薄膜的摩擦学行为进行了探讨。研究发现:碳离子束注入辅助蒸发技术沉积的DLC薄膜在离子量为3.0×1017ions/cm2,沉积率为0.1nm/s时具有最小的摩擦因数(<0.1);电流为2.0mA比3.0mA条件下所沉积的DLC薄膜表面光滑;磨损试验后,DLC薄膜的表面只有轻微磨损的痕迹。
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关键词
DLC薄膜
碳离子束注入
辅助蒸发沉积
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职称材料
近红外激光薄膜滤光片的研制
被引量：
8
2
作者
李候俊
徐均琪
+2 位作者
王建
李绵
苏俊宏
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第9期231-236,共6页
以双抛Si片为基底,采用离子束辅助热蒸发沉积技术研制了1.2~3μm波段激光薄膜滤光片.采用长波通滤光片与减反射膜相结合的薄膜样品设计方法,高、低折射率材料分别选用ZnS和MgF 2,综合考虑光谱特性和电场强度分布,使用TFCale膜系软件设计...
以双抛Si片为基底,采用离子束辅助热蒸发沉积技术研制了1.2~3μm波段激光薄膜滤光片.采用长波通滤光片与减反射膜相结合的薄膜样品设计方法,高、低折射率材料分别选用ZnS和MgF 2,综合考虑光谱特性和电场强度分布,使用TFCale膜系软件设计出1.064μm高反、1.2~3μm波段增透的长波通滤光片.长波通膜系膜系结构为G|4H2L1.5H2L2H1.5L2H4L|A,减反射膜膜系结构为G|3.5 H3.5L|A.最终实现1.2~3μm波段峰值透过率达98.48%,平均透过率为92.35%,1.064μm处透过率为5.09%的光谱特性.对薄膜样品分别采用离子束处理和退火处理,发现适当的工艺参数,有助于提高薄膜激光损伤阈值,当退火温度为250℃时,其激光损伤阈值可达6.3 J/cm^2.本文研究可为近红外薄膜滤光片设计和制备提供参考.
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关键词
近红外薄膜
离子束
辅助
热
蒸发
沉积
激光损伤阈值
电场强度
后续处理
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职称材料
激光/长波红外双谱段减反射薄膜设计与制备
被引量：
4
3
作者
李子杨
刘华松
+6 位作者
孙鹏
杨霄
白金林
徐颖
杨仕琪
季一勤
苏建忠
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2022年第3期408-414,共7页
在氟化钡光学元件上设计并制备多谱段减反射薄膜是提升光电系统探测性能的关键。在氟化钡基底上设计并制备了1 064 nm激光/长波红外双谱段减反射薄膜。基于周期对称结构膜系导纳计算方法,以及拟合膜层周期数与参考波长的优化算法,开展...
在氟化钡光学元件上设计并制备多谱段减反射薄膜是提升光电系统探测性能的关键。在氟化钡基底上设计并制备了1 064 nm激光/长波红外双谱段减反射薄膜。基于周期对称结构膜系导纳计算方法,以及拟合膜层周期数与参考波长的优化算法,开展了复合谱段减反射薄膜初始膜系的设计方法研究。使用热蒸发离子束辅助沉积方法制备了多层减反射薄膜。测试结果表明,该薄膜在1 064 nm处透射率为94.0%,在8~12μm长波红外谱段平均透射率为96.3%,在8.2μm处的透射率高达99.4%。该激光/长波红外双谱段减反射薄膜具有良好的光学性能,可以应用于多模复合精确探测光电装备之中,对于提升探测系统的工作性能具有重大意义。
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关键词
光学薄膜
双谱段减反射
膜系设计
热
蒸发
离子束
辅助
沉积
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职称材料
题名
碳离子束注入辅助蒸发低温沉积DLC薄膜研究
被引量：
2
1
作者
白秀琴
李健
机构
武汉理工大学可靠性工程研究所
武汉材料保护研究所
出处
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第6期6-8,共3页
基金
中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室开放基金资助项目(0505)
武汉理工大学科学研究基金项目(Xjj2005116)
文摘
采用碳离子束注入辅助蒸发技术低温沉积了DLC薄膜,对薄膜沉积的工艺参数进行了优化,并对该薄膜的摩擦学行为进行了探讨。研究发现:碳离子束注入辅助蒸发技术沉积的DLC薄膜在离子量为3.0×1017ions/cm2,沉积率为0.1nm/s时具有最小的摩擦因数(<0.1);电流为2.0mA比3.0mA条件下所沉积的DLC薄膜表面光滑;磨损试验后,DLC薄膜的表面只有轻微磨损的痕迹。
关键词
DLC薄膜
碳离子束注入
辅助蒸发沉积
Keywords
DLC film
C^＋ ion beam implantation
assisted vapor deposition
分类号
TG174 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
近红外激光薄膜滤光片的研制
被引量：
8
2
作者
李候俊
徐均琪
王建
李绵
苏俊宏
机构
西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第9期231-236,共6页
基金
陕西省国际科技合作与交流计划资助项目(Nos.2016KW-036,2018KWZ-02)
西安市智能探视感知重点实验室项目(No.201805061ZD12CG45)~~
文摘
以双抛Si片为基底,采用离子束辅助热蒸发沉积技术研制了1.2~3μm波段激光薄膜滤光片.采用长波通滤光片与减反射膜相结合的薄膜样品设计方法,高、低折射率材料分别选用ZnS和MgF 2,综合考虑光谱特性和电场强度分布,使用TFCale膜系软件设计出1.064μm高反、1.2~3μm波段增透的长波通滤光片.长波通膜系膜系结构为G|4H2L1.5H2L2H1.5L2H4L|A,减反射膜膜系结构为G|3.5 H3.5L|A.最终实现1.2~3μm波段峰值透过率达98.48%,平均透过率为92.35%,1.064μm处透过率为5.09%的光谱特性.对薄膜样品分别采用离子束处理和退火处理,发现适当的工艺参数,有助于提高薄膜激光损伤阈值,当退火温度为250℃时,其激光损伤阈值可达6.3 J/cm^2.本文研究可为近红外薄膜滤光片设计和制备提供参考.
关键词
近红外薄膜
离子束
辅助
热
蒸发
沉积
激光损伤阈值
电场强度
后续处理
Keywords
Near infrared film
Ion beam-assisted thermal evaporation deposition
Laser induced damage threshold
Electric field intensity
Post-treatment
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
激光/长波红外双谱段减反射薄膜设计与制备
被引量：
4
3
作者
李子杨
刘华松
孙鹏
杨霄
白金林
徐颖
杨仕琪
季一勤
苏建忠
机构
天津津航技术物理研究所天津市薄膜光学重点实验室
王之江激光创新中心
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2022年第3期408-414,共7页
基金
国家自然科学基金(61775167,61975150)
天津市自然科学基金(19 JCZDJC38400)
+1 种基金
国家拔尖青年人才支持计划
天津市人才发展专项支持计划高层次创新团队。
文摘
在氟化钡光学元件上设计并制备多谱段减反射薄膜是提升光电系统探测性能的关键。在氟化钡基底上设计并制备了1 064 nm激光/长波红外双谱段减反射薄膜。基于周期对称结构膜系导纳计算方法,以及拟合膜层周期数与参考波长的优化算法,开展了复合谱段减反射薄膜初始膜系的设计方法研究。使用热蒸发离子束辅助沉积方法制备了多层减反射薄膜。测试结果表明,该薄膜在1 064 nm处透射率为94.0%,在8~12μm长波红外谱段平均透射率为96.3%,在8.2μm处的透射率高达99.4%。该激光/长波红外双谱段减反射薄膜具有良好的光学性能,可以应用于多模复合精确探测光电装备之中,对于提升探测系统的工作性能具有重大意义。
关键词
光学薄膜
双谱段减反射
膜系设计
热
蒸发
离子束
辅助
沉积
Keywords
optical thin-film
dual-band antireflection thin-film
thin-film design
thermal evaporation ion-assisted deposition
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
碳离子束注入辅助蒸发低温沉积DLC薄膜研究
白秀琴
李健
《润滑与密封》
CAS
CSCD
北大核心
2007
2
在线阅读
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职称材料
2
近红外激光薄膜滤光片的研制
李候俊
徐均琪
王建
李绵
苏俊宏
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
8
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
激光/长波红外双谱段减反射薄膜设计与制备
李子杨
刘华松
孙鹏
杨霄
白金林
徐颖
杨仕琪
季一勤
苏建忠
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2022
4
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职称材料
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