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辅助气体组成对类金刚石薄膜结构和性能的影响
被引量：
3
1
作者
代海洋
陈镇平
+2 位作者
程学瑞
翟凤潇
苏玉玲
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第12期1643-1646,1650,共5页
分别以氩气-甲烷、氩气-乙炔为辅助气体,高纯石墨为靶材,利用中频脉冲非平衡磁控溅射技术制备了类金刚石薄膜。采用Raman光谱、X射线光电子能谱、纳米压痕测试仪、原子力显微镜对所制备类金刚石薄膜的键结构、机械性能、表面形貌进行了...
分别以氩气-甲烷、氩气-乙炔为辅助气体,高纯石墨为靶材,利用中频脉冲非平衡磁控溅射技术制备了类金刚石薄膜。采用Raman光谱、X射线光电子能谱、纳米压痕测试仪、原子力显微镜对所制备类金刚石薄膜的键结构、机械性能、表面形貌进行了分析。Raman光谱和X射线光电子能谱测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜中sp3杂化键的含量比以氩气-乙炔为辅助气体制备的类金刚石薄膜的高。纳米压痕测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜的纳米硬度比以氩气-乙炔为辅助气体的高。原子力显微镜测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜的RMS表面粗糙度比以氩气-乙炔为辅助气体的低。以上结果说明辅助气体组成对类金刚石薄膜的键结构、机械性能、表面形貌有较大的影响。
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关键词
类金刚石薄膜
辅助气体组成
中频脉冲非平衡磁控溅射技术
结构
性能
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职称材料
题名
辅助气体组成对类金刚石薄膜结构和性能的影响
被引量：
3
1
作者
代海洋
陈镇平
程学瑞
翟凤潇
苏玉玲
机构
郑州轻工业学院技术物理系
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第12期1643-1646,1650,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(11175159)
郑州轻工业学院博士科研基金资助项目(2010BSJJ030)
文摘
分别以氩气-甲烷、氩气-乙炔为辅助气体,高纯石墨为靶材,利用中频脉冲非平衡磁控溅射技术制备了类金刚石薄膜。采用Raman光谱、X射线光电子能谱、纳米压痕测试仪、原子力显微镜对所制备类金刚石薄膜的键结构、机械性能、表面形貌进行了分析。Raman光谱和X射线光电子能谱测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜中sp3杂化键的含量比以氩气-乙炔为辅助气体制备的类金刚石薄膜的高。纳米压痕测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜的纳米硬度比以氩气-乙炔为辅助气体的高。原子力显微镜测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜的RMS表面粗糙度比以氩气-乙炔为辅助气体的低。以上结果说明辅助气体组成对类金刚石薄膜的键结构、机械性能、表面形貌有较大的影响。
关键词
类金刚石薄膜
辅助气体组成
中频脉冲非平衡磁控溅射技术
结构
性能
Keywords
diamond-like carbon films
assistant gases composition
MFPUMST
structure
properties
分类号
TB383.2 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
辅助气体组成对类金刚石薄膜结构和性能的影响
代海洋
陈镇平
程学瑞
翟凤潇
苏玉玲
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
3
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